专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201803708A 基板搬送方法及基板處理系統审中-公开
简体标题：基板搬送方法及基板处理系统
公开(公告)号：TW201803708A
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106110242
申请日：2017-03-28
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： B25J15/02 , B25J18/04 , B25J9/06 , H01L21/68
CPC分类号： B25J13/08 , B65G49/07 , H01L21/677
摘要：提供一種可以所欲之旋轉角度來正確地載置基板的基板搬送方法。以伴隨著晶圓之搬送距離的變化而解決真空處理室之晶圓的旋轉方向偏移的方式，在裝載室中從台之中心來將晶圓偏移載置，以改變在搬送臂接收晶圓時，晶圓相對於夾具之旋轉角度。
简体摘要：提供一种可以所欲之旋转角度来正确地载置基板的基板搬送方法。以伴随着晶圆之搬送距离的变化而解决真空处理室之晶圆的旋转方向偏移的方式，在装载室中从台之中心来将晶圆偏移载置，以改变在搬送臂接收晶圆时，晶圆相对于夹具之旋转角度。

2. 发明专利

TW201742178A 基板搬送手及機器人审中-公开
简体标题：基板搬送手及机器人
公开(公告)号：TW201742178A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW106106143
申请日：2017-02-23
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：芝田武士 , SHIBATA, TAKESHI
IPC分类号： H01L21/677 , B65G43/08 , B65G49/07 , B25J15/02
CPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677
摘要：基板搬送手，具備：外殼；薄板狀之葉片，其基端部結合於前述外殼；前方導引部，設於前述葉片之前端部，具有離前述葉片之高度彼此相異之基板之第一支持部及第二支持部；第一後方導引部，設於前述葉片之基端部，具有離前述葉片之高度與前述前方導引部之前述第一支持部一致之部分；第二後方導引部，設於前述葉片之基端側，具有離前述葉片之高度與前述前方導引部之前述第二支持部一致之部分；驅動裝置，設置於前述外殼內，具有對支持於前述葉片之基板進退移動之輸出端，並使與該輸出端結合之前述第二後方導引部在不與前述葉片於該葉片之垂線方向重疊之區域移動。
简体摘要：基板搬送手，具备：外壳；薄板状之叶片，其基端部结合于前述外壳；前方导引部，设于前述叶片之前端部，具有离前述叶片之高度彼此相异之基板之第一支持部及第二支持部；第一后方导引部，设于前述叶片之基端部，具有离前述叶片之高度与前述前方导引部之前述第一支持部一致之部分；第二后方导引部，设于前述叶片之基端侧，具有离前述叶片之高度与前述前方导引部之前述第二支持部一致之部分；驱动设备，设置于前述外壳内，具有对支持于前述叶片之基板进退移动之输出端，并使与该输出端结合之前述第二后方导引部在不与前述叶片于该叶片之垂线方向重叠之区域移动。

3. 发明专利

TWI568556B 電子元件拾取裝置有权
简体标题：电子组件十取设备
公开(公告)号：TWI568556B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW104122309
申请日：2015-07-09
申请人：致茂電子股份有限公司 , CHROMA ATE INC.
发明人：張添登 , CHANG, TIEN-TENG , 許睿謀 , HSU, JUI-MOU , 陳鵬飛 , CHEN, PENG-FEI
IPC分类号： B25J9/08 , B25J9/16 , B25J15/02

4. 发明专利

TWI499489B 機器手仿真機構失效
简体标题：机器手仿真机构
公开(公告)号：TWI499489B
公开(公告)日：2015-09-11
申请号：TW098119606
申请日：2009-06-11
申请人：華夏科技大學 , HWA, HSIA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
发明人：汪清國 , WANG, CHING KUO
IPC分类号： B25J15/10 , B25J15/02

5. 发明专利

TWI700160B 基板搬送方法及基板處理系統有权
简体标题：基板搬送方法及基板处理系统
公开(公告)号：TWI700160B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW106110242
申请日：2017-03-28
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： B25J15/02 , B25J18/04 , B25J9/06 , H01L21/68

6. 实用新型

TWM554845U 機械手臂結構有权
简体标题：机械手臂结构
公开(公告)号：TWM554845U
公开(公告)日：2018-02-01
申请号：TW106210737
申请日：2017-07-21
申请人：鎧全鐵材製品股份有限公司
发明人：莊永川
IPC分类号： B25J9/16 , B25J15/02

7. 发明专利

TWI516344B 機器人裝置之位能儲存驅動機構有权
简体标题：机器人设备之位能存储驱动机构
公开(公告)号：TWI516344B
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：TW102103706
申请日：2013-01-31
申请人：中華大學 , CHUNG HUA UNIVERSITY
发明人：林友雄 , LIN, YU HSIUNG , 黃啓光 , HWANG, CHI KUANG , 田慶誠 , TIEN, CHING CHEN , 王志湖 , WANG, CHIH HU , 鍾英漢 , CHUNG, IN HANG , 侯中權 , HOU, CHUNG CHUAN , 吳嘉文 , WU, CHIA WEN
IPC分类号： B25J15/02

8. 发明专利

TW201511901A 夾取裝置审中-公开
简体标题：夹取设备
公开(公告)号：TW201511901A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW102123414
申请日：2013-07-01
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：朱永剛 , ZHU, YONG-GANG
IPC分类号： B25J15/02 , B25J15/08
CPC分类号： B25J15/0052 , B25J15/0061 , B25J15/0616
摘要：一種夾取裝置，其包括調節組件、驅動組件及複數夾取組件。驅動組件包括固定件、及裝設於固定件上之驅動件與支撐件。每一夾取組件包括滑動套設於支撐件上之基座。驅動件與鄰近固定件之基座固定連接。調節組件包括平行設置之第一調節件及第二調節件。第一調節件與鄰近固定件之基座固定連接。第二調節件兩端分別與固定件及遠離固定件之基座固定連接。第一調節件上及第二調節件上分別依次凹設形成複數第一臺階及複數第二臺階，且第一臺階與第二臺階均與相應基座之側壁滑動抵持。複數第一臺階之高度上升方向與複數第二臺階之高度上升方向相反。
简体摘要：一种夹取设备，其包括调节组件、驱动组件及复数夹取组件。驱动组件包括固定件、及装设于固定件上之驱动件与支撑件。每一夹取组件包括滑动套设于支撑件上之基座。驱动件与邻近固定件之基座固定连接。调节组件包括平行设置之第一调节件及第二调节件。第一调节件与邻近固定件之基座固定连接。第二调节件两端分别与固定件及远离固定件之基座固定连接。第一调节件上及第二调节件上分别依次凹设形成复数第一台阶及复数第二台阶，且第一台阶与第二台阶均与相应基座之侧壁滑动抵持。复数第一台阶之高度上升方向与复数第二台阶之高度上升方向相反。

9. 发明专利

TW201424956A 夾爪裝置及其控制方法审中-公开
简体标题：夹爪设备及其控制方法
公开(公告)号：TW201424956A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW101149793
申请日：2012-12-25
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：仲維德 , CHUNG, WEI DER , 劉彥辰 , LIU, YAN CHEN , 陳傳生 , 李政諺 , LI, CHENG YEN
IPC分类号： B25J15/02 , B25J15/08
CPC分类号： B25J9/1612 , B25J13/082 , B25J15/0213 , G05B2219/39487 , G05B2219/39505
摘要：一種夾爪裝置及其控制方法，夾爪裝置包括至少一夾爪單元，夾爪單元具有相互樞接之一第一連桿及一第二連桿，第一連桿具有相對之第一端及第二端，第二連桿具有相對之第三端及第四端，第三端與第二端相互樞接，於第一連桿與第二連桿樞接處設有一彈性件，彈性件電性連接一角度編碼器，角度編碼器與一控制器電性連接，由控制器控制夾爪裝置以一第一控制模式移動朝向一物體，由夾爪單元碰觸物體並施加一作用力於物體，使彈性件變形，由角度編碼器感測彈性件之變形量並產生一力量資訊，再由控制器根據力量資訊將夾爪裝置之操作模式切換至一第二控制模式。
简体摘要：一种夹爪设备及其控制方法，夹爪设备包括至少一夹爪单元，夹爪单元具有相互枢接之一第一连杆及一第二连杆，第一连杆具有相对之第一端及第二端，第二连杆具有相对之第三端及第四端，第三端与第二端相互枢接，于第一连杆与第二连杆枢接处设有一弹性件，弹性件电性连接一角度编码器，角度编码器与一控制器电性连接，由控制器控制夹爪设备以一第一控制模式移动朝向一物体，由夹爪单元碰触物体并施加一作用力于物体，使弹性件变形，由角度编码器传感弹性件之变形量并产生一力量信息，再由控制器根据力量信息将夹爪设备之操作模式切换至一第二控制模式。

10. 发明专利

TW202014795A 用於定位及夾緊固化的裝置审中-公开
简体标题：用于定位及夹紧固化的设备
公开(公告)号：TW202014795A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：TW108122269
申请日：2019-06-26
申请人：荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：彼得斯馬汀迪特尼可 , PETERS, MARTIN, DIETER, NICO , 戴佛特馬賽勒斯安東尼爾斯 , DE FOLTER, MARCELLUS, ANTONIUS
IPC分类号： G03F1/62 , B25J15/02 , B65G47/86 , G03F1/64 , G03F1/68 , G03F7/20
摘要：本發明提供一種裝置，其包含：一第一夾持構件，其包含一第一磁性元件且可在一第一位置與一第二位置之間移動；一第一偏置構件，其經組態以使該第一夾持構件偏置朝向該第一位置；及一第二磁性元件，其可選擇性地操作於一第一模式及一第二模式中，在該第一模式中該第二磁性元件與該第一磁性元件相互作用以克服該第一偏置構件且將該第一夾持構件移動至該第二位置，在該第二模式中該第二磁性元件不克服該第一偏置構件，使得該第一夾持構件擱置在該第一位置中。
简体摘要：本发明提供一种设备，其包含：一第一夹持构件，其包含一第一磁性组件且可在一第一位置与一第二位置之间移动；一第一偏置构件，其经组态以使该第一夹持构件偏置朝向该第一位置；及一第二磁性组件，其可选择性地操作于一第一模式及一第二模式中，在该第一模式中该第二磁性组件与该第一磁性组件相互作用以克服该第一偏置构件且将该第一夹持构件移动至该第二位置，在该第二模式中该第二磁性组件不克服该第一偏置构件，使得该第一夹持构件搁置在该第一位置中。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式