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1. 发明专利

TWI516314B 鷹架附著物清除裝置有权
简体标题：鹰架附着物清除设备
公开(公告)号：TWI516314B
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：TW103100037
申请日：2014-01-02
申请人：張如華 , CHANG, JU HUA
发明人：張如華 , CHANG, JU HUA
IPC分类号： B08B9/023 , B08B1/04 , E04G21/00

2. 发明专利

TW201304882A 管狀工件的清洗裝置审中-公开
简体标题：管状工件的清洗设备
公开(公告)号：TW201304882A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW100126823
申请日：2011-07-28
申请人：進期科技股份有限公司
发明人：張文奇 , 邱啟原 , 吳岱穆
IPC分类号： B08B9/023 , B08B9/027
摘要：一種管狀工件的清洗裝置，包含一機架、一設置於該機架上的傾斜單元，及一設置於該機架上的清洗單元。該傾斜單元包括一傾斜機構，該傾斜機構包括一設置於該機架上的底座、一樞設於該底座上的安裝座、多數個兩相間隔地樞設於該安裝座上以撐抵一管狀工件的支撐滾輪，及一能驅動該安裝座傾斜一設定角度的傾斜動力源。該清洗單元包括一基座、一樞設於該基座上的內清潔機構、一設置於該基座上的外清潔機構，及一用以驅動該基座的移動機構。利用該設定角度而可藉重力避免液體或是不純物的殘留，配合該內、外清潔機構同時清潔以提升清洗效率與穩定度。
简体摘要：一种管状工件的清洗设备，包含一机架、一设置于该机架上的倾斜单元，及一设置于该机架上的清洗单元。该倾斜单元包括一倾斜机构，该倾斜机构包括一设置于该机架上的底座、一枢设于该底座上的安装座、多数个两相间隔地枢设于该安装座上以撑抵一管状工件的支撑滚轮，及一能驱动该安装座倾斜一设置角度的倾斜动力源。该清洗单元包括一基座、一枢设于该基座上的内清洁机构、一设置于该基座上的外清洁机构，及一用以驱动该基座的移动机构。利用该设置角度而可藉重力避免液体或是不纯物的残留，配合该内、外清洁机构同时清洁以提升清洗效率与稳定度。

3. 发明专利

TW201739529A 基板清洗裝置审中-公开
简体标题：基板清洗设备
公开(公告)号：TW201739529A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106114259
申请日：2017-04-28
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：深谷孝一 , FUKAYA, KOICHI , 石橋知淳 , ISHIBASHI, TOMOATSU , 中野央二郎 , NAKANO, HISAJIRO
IPC分类号： B08B3/04 , B08B9/023 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B3/02 , B08B3/024 , H01L21/02052 , H01L21/67017 , H01L21/6708
摘要：基板清洗裝置包括：基板保持機構70，所述基板保持機構70對基板W進行保持；基板旋轉機構72，所述基板旋轉機構72使保持於基板保持機構70的基板W旋轉；以及雙流體噴嘴46，所述雙流體噴嘴46使雙流體噴流向旋轉著的所述基板W的表面噴出。雙流體噴嘴46由導電性材料構成。由此，能夠對從雙流體噴嘴46作為雙流體噴流而噴出的液滴的帶電量進行抑制。
简体摘要：基板清洗设备包括：基板保持机构70，所述基板保持机构70对基板W进行保持；基板旋转机构72，所述基板旋转机构72使保持于基板保持机构70的基板W旋转；以及双流体喷嘴46，所述双流体喷嘴46使双流体喷流向旋转着的所述基板W的表面喷出。双流体喷嘴46由导电性材料构成。由此，能够对从双流体喷嘴46作为双流体喷流而喷出的液滴的带电量进行抑制。

4. 发明专利

TW201527003A 鷹架附著物清除裝置审中-公开
简体标题：鹰架附着物清除设备
公开(公告)号：TW201527003A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103100036
申请日：2014-01-02
申请人：張如華 , CHANG, JU HUA
发明人：張如華 , CHANG, JU HUA
IPC分类号： B08B9/023 , B08B1/04 , E04G21/00
摘要：一種鷹架附著物清除裝置，係用以清除鷹架所設間隔相對二架桿表面附著之附著物，其特點在於該鷹架附著物清除裝置包括：具有著置架及機構裝設部之一裝置主體，其中該機構裝設部係具有一送料端；一驅動單元，設置於裝置主體預定位置處且至少與該行程感測組件呈電性連結關係；一滾送碾除式清除機構，設於該裝置主體之機構裝設部，包括有多數組呈前、後間隔排列且各為上、下相對之主動輪組及從動輪組，所述主動、從動輪組與鷹架所設二架桿相對位置處皆具有導輪，且各主動、從動輪組所設導輪間均形成有導動空間，又該主動輪組係與驅動單元相連結，能藉由該驅動單元驅動旋轉；多數可調式彈性壓制結構，分別設置於該機構裝設部與各從動輪組相對位置處，能令各從動輪組於常態下呈可彈性復位之常動狀態；藉此，俾能先將鷹架所設二架桿由送料端對應於導動空間，復利用主動輪組轉動而將二架桿滾送經過各導輪，藉由各導輪相對轉動滾送過程而將架桿表面之附著物滾壓碾除，以達自動清除附著物之目的。
简体摘要：一种鹰架附着物清除设备，系用以清除鹰架所设间隔相对二架杆表面附着之附着物，其特点在于该鹰架附着物清除设备包括：具有着置架及机构装设部之一设备主体，其中该机构装设部系具有一送料端；一驱动单元，设置于设备主体预定位置处且至少与该行程传感组件呈电性链接关系；一滚送碾除式清除机构，设于该设备主体之机构装设部，包括有多数组呈前、后间隔排列且各为上、下相对之主动轮组及从动轮组，所述主动、从动轮组与鹰架所设二架杆相对位置处皆具有导轮，且各主动、从动轮组所设导轮间均形成有导动空间，又该主动轮组系与驱动单元相链接，能借由该驱动单元驱动旋转；多数可调式弹性压制结构，分别设置于该机构装设部与各从动轮组相对位置处，能令各从动轮组于常态下呈可弹性复位之常动状态；借此，俾能先将鹰架所设二架杆由送料端对应于导动空间，复利用主动轮组转动而将二架杆滚送经过各导轮，借由各导轮相对转动滚送过程而将架杆表面之附着物滚压碾除，以达自动清除附着物之目的。

5. 发明专利

TW201741041A 方法及設備审中-公开
简体标题：方法及设备
公开(公告)号：TW201741041A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW106112301
申请日：2017-04-13
申请人：克塞羅斯公司 , XEROS LIMITED
发明人：波茲傑西卡安妮 , POTTS, JESSICA ANNE , 肯尼迪富瑞瑟約翰 , KENNEDY, FRAZER JOHN
IPC分类号： B08B9/023 , B08B3/14 , H01L21/304
CPC分类号： C11D11/0064 , D06F33/02 , D06F35/00
摘要：一種用於處理基板的方法，包括下列步驟：(i)旋轉包括液體介質的組成物、該基板、以及顆粒尺寸從1至100mm的固體顆粒；(ii)使該等固體顆粒中至少一部分自該基板分離；以及(iii)清洗該基板；其中：步驟ii和iii各實施至少兩次，並且第一次的步驟ii和iii係以步驟順序為i、ii、iii、ii或i、iii、ii、iii的方式來執行；及/或在分離步驟ii中，該組成物於第一時間期間中以
简体摘要：一种用于处理基板的方法，包括下列步骤：(i)旋转包括液体介质的组成物、该基板、以及颗粒尺寸从1至100mm的固体颗粒；(ii)使该等固体颗粒中至少一部分自该基板分离；以及(iii)清洗该基板；其中：步骤ii和iii各实施至少两次，并且第一次的步骤ii和iii系以步骤顺序为i、ii、iii、ii或i、iii、ii、iii的方式来运行；及/或在分离步骤ii中，该组成物于第一时间期间中以<1G的向心力G旋转并且于第二时间期间中以1G的向心力旋转，并且该等第一与第二时间期间中之至少一者不大于60秒。

6. 发明专利

TWI516313B 鷹架附著物清除裝置有权
简体标题：鹰架附着物清除设备
公开(公告)号：TWI516313B
公开(公告)日：2016-01-11
申请号：TW103100036
申请日：2014-01-02
申请人：張如華 , CHANG, JU HUA
发明人：張如華 , CHANG, JU HUA
IPC分类号： B08B9/023 , B08B1/04 , E04G21/00

7. 发明专利

TW201527004A 鷹架附著物清除裝置审中-公开
简体标题：鹰架附着物清除设备
公开(公告)号：TW201527004A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103100037
申请日：2014-01-02
申请人：張如華 , CHANG, JU HUA
发明人：張如華 , CHANG, JU HUA
IPC分类号： B08B9/023 , B08B1/04 , E04G21/00
摘要：一種鷹架附著物清除裝置，係用以清除鷹架所設間隔相對二架桿表面附著之附著物，其特點在於該鷹架附著物清除裝置包括：具有著置架及機構裝設部之一裝置主體，其中該機構裝設部係具有一送料端；一驅動單元，設置於裝置主體預定位置處且至少與該行程感測組件呈電性連結關係；一滾送碾除式清除機構，設於該裝置主體之機構裝設部，包括有多數組呈前、後間隔排列且各為上、下相對之主動輪組及從動輪組，所述主動、從動輪組與鷹架所設二架桿相對位置處皆具有導輪，且各主動、從動輪組所設導輪間均形成有導動空間，又該主動輪組係與驅動單元相連結，能藉由該驅動單元驅動旋轉；多數彈性壓置結構，分別設置於該機構裝設部與各從動輪組相對位置處，能令各從動輪組於常態下呈可彈性復位之常動狀態；藉此，俾能先將鷹架所設二架桿由送料端對應於導動空間，復利用主動輪組轉動而將二架桿滾送經過各導輪，藉由各導輪相對轉動滾送過程而將架桿表面之附著物滾壓碾除而使其脫落，以達自動清除附著物之目的。
简体摘要：一种鹰架附着物清除设备，系用以清除鹰架所设间隔相对二架杆表面附着之附着物，其特点在于该鹰架附着物清除设备包括：具有着置架及机构装设部之一设备主体，其中该机构装设部系具有一送料端；一驱动单元，设置于设备主体预定位置处且至少与该行程传感组件呈电性链接关系；一滚送碾除式清除机构，设于该设备主体之机构装设部，包括有多数组呈前、后间隔排列且各为上、下相对之主动轮组及从动轮组，所述主动、从动轮组与鹰架所设二架杆相对位置处皆具有导轮，且各主动、从动轮组所设导轮间均形成有导动空间，又该主动轮组系与驱动单元相链接，能借由该驱动单元驱动旋转；多数弹性压置结构，分别设置于该机构装设部与各从动轮组相对位置处，能令各从动轮组于常态下呈可弹性复位之常动状态；借此，俾能先将鹰架所设二架杆由送料端对应于导动空间，复利用主动轮组转动而将二架杆滚送经过各导轮，借由各导轮相对转动滚送过程而将架杆表面之附着物滚压碾除而使其脱落，以达自动清除附着物之目的。

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