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1. 发明专利

TWI348528B 非密閉製程腔體之保護氣體控制方法 A PROTECTION GAS CONTROL METHOD FOR NON-SEALED PROCESS CHAMBER 有权
简体标题：非密闭制程腔体之保护气体控制方法 A PROTECTION GAS CONTROL METHOD FOR NON-SEALED PROCESS CHAMBER
公开(公告)号：TWI348528B
公开(公告)日：2011-09-11
申请号：TW097101438
申请日：2008-01-15
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：黃俊弘 , 張明琅 , 彭彥嘉 , 鄭滄芳 , 郭子鑫
IPC分类号： F17D , F15C
CPC分类号： G05D16/204
摘要：本發明係一種非密閉製程腔體之保護氣體控制方法，其係包括有：開啟裝置，並將保護氣體連接至若干節流閥；設定若干節流閥開啟時間；設定腔體含氧濃度之第一目標值及第二目標值；腔體開始加熱；製程設備是否已運作；腔體之進出料閘門是否開啟；開啟全部節流閥至一預定時間；關閉至少一節流閥若腔體含氧濃度小於或等於第一目標值，關閉至少一節流閥；若腔體含氧濃度小於或等於第二目標值；關閉至少一節流閥；保持節流閥開啟數量；腔體內溫度低於預定溫度時停止供應保護氣體。
简体摘要：本发明系一种非密闭制程腔体之保护气体控制方法，其系包括有：打开设备，并将保护气体连接至若干节流阀；设置若干节流阀打开时间；设置腔体含氧浓度之第一目标值及第二目标值；腔体开始加热；制程设备是否已运作；腔体之进出料闸门是否打开；打开全部节流阀至一预定时间；关闭至少一节流阀若腔体含氧浓度小于或等于第一目标值，关闭至少一节流阀；若腔体含氧浓度小于或等于第二目标值；关闭至少一节流阀；保持节流阀打开数量；腔体内温度低于预定温度时停止供应保护气体。

2. 发明专利

TW200930931A 非密閉製程腔體之保護氣體控制方法與裝置 A PROTECTION GAS CONTROL METHOD AND APPARATUS FOR NON-SEALED PROCESS CHAMBER 审中-公开
简体标题：非密闭制程腔体之保护气体控制方法与设备 A PROTECTION GAS CONTROL METHOD AND APPARATUS FOR NON-SEALED PROCESS CHAMBER
公开(公告)号：TW200930931A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097101438
申请日：2008-01-15
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：黃俊弘 HUANG, CHUN HUNG , 張明琅 CHANG, MING LANG , 彭彥嘉 PENG, YEN CHIA , 鄭滄芳 JENG, TSANG FANG , 郭子鑫 KUO, TZU HSIN
IPC分类号： F17D , F15C
CPC分类号： G05D16/204
摘要：本發明係一種非密閉製程腔體之保護氣體控制方法與裝置,其係包括有:開啓裝置,並將保護氣體連接至若干節流閥;設定若干節流閥開啓時間;設定腔體含氧濃度之第一目標値及第二目標値;腔體開始加熱;製程設備是否已運作;腔體之進出料閘門是否開啓;開啓全部節流閥至一預定時間;關閉至少一節流閥若腔體含氧濃度小於或等於第一目標値,關閉至少一節流閥;若腔體含氧濃度小於或等於第二目標値;關閉至少一節流閥;保持節流閥開啓數量;腔體內溫度低於預定溫度時停止供應保護氣體。
简体摘要：本发明系一种非密闭制程腔体之保护气体控制方法与设备,其系包括有:开启设备,并将保护气体连接至若干节流阀;设置若干节流阀开启时间;设置腔体含氧浓度之第一目标値及第二目标値;腔体开始加热;制程设备是否已运作;腔体之进出料闸门是否开启;开启全部节流阀至一预定时间;关闭至少一节流阀若腔体含氧浓度小于或等于第一目标値,关闭至少一节流阀;若腔体含氧浓度小于或等于第二目标値;关闭至少一节流阀;保持节流阀开启数量;腔体内温度低于预定温度时停止供应保护气体。

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