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1. 发明专利

TWI420255B 曝光設備及裝置製造方法有权
简体标题：曝光设备及设备制造方法
公开(公告)号：TWI420255B
公开(公告)日：2013-12-21
申请号：TW099116679
申请日：2010-05-25
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：宮崎恭一 , MIYAZAKI, KYOICHI , 深見清司 , FUKAMI, KIYOSHI
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70225 , G02B7/1825 , G03B27/32 , G03B27/70 , G03F7/70258 , G03F7/70825 , G03F7/70833

2. 发明专利

TW201316066A 光學元件調整機構审中-公开
简体标题：光学组件调整机构
公开(公告)号：TW201316066A
公开(公告)日：2013-04-16
申请号：TW100136001
申请日：2011-10-05
申请人：財團法人國家實驗研究院 , NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATORIES
发明人：黃柏瑄 , HUANG, PO HSUAN , 鄭羽成 , CHENG, YU CHENG
IPC分类号： G02B7/00
CPC分类号： G02B7/1825
摘要：本發明係揭露一種光學元件調整機構，係應用於承載一反射式光學裝置，其包含：一基座及一承載元件。基座活動組裝於反射式光學裝置，基座為中空管狀結構，且其兩側分別具有一開口。其中一開口之內緣設有向中心凸伸之複數個承載面，及沿基座之管壁凸伸設有二承靠面。承載元件活動組裝於基座，並具有一第一表面、一第二表面及二基準面。第一表面平貼於複數個承載面。第二表面設有一連接部，該連接部連接光學元件。二基準面分別平貼於該二承靠面。其中基座與承載元件間藉由活動組裝至少一調整墊片，以進行精密調整。
简体摘要：本发明系揭露一种光学组件调整机构，系应用于承载一反射式光学设备，其包含：一基座及一承载组件。基座活动组装于反射式光学设备，基座为中空管状结构，且其两侧分别具有一开口。其中一开口之内缘设有向中心凸伸之复数个承载面，及沿基座之管壁凸伸设有二承靠面。承载组件活动组装于基座，并具有一第一表面、一第二表面及二基准面。第一表面平贴于复数个承载面。第二表面设有一连接部，该连接部连接光学组件。二基准面分别平贴于该二承靠面。其中基座与承载组件间借由活动组装至少一调整垫片，以进行精密调整。

3. 发明专利

TW201044123A 曝光設備及裝置製造方法 EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE 审中-公开
简体标题：曝光设备及设备制造方法 EXPOSURE APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE
公开(公告)号：TW201044123A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW099116679
申请日：2010-05-25
申请人：佳能股份有限公司
发明人：宮崎恭一 , 深見清司
IPC分类号： G03F , H01L
CPC分类号： G03F7/70225 , G02B7/1825 , G03B27/32 , G03B27/70 , G03F7/70258 , G03F7/70825 , G03F7/70833
摘要：本發明提供一種曝光設備,其藉投影光學系統將原片的圖案投影至基板上,該投影光學系統包括鏡總成,且該鏡總成包括:第一鏡構件,其具有第一反射表面,且係配置成使該投影光學系統的光軸彎曲;第二鏡構件,其具有第二反射表面,且係配置成使該光軸彎曲;及支承機構,其配置來支承該第一鏡構件及該第二鏡構件,以及該支承機構被定位以使該第一鏡構件及該第二鏡構件定位,同時保持該第一鏡構件及該第二鏡構件之間的位置關係。
简体摘要：本发明提供一种曝光设备,其藉投影光学系统将原片的图案投影至基板上,该投影光学系统包括镜总成,且该镜总成包括:第一镜构件,其具有第一反射表面,且系配置成使该投影光学系统的光轴弯曲;第二镜构件,其具有第二反射表面,且系配置成使该光轴弯曲;及支承机构,其配置来支承该第一镜构件及该第二镜构件,以及该支承机构被定位以使该第一镜构件及该第二镜构件定位,同时保持该第一镜构件及该第二镜构件之间的位置关系。

4. 发明专利

TW200804952A 反射鏡片模組及投影裝置 REFLECTIVE MIRROR MODULE AND PROJECTION APPARATUS USING THE SAME 失效
简体标题：反射镜片模块及投影设备 REFLECTIVE MIRROR MODULE AND PROJECTION APPARATUS USING THE SAME
公开(公告)号：TW200804952A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：TW095124290
申请日：2006-07-04
申请人：中强光電股份有限公司 CORETRONIC CORPORATION
发明人：高福順 KAO, FU SHUN
IPC分类号： G03B , G02B
CPC分类号： G02B7/1825 , G03B21/145 , G03B21/28
摘要：一種反射鏡片模組適於設置於一具有多個貫孔之殼體上。反射鏡片模組包括一固定架、一反射鏡片、一彈片以及多個調整螺絲。其中固定架具有多個螺孔,反射鏡片配置於固定架上,而彈片則配置於固定架與殼體之間並具有多個導引開口,且導引開口及螺孔的位置對應於貫孔的位置。調整螺絲貫穿貫孔與導引開口,並螺鎖於固定架之螺孔中,透過調整螺絲的調校而精準地調整反射鏡片的位置。此外,本發明亦提供一種具有上述反射鏡片模組之投影裝置。
简体摘要：一种反射镜片模块适于设置于一具有多个贯孔之壳体上。反射镜片模块包括一固定架、一反射镜片、一弹片以及多个调整螺丝。其中固定架具有多个螺孔,反射镜片配置于固定架上,而弹片则配置于固定架与壳体之间并具有多个导引开口,且导引开口及螺孔的位置对应于贯孔的位置。调整螺丝贯穿贯孔与导引开口,并螺锁于固定架之螺孔中,透过调整螺丝的调校而精准地调整反射镜片的位置。此外,本发明亦提供一种具有上述反射镜片模块之投影设备。

5. 发明专利

TWI464451B 使用陣列光源之數位投影機失效
简体标题：使用数组光源之数码投影机
公开(公告)号：TWI464451B
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：TW099113721
申请日：2010-04-29
申请人：柯達公司 , EASTMAN KODAK COMPANY
发明人：哈特蘭馬克A , HARLAND, MARK A. , 席渥斯坦貝瑞D , SILVERSTEIN, BARRY D. , 克區詹姆斯R , KIRCHER, JAMES R.
IPC分类号： G02B27/10 , G03B21/14
CPC分类号： G02B19/0028 , G02B7/1825 , G02B19/0057 , G02B27/0977 , G02B27/102 , G02B27/1073 , G02B27/145 , G03B21/28 , H04N9/3164

6. 发明专利

TW200937062A 雷射光學元件的對位調整機構及具該對位調整機構的雷射組件 POSITION ADJUSTMENT MECHANISM FOR LASER OPTICS AND LASER ASSEMBLY HAVING THE SAME 审中-公开
简体标题：激光光学组件的对位调整机构及具该对位调整机构的激光组件 POSITION ADJUSTMENT MECHANISM FOR LASER OPTICS AND LASER ASSEMBLY HAVING THE SAME
公开(公告)号：TW200937062A
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：TW097105670
申请日：2008-02-19
申请人：揚明光學股份有限公司 YOUNG OPTICS INC.
发明人：劉永光 LIU, YUNG KUANG , 黃志順 HUANG, CHIH SHUN , 陳顯彰 CHEN, HSIEN CHANG , 江東峻 CHIANG, TUNG CHUN
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B7/181 , G02B7/1825 , H01S3/109 , H01S5/02248 , H01S5/02469 , H01S5/14
摘要：一種雷射光學元件的對位調整機構,包含一固定座、一繫固件及一調整裝置。繫固件穿設固定座與一雷射裝置之光學元件承載座,以連接兩者,且使固定座與光學元件承載座維持一間隙。調整裝置位於繫固件周側,且設置於固定座與光學元件承載座的間隙以抵住光學元件承載座。
简体摘要：一种激光光学组件的对位调整机构,包含一固定座、一系固件及一调整设备。系固件穿设固定座与一激光设备之光学组件承载座,以连接两者,且使固定座与光学组件承载座维持一间隙。调整设备位于系固件周侧,且设置于固定座与光学组件承载座的间隙以抵住光学组件承载座。

7. 发明专利

TWI578020B 將一光束對準的方法及面鏡裝置有权
简体标题：将一光束对准的方法及面镜设备
公开(公告)号：TWI578020B
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：TW102114112
申请日：2013-04-22
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：菲斯萊恩后德 , FIESS, REINHOLD , 費雪法蘭克 , FISCHER, FRANK , 皮拉德蓋爾 , PILARD, GAEL , 萊斯賽巴斯堤安 , REISS, SEBASTIAN
IPC分类号： G02B26/08 , G02B27/18 , G02B27/64
CPC分类号： G02B26/0816 , G02B7/182 , G02B7/1821 , G02B7/1822 , G02B7/1824 , G02B7/1825 , G02B7/1827 , G02B26/101 , G02B26/105 , G02B27/0031 , G03B21/2066 , H04N9/3129

8. 发明专利

TWI497108B 多程光學裝置有权
简体标题：多程光学设备
公开(公告)号：TWI497108B
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：TW100140310
申请日：2011-11-04
申请人：艾司摩爾荷蘭股份有限公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：山德史東理查L , SANDSTROM, RICHARD L.
IPC分类号： G02B17/00
CPC分类号： G02B17/004 , G02B7/1815 , G02B7/1825 , H01S3/076 , H01S3/2325

9. 发明专利

TW201226967A 多通道光學裝置 MULTI-PASS OPTICAL APPARATUS 审中-公开
简体标题：多信道光学设备 MULTI-PASS OPTICAL APPARATUS
公开(公告)号：TW201226967A
公开(公告)日：2012-07-01
申请号：TW100140310
申请日：2011-11-04
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：山德史東理查L
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B17/004 , G02B7/1815 , G02B7/1825 , H01S3/076 , H01S3/2325
摘要：一種裝置包含一第一組群的凹曲反射表面，一第二組群的反射表面面對該第一組群的凹曲反射表面，而使一區域被界定於該第一和第二組群之間；及一入口可供一光束進入該區域和一出口可供該光束離開該區域。該第一和第二組群的反射表面係被彼此相對排列，而使該光束在由其一組群之一反射表面僅一次反射之後會重顯像在另一組群之一反射表面上，並使二或更多光束在該各反射表面上的重疊會被避免。
简体摘要：一种设备包含一第一组群的凹曲反射表面，一第二组群的反射表面面对该第一组群的凹曲反射表面，而使一区域被界定于该第一和第二组群之间；及一入口可供一光束进入该区域和一出口可供该光束离开该区域。该第一和第二组群的反射表面系被彼此相对排列，而使该光束在由其一组群之一反射表面仅一次反射之后会重显像在另一组群之一反射表面上，并使二或更多光束在该各反射表面上的重叠会被避免。

10. 发明专利

TW201100867A 使用陣列光源之數位投影機 DIGITAL PROJECTOR USING ARRAYED LIGHT SOURCES 失效
简体标题：使用数组光源之数码投影机 DIGITAL PROJECTOR USING ARRAYED LIGHT SOURCES
公开(公告)号：TW201100867A
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW099113721
申请日：2010-04-29
申请人：柯達公司
发明人：哈特蘭馬克A , 席渥斯坦貝瑞D , 克區詹姆斯R
IPC分类号： G02B , G03B
CPC分类号： G02B19/0028 , G02B7/1825 , G02B19/0057 , G02B27/0977 , G02B27/102 , G02B27/1073 , G02B27/145 , G03B21/28 , H04N9/3164
摘要：一種朝一長度方向延伸的光束配向腔室包括一具有一前邊緣及兩個側邊緣的基部、連接至該基部且沿該基座之長度延伸的第一及第二相對側壁、一位於該基部之前邊緣並具有一輸出開口的前壁。該光束配向腔室進一步包括複數個經佈置以便引導光束通過該第一或第二側壁的光源陣列;以及複數個安裝於該基部上的反射器,該等反射器各者具有獨立的偏轉及俯仰調整,各個反射器與一對應的光源陣列配對,該等基部安裝反射器經佈置以引導該等光束沿著該光束配向腔室之長度通過該輸出開口以形成一經配向的二維平行光束陣列。
简体摘要：一种朝一长度方向延伸的光束配向腔室包括一具有一前边缘及两个侧边缘的基部、连接至该基部且沿该基座之长度延伸的第一及第二相对侧壁、一位于该基部之前边缘并具有一输出开口的前壁。该光束配向腔室进一步包括复数个经布置以便引导光束通过该第一或第二侧壁的光源数组;以及复数个安装于该基部上的反射器,该等反射器各者具有独立的偏转及俯仰调整,各个反射器与一对应的光源数组配对,该等基部安装反射器经布置以引导该等光束沿着该光束配向腔室之长度通过该输出开口以形成一经配向的二维平行光束数组。

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