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1. 发明专利

TW201321811A 光開關审中-公开
简体标题：光开关
公开(公告)号：TW201321811A
公开(公告)日：2013-06-01
申请号：TW101137134
申请日：2012-10-08
申请人：阿卡特朗訊美國公司 , ALCATEL-LUCENT USA INC.
发明人：陳龍 , CHEN, LONG , 多爾克里斯多夫R , DOERR, CHRISTOPHER R.
IPC分类号： G02B6/35
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B6/3546
摘要：本發明揭示一種裝置，該裝置包含具有Nin個光輸入埠及Nout個光輸出埠之一光開關。該光開關包括1×Nout光開關之一輸入陣列、Nin×1光開關之一輸出陣列，及位於該輸入陣列與該輸出陣列之間的複數個光交接區。Nin及Nout為大於1之整數，且該等1×Nout光開關之Nin*Nout個輸出波導臂中每一者光耦合至包含一光開關的該等Nin×1光開關之Nin*Nout個輸入波導臂中之一對應輸入波導臂。
简体摘要：本发明揭示一种设备，该设备包含具有Nin个光输入端口及Nout个光输出端口之一光开关。该光开关包括1×Nout光开关之一输入数组、Nin×1光开关之一输出数组，及位于该输入数组与该输出数组之间的复数个光交接区。Nin及Nout为大于1之整数，且该等1×Nout光开关之Nin*Nout个输出波导臂中每一者光耦合至包含一光开关的该等Nin×1光开关之Nin*Nout个输入波导臂中之一对应输入波导臂。

2. 发明专利

TW201013220A 複合式光開關裝置审中-公开
简体标题：复合式光开关设备
公开(公告)号：TW201013220A
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：TW097136255
申请日：2008-09-22
申请人：國立臺灣大學
发明人：楊燿州 , 廖柏亭
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B6/3546 , G02B6/3518
摘要：本發明為一種複合式光開關裝置，主要具有兩大部分，包含以矽基微鏡面陣列以及致動器陣列所組合而成。本發明結合微機電技術與傳統精密機械技術的優點，故可達成低成本、高精準度、高製造良率、低驅動電壓、光路自我對準、及易組裝等優勢。
简体摘要：本发明为一种复合式光开关设备，主要具有两大部分，包含以硅基微镜面数组以及致动器数组所组合而成。本发明结合微机电技术与传统精密机械技术的优点，故可达成低成本、高精准度、高制造良率、低驱动电压、光路自我对准、及易组装等优势。

3. 发明专利

TW200515501A 改善低介電常數薄膜性質之方法及應用此法之鑲嵌製程 METHOD OF IMPROVING LOW-K FILM PROPERTY AND DAMASCENE PROCESS USING THE SAME 审中-公开
简体标题：改善低介电常数薄膜性质之方法及应用此法之镶嵌制程 METHOD OF IMPROVING LOW-K FILM PROPERTY AND DAMASCENE PROCESS USING THE SAME
公开(公告)号：TW200515501A
公开(公告)日：2005-05-01
申请号：TW093113446
申请日：2004-05-13
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：張惠林 CHANG, HUI LIN
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/02362 , G02B6/3518 , G02B6/3584 , H01L21/02115 , H01L21/02118 , H01L21/02123 , H01L21/02126 , H01L21/02164 , H01L21/022 , H01L21/02266 , H01L21/02271 , H01L21/02274 , H01L21/0228 , H01L21/3121 , H01L21/3122 , H01L21/3141 , H01L21/31612 , H01L21/31629 , H01L21/31633 , H01L21/318 , H01L21/76807 , H01L21/76832 , H01L23/53295 , H01L29/51 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要：本發明係關於一種改善低介電常數薄膜特性之方法及應用此法之一種鑲嵌製程。本發明之改善低介電常數薄膜特性之方法，包括下列步驟：提供一半導體基底，其上設置有一低介電常數介電層，此低介電常數介電層表現出一拉伸應力；以及形成一應力調整層於上述低介電常數介電層上以構成一複合膜層，其中此應力調整層表現出異於上述拉伸應力之壓縮應力以調整此複合膜層中之應力，進而改善低介電常數介電層之薄膜特性。
简体摘要：本发明系关于一种改善低介电常数薄膜特性之方法及应用此法之一种镶嵌制程。本发明之改善低介电常数薄膜特性之方法，包括下列步骤：提供一半导体基底，其上设置有一低介电常数介电层，此低介电常数介电层表现出一拉伸应力；以及形成一应力调整层于上述低介电常数介电层上以构成一复合膜层，其中此应力调整层表现出异于上述拉伸应力之压缩应力以调整此复合膜层中之应力，进而改善低介电常数介电层之薄膜特性。

4. 发明专利

TW584737B 光學信號交換器之控制裝置及控制方法失效
简体标题：光学信号交换器之控制设备及控制方法
公开(公告)号：TW584737B
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：TW092102278
申请日：2003-01-30
申请人：富士通股份有限公司 FUJITSU LIMITED
发明人： 尾祐治 YUJI TOCHIO , 森和行 KAZUYUKI MORI
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B6/3588 , G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/359 , G02B26/0833
摘要：本發明之目的是提供光學信號交換器之控制裝置及控制方法，即使當進行具有不同光學輸入位準之頻道切換時，其亦能夠控制光輸出位準為固定。為達此目的，依據光學信號交換器之控制裝置，在使用各具有多數個被配置在平面上之傾斜鏡的MEMS鏡陣列之三維型式光學信號交換器中，各傾斜鏡具有角度可控制之反射表面，依序地被分別的MEMS鏡陣列所反射且從一特定位置被輸出之光學信號功率被光功率檢測部份所檢測，並且反射該光學信號之傾斜鏡的反射表面角度被回授控制，以至於在先前被設定之目標值和輸出光功率之間的差量絕對值成為最小。
简体摘要：本发明之目的是提供光学信号交换器之控制设备及控制方法，即使当进行具有不同光学输入位准之频道切换时，其亦能够控制光输出位准为固定。为达此目的，依据光学信号交换器之控制设备，在使用各具有多数个被配置在平面上之倾斜镜的MEMS镜数组之三维型式光学信号交换器中，各倾斜镜具有角度可控制之反射表面，依序地被分别的MEMS镜数组所反射且从一特定位置被输出之光学信号功率被光功率检测部份所检测，并且反射该光学信号之倾斜镜的反射表面角度被回授控制，以至于在先前被设置之目标值和输出光功率之间的差量绝对值成为最小。

5. 发明专利

TW200306433A 光學信號交換器之控制裝置及控制方法 CONTROL APPARATUS AND CONTROL METHOD OF OPTICAL SIGNAL EXCHANGER 失效
简体标题：光学信号交换器之控制设备及控制方法 CONTROL APPARATUS AND CONTROL METHOD OF OPTICAL SIGNAL EXCHANGER
公开(公告)号：TW200306433A
公开(公告)日：2003-11-16
申请号：TW092102278
申请日：2003-01-30
申请人：富士通股份有限公司 FUJITSU LIMITED
发明人： 尾祐治 YUJI TOCHIO , 森和行 KAZUYUKI MORI
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B6/3588 , G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/359 , G02B26/0833
摘要：本發明之目的是提供光學信號交換器之控制裝置及控制方法，即使當進行具有不同光學輸入位準之頻道切換時，其亦能夠控制光輸出位準為固定。為遠此目的，依據光學信號交換器之控制裝置，在使用各具有多數個被配置在平面上之傾斜鏡的MEMS鏡陣列之三維型式光學信號交換器中，各傾斜鏡具有角度可控制之反射表面，依序地被分別的MEMS鏡陣列所反射且從一特定位置被輸出之光學信號功率被光功率檢測部份所檢測，並且反射該光學信號之傾斜鏡的反射表面角度被回授控制，以至於在先前被設定之目標值和輸出光功率之間的差量絕對值成為最小。
简体摘要：本发明之目的是提供光学信号交换器之控制设备及控制方法，即使当进行具有不同光学输入位准之频道切换时，其亦能够控制光输出位准为固定。为远此目的，依据光学信号交换器之控制设备，在使用各具有多数个被配置在平面上之倾斜镜的MEMS镜数组之三维型式光学信号交换器中，各倾斜镜具有角度可控制之反射表面，依序地被分别的MEMS镜数组所反射且从一特定位置被输出之光学信号功率被光功率检测部份所检测，并且反射该光学信号之倾斜镜的反射表面角度被回授控制，以至于在先前被设置之目标值和输出光功率之间的差量绝对值成为最小。

6. 发明专利

TW412649B 封裝流體微電機械系統之光學開關失效
简体标题：封装流体微电机械系统之光学开关
公开(公告)号：TW412649B
公开(公告)日：2000-11-21
申请号：TW088120290
申请日：1999-11-17
申请人：康寧公司
发明人：克力托福飛立保菲 , 强保連道耳 , 唯多安艾德華 , 播納艾德
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3576 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B26/004
摘要：流體封裝MEMS光學切換器包含具有MEMS反射鏡光學波導基板，其位於波導交點處溝槽中。溝槽填充保持準直流體以及反射鏡浸漬於其中。當光線進入切換交點時保持準直流體裝防止光束擴散。該特性能夠使用較小MEMS反射鏡以及避免一些先前技術中常見MEMS反射鏡之問題。特別是，在本發明所揭示MEMS反射鏡將減小為寬度為15微米以及厚度為2微米，產生較小約為15微米之促動距離。該特性產生切換時間較為快速之光學切換器。
简体摘要：流体封装MEMS光学切换器包含具有MEMS反射镜光学波导基板，其位于波导交点处沟槽中。沟槽填充保持准直流体以及反射镜浸渍于其中。当光线进入切换交点时保持准直流体装防止光束扩散。该特性能够使用较小MEMS反射镜以及避免一些先前技术中常见MEMS反射镜之问题。特别是，在本发明所揭示MEMS反射镜将减小为宽度为15微米以及厚度为2微米，产生较小约为15微米之促动距离。该特性产生切换时间较为快速之光学切换器。

7. 发明专利

TWI274185B 立體構造元件及其製造方法、光開關、微裝置有权
简体标题：三維构造组件及其制造方法、光开关、微设备
公开(公告)号：TWI274185B
公开(公告)日：2007-02-21
申请号：TW092121078
申请日：2003-08-01
申请人：尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
发明人：石津谷徹
IPC分类号： G02B
CPC分类号： B81B3/0072 , B81C2201/0108 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , Y10S438/926
摘要：提供一種具備複數個立體構造體之立體構造元件，不至在立體構造體之形狀產生偏差，能形成一樣之構成。
具有基板11、與配置在基板11上預先決定之有效區域20的立體構造體1。該立體構造體1具備空間部，係在與基板11之間藉由除去犧牲層來形成。在基板11上，設有包圍有效區域20之虛區域21，在虛區域21配置有虛構造體33。虛構造體33具有空間部，係在與基板11之間藉由除去犧牲層來形成。由於此構成，故在除去犧牲層之拋光製程時，虛區域21之溫度僅會上升到與有效區域20相同程度之溫度，而能防止在有效區域20產生溫度分布。
简体摘要：提供一种具备复数个三維构造体之三維构造组件，不至在三維构造体之形状产生偏差，能形成一样之构成。具有基板11、与配置在基板11上预先决定之有效区域20的三維构造体1。该三維构造体1具备空间部，系在与基板11之间借由除去牺牲层来形成。在基板11上，设有包围有效区域20之虚区域21，在虚区域21配置有虚构造体33。虚构造体33具有空间部，系在与基板11之间借由除去牺牲层来形成。由于此构成，故在除去牺牲层之抛光制程时，虚区域21之温度仅会上升到与有效区域20相同程度之温度，而能防止在有效区域20产生温度分布。

8. 发明专利

TW200416194A 具有可調自然頻率之微機電系統掃描鏡 MENS SCANNING MIRROR WITH TUNABLE NATURAL FREQUENCY 审中-公开
简体标题：具有可调自然频率之微机电系统扫描镜 MENS SCANNING MIRROR WITH TUNABLE NATURAL FREQUENCY
公开(公告)号：TW200416194A
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：TW092131669
申请日：2003-11-12
申请人：先進奈米系統公司 ADVANCED NANO SYSTEMS
发明人：冶中溥 YEE-CHUNG FU , 廷棟郭 TING-TUNG KUO
IPC分类号： B81B
CPC分类号： G02B26/0841 , G02B6/3518 , G02B6/357 , G02B26/101
摘要：在本發明之一具體實施例中，微機電系統(MEMS)結構包含一第一電極、一第二電極、與一移動式元件。第一電極耦合到第一電壓源。第二電極耦合到第二電壓源。移動式元件包含一第三電極，耦合到第三電壓源。第一電極與第三電極之間的穩定電壓差，係用來將結構的自然頻率調成應用的掃描頻率。在應用的掃描頻率上，使用第二電極與第三電極之間的振盪電壓差，以振盪移動式元件。在一具體實施例中，移動式單元係鏡面。
简体摘要：在本发明之一具体实施例中，微机电系统(MEMS)结构包含一第一电极、一第二电极、与一移动式组件。第一电极耦合到第一电压源。第二电极耦合到第二电压源。移动式组件包含一第三电极，耦合到第三电压源。第一电极与第三电极之间的稳定电压差，系用来将结构的自然频率调成应用的扫描频率。在应用的扫描频率上，使用第二电极与第三电极之间的振荡电压差，以振荡移动式组件。在一具体实施例中，移动式单元系镜面。

9. 发明专利

TW200402548A 光學裝置以及製造方法 OPTICAL DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURE 失效
简体标题：光学设备以及制造方法 OPTICAL DEVICES AND METHODS OF MANUFACTURE
公开(公告)号：TW200402548A
公开(公告)日：2004-02-16
申请号：TW092105977
申请日：2003-03-13
申请人：康寧公司 CORNING INCORPORATED
发明人：史提芬約塞卡拉西 STEPHEN JOSEPH CARACCI , 亞當約塞夫索 ADAM JOSEPH FUSCO , 李成祝 CHENG-CHUNG LI , 納加拉山昔哈 NEGARAJA SHASHIDHAR
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B6/3582 , G02B6/262 , G02B6/264 , G02B6/266 , G02B6/32 , G02B6/351 , G02B6/3518 , G02B6/3528 , G02B6/3546 , G02B6/3636 , G02B6/364
摘要：本發明揭示出定位透鏡化光纖以及光學元件之裝置及方法。該裝置及方法包含握持透鏡之元件以及握持光纖之元件位於平面性基板上。裝置及方法有用於製造光纖以及透鏡以及光學波導裝置。
简体摘要：本发明揭示出定位透镜化光纤以及光学组件之设备及方法。该设备及方法包含握持透镜之组件以及握持光纤之组件位于平面性基板上。设备及方法有用于制造光纤以及透镜以及光学波导设备。

10. 发明专利

TW200307145A 含被傳導性隔件所隔開之鏡基材與佈線基材之微鏡單元 MICRO MIRROR UNIT INCLUDING MIRROR SUBSTRATE AND WIRING SUBSTRATE SPACED BY CONDUCTIVE SPACER 失效
简体标题：含被传导性隔件所隔开之镜基材与布线基材之微镜单元 MICRO MIRROR UNIT INCLUDING MIRROR SUBSTRATE AND WIRING SUBSTRATE SPACED BY CONDUCTIVE SPACER
公开(公告)号：TW200307145A
公开(公告)日：2003-12-01
申请号：TW092100023
申请日：2003-01-02
申请人：富士通股份有限公司 FUJITSU LIMITED , 富士通媒體裝置股份有限公司 FUJITSU MEDIA DEVICES LIMITED
发明人：曾根田弘光 HIROMITSU SONEDA , 上田知史 SATOSHI UEDA , 奧田久雄 HISAO OKUDA , 佐一平 IPPEI SAWAKI , 壺井修 OSAMU TSUBOI , 水野義博 YOSHIHIRO MIZUNO , 高馬悟覺 NORINAO KOUMA , 中村義孝 YOSHITAKA NAKAMURA , 山岸文雄 FUMIO YAMAHGISHI
IPC分类号： G02B
CPC分类号： G02B6/3518 , G02B6/3556 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/4232 , G02B26/0841 , Y10S359/904
摘要：一種微鏡單元包括一微鏡基材、一佈線基材、以及一電傳導性隔件設置於此二基材間。微鏡單元包括一活動元件、一框以及一扭桿連結該活動元件至該框。活動元件設置有個鏡成形部。佈線基材成形有佈線圖案。導電隔件電性連結該框至該佈線圖案，同時也提供一個空間介於該微鏡基材與該佈線基材間。
简体摘要：一种微镜单元包括一微镜基材、一布线基材、以及一电传导性隔件设置于此二基材间。微镜单元包括一活动组件、一框以及一扭杆链接该活动组件至该框。活动组件设置有个镜成形部。布线基材成形有布线图案。导电隔件电性链接该框至该布线图案，同时也提供一个空间介于该微镜基材与该布线基材间。

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