专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW200821247A 基板檢查裝置审中-公开
简体标题：基板检查设备
公开(公告)号：TW200821247A
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：TW096134879
申请日：2007-09-19
申请人：奧林巴斯股份有限公司 OLYMPUS CORPORATION
发明人：城崎修哉 JOGASAKI, SHUYA
IPC分类号： B65G , G01R
CPC分类号： G01N21/896 , G01N2201/021
摘要：一種即使基板大型化亦可藉由車輛運送且可輕易地在運送目的地組裝,並且可減低運送費用之基板檢查裝置,包含有:檢查單元,係將可檢查與基板的搬運方向直交之檢查線之檢查頭、可支撐該檢查頭之台架、及可使基板懸浮一定高度之檢查用懸浮台部,與檢查底座組裝為一體者;及搬運單元,係可裝卸地安裝於台架的腳部與檢查用懸浮台部之間的檢查底座,並沿著搬運基板之搬運路徑的一側緣地相對於檢查單元配置成T字型,且可維持基板在搬運方向上移動者。又,在藉由車輛運送之際,可將搬運單元與檢查單元分解為單元單位並且運送。
简体摘要：一种即使基板大型化亦可借由车辆运送且可轻易地在运送目的地组装,并且可减低运送费用之基板检查设备,包含有:检查单元,系将可检查与基板的搬运方向直交之检查线之检查头、可支撑该检查头之台架、及可使基板悬浮一定高度之检查用悬浮台部,与检查底座组装为一体者;及搬运单元,系可装卸地安装于台架的脚部与检查用悬浮台部之间的检查底座,并沿着搬运基板之搬运路径的一侧缘地相对于检查单元配置成T字体,且可维持基板在搬运方向上移动者。又,在借由车辆运送之际,可将搬运单元与检查单元分解为单元单位并且运送。

2. 发明专利

TW200307339A 基板保持裝置及基板檢查裝置 SUBSTRATE HOLDING APPATATUS AND SUBSTRATE EXAMINATION APPARATUS 失效
简体标题：基板保持设备及基板检查设备 SUBSTRATE HOLDING APPATATUS AND SUBSTRATE EXAMINATION APPARATUS
公开(公告)号：TW200307339A
公开(公告)日：2003-12-01
申请号：TW092114436
申请日：2003-05-28
申请人：奧林柏士光學工業股份有限公司 OLYMPUS OPTICAL CO., LTD
发明人：安田守 MAMORU YASUDA , 藤崎暢夫 NOBUO FUJISAKI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N21/958 , G01N2021/9513 , G01N2201/021
摘要：以基板（1）下之基板托架（5）上的插口（19）的伸縮動作向上方作搖動，當基板托架（5）向上搖動時，基板5相對於直線導軌（15）之鉸鍊（10）上所設之移動滑車（14）移動，由底座（3）之邊緣部份（11）往上推出的同時，基板托架（5）的下端側邊緣較底座（3）的邊緣部份（11）更為下降。
简体摘要：以基板（1）下之基板托架（5）上的插口（19）的伸缩动作向上方作摇动，当基板托架（5）向上摇动时，基板5相对于直线导轨（15）之铰链（10）上所设之移动滑车（14）移动，由底座（3）之边缘部份（11）往上推出的同时，基板托架（5）的下端侧边缘较底座（3）的边缘部份（11）更为下降。

3. 发明专利

TWI313039B 基板保持裝置及基板檢查裝置 SUBSTRATE HOLDING APPATATUS AND SUBSTRATE EXAMINATION APPARATUS 失效
简体标题：基板保持设备及基板检查设备 SUBSTRATE HOLDING APPATATUS AND SUBSTRATE EXAMINATION APPARATUS
公开(公告)号：TWI313039B
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW092114436
申请日：2003-05-28
申请人：奧林柏士股份有限公司 OLYMPUS CORPORATION
发明人：安田守 MAMORU YASUDA , 藤崎暢夫 NOBUO FUJISAKI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N21/958 , G01N2021/9513 , G01N2201/021
摘要：以基板(1)下之基板托架(5)上的插口(19)的伸縮動作向上方作搖動,當基板托架(5)向上搖動時,基板5相對於直線導軌(15)之鉸鍊(10)上所設之移動滑車(14)移動,由底座(3)之邊緣部份(11)往上推出的同時,基板托架(5)的下端側邊緣較底座(3)的邊緣部份(11)更為下降。
简体摘要：以基板(1)下之基板托架(5)上的插口(19)的伸缩动作向上方作摇动,当基板托架(5)向上摇动时,基板5相对于直线导轨(15)之铰链(10)上所设之移动滑车(14)移动,由底座(3)之边缘部份(11)往上推出的同时,基板托架(5)的下端侧边缘较底座(3)的边缘部份(11)更为下降。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式