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1. 发明专利

TW200532180A 偵測污染的系統及方法 SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTING CONTAMINANTS 审中-公开
简体标题：侦测污染的系统及方法 SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTING CONTAMINANTS
公开(公告)号：TW200532180A
公开(公告)日：2005-10-01
申请号：TW093136924
申请日：2004-11-30
申请人：萃取系統公司 EXTRACTION SYSTEMS, INC.
发明人：安得利‧雷福 ANATOLY GRAYFER , 朱金‧拉伯特 JURGEN MICHAEL LOBERT , 威廉‧古文 WILLIAM GOODWIN , 法蘭克‧畢勒蓋 FRANK VINCENT BELANGER , 約翰‧薩伊 JOHN E. SERGI , 馬克‧佛爾浦 MARK C. PHELPS
IPC分类号： G01N
CPC分类号： B01D53/22 , B01D63/00 , B01D2313/18 , G01N1/2214 , G01N1/2273 , G01N1/24 , G01N2001/1093
摘要：本發明係有關於一個氣體流取樣的方法和系統，用以測量一個或多個在半導體製造工具中的污染物，該系統包括一個攜帶式設備，包含一個或多個乾式捕捉器、Tenax捕捉器、及，若有需要，溼撞擊物。該設備在一個無塵室中連接於一個氣體流，乾式捕捉器、Tenax捕捉器和溼撞擊物測量於一個確定期間氣體供應中所含的污染物，當取樣期間結束時，該設備被送至一個分析機構去進行分析。
简体摘要：本发明系有关于一个气体流采样的方法和系统，用以测量一个或多个在半导体制造工具中的污染物，该系统包括一个携带式设备，包含一个或多个干式捕捉器、Tenax捕捉器、及，若有需要，湿撞击物。该设备在一个无尘室中连接于一个气体流，干式捕捉器、Tenax捕捉器和湿撞击物测量于一个确定期间气体供应中所含的污染物，当采样期间结束时，该设备被送至一个分析机构去进行分析。

2. 发明专利

TW434403B 定時自動化採樣機器失效
简体标题：定时自动化采样机器
公开(公告)号：TW434403B
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：TW087116375
申请日：1998-10-01
申请人：羅俊光
发明人：羅俊光 , 楊鈞沂 , 柯順祥
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N1/26 , G01N2001/1093
摘要：本案為一種自動化採樣機器，該氣體採樣機器放置於將採樣之地點上，並可透過一計時器經由事先之一時間設定，在該計時器達該設定值時給於一閥門控制器一訊號，使該閥門控制器得以開啟，該氣體採樣品並經由一入口通過一流量控制器以控制該氣體採樣品之流量，該氣體採樣品再經由一管路流至一採樣罐，即完成了時間區段之氣體採樣。
简体摘要：本案为一种自动化采样机器，该气体采样机器放置于将采样之地点上，并可透过一计时器经由事先之一时间设置，在该计时器达该设置值时给于一阀门控制器一信号，使该阀门控制器得以打开，该气体采样品并经由一入口通过一流量控制器以控制该气体采样品之流量，该气体采样品再经由一管路流至一采样罐，即完成了时间区段之气体采样。

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