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    • 10. 发明专利
    • 乾淨材料用之儲蓄庫
    • 干净材料用之储蓄库
    • TW325520B
    • 1998-01-21
    • TW085107112
    • 1996-06-13
    • 高砂熱學工業股份有限公司
    • 佐藤克己
    • G01NG01BG01R
    • F24F3/161F24F2003/1625F24F2003/1628
    • 本發明係由潔淨室12及在與潔淨室隔離之狀態下儲蓄乾淨材料之儲蓄空間10所構成,其可從送氣系統32、46將儲存用乾淨空氣送到儲存空間10中,該儲存用乾淨空氣係由儲蓄用乾淨空氣生成手段36所生成之例如以催化劑燃燒法將包括甲烷之烴類之總濃度控制在10ppb以下之儲蓄用乾淨空氣,或是用本身不發生氣狀雜質之催化劑反應塔或活性碳過濾器或流動層吸附塔將其乾淨材料表面之純水滴下接觸角或表面電阻率控制保持於大致與則清洗過後同等狀態之儲蓄用乾淨空氣。因此,可有效地防止基板表面之有機物污染。其時,因不需要惰性氣體等,所以可安全地且以低廉之運轉成本運作儲蓄庫。
    • 本发明系由洁净室12及在与洁净室隔离之状态下储蓄干净材料之储蓄空间10所构成,其可从送气系统32、46将存储用干净空气送到存储空间10中,该存储用干净空气系由储蓄用干净空气生成手段36所生成之例如以催化剂燃烧法将包括甲烷之烃类之总浓度控制在10ppb以下之储蓄用干净空气,或是用本身不发生气状杂质之催化剂反应塔或活性碳过滤器或流动层吸附塔将其干净材料表面之纯水滴下接触角或表面电阻率控制保持于大致与则清洗过后同等状态之储蓄用干净空气。因此,可有效地防止基板表面之有机物污染。其时,因不需要惰性气体等,所以可安全地且以低廉之运转成本运作储蓄库。