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1. 发明专利

TW200407967A 溫度控制方法及裝置、曝光方法及裝置、以及元件製造方法失效
简体标题：温度控制方法及设备、曝光方法及设备、以及组件制造方法
公开(公告)号：TW200407967A
公开(公告)日：2004-05-16
申请号：TW092123901
申请日：2003-08-29
申请人：尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
发明人：荒井大 , 吉田友之
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G03F7/70858 , F24F3/161 , F24F11/30 , F24F2003/1614 , F24F2003/1621 , F24F2110/10 , F24F2110/20 , G03F7/70866 , G03F7/70875 , G03F7/70933
摘要：為提供一種溫度控制技術與曝光技術，在使用溫度受控制之流體時，就算使用隨流體之狀態會產生熱變化之裝置，仍可獲得高精度的溫度控制。將由溫度控制對象之標線片室32回收之氣體、與來自氣體供給源35之高純度清除氣體在混合部45混合，利用冷凍機47降低混合氣體之溫度後，以濕度感測器49測量該濕度。測量後之氣體經過加熱機52、隨濕度吸放熱之化學過濾器53以及防塵過濾器54供給至標線片室32。根據標線片室32內之溫度感測器39B提供之溫度資訊與濕度感測器49提供之濕度資訊，來控制在加熱機52之該氣體之加熱量。
简体摘要：为提供一种温度控制技术与曝光技术，在使用温度受控制之流体时，就算使用随流体之状态会产生热变化之设备，仍可获得高精度的温度控制。将由温度控制对象之标线片室32回收之气体、与来自气体供给源35之高纯度清除气体在混合部45混合，利用冷冻机47降低混合气体之温度后，以湿度传感器49测量该湿度。测量后之气体经过加热机52、随湿度吸放热之化学过滤器53以及防尘过滤器54供给至标线片室32。根据标线片室32内之温度传感器39B提供之温度信息与湿度传感器49提供之湿度信息，来控制在加热机52之该气体之加热量。

2. 发明专利

TW338095B 無化學污染之乾燥空氣產生裝置失效
简体标题：无化学污染之干燥空气产生设备
公开(公告)号：TW338095B
公开(公告)日：1998-08-11
申请号：TW086104575
申请日：1997-04-10
申请人：三菱電機股份有限公司
发明人：谷博司 , 江崎浩治 , 長舟平 , 福本隼明
IPC分类号： F24F , F26B , H01L
CPC分类号： F24F3/1603 , F24F2003/144 , F24F2003/1621
摘要：本發明提供一種無化學污染之乾燥空氣產生裝置，可以低價供應無化學污染之乾燥空氣。
在一室內配置由抽風機3，化學物過濾器4，和HEPA過濾器5所構成的抽風過濾單元2，以及乾燥空氣產生裝置6，由於大氣通過抽風過濾單元2，除去化學霧沫和數微米程度的異物，將清淨的無化學污染空氣供應至室11內，其次，將供至室11內的清淨無化學污染空氣透入乾燥空氣產生裝置6，令除去水份的無化學污染之乾燥空氣，經過配管和閥10，供應至製造裝置或輸送裝置等使用地點。
简体摘要：本发明提供一种无化学污染之干燥空气产生设备，可以低价供应无化学污染之干燥空气。在一室内配置由抽风机3，化学物过滤器4，和HEPA过滤器5所构成的抽风过滤单元2，以及干燥空气产生设备6，由于大气通过抽风过滤单元2，除去化学雾沫和数微米程度的异物，将清净的无化学污染空气供应至室11内，其次，将供至室11内的清净无化学污染空气透入干燥空气产生设备6，令除去水份的无化学污染之干燥空气，经过配管和阀10，供应至制造设备或输送设备等使用地点。

3. 发明专利

TWI311489B 空氣淨化裝置及空氣淨化方法 AIR DECONTAMINATION DEVICES AND AIR DECONTAMINATION METHODS 失效
简体标题：空气净化设备及空气净化方法 AIR DECONTAMINATION DEVICES AND AIR DECONTAMINATION METHODS
公开(公告)号：TWI311489B
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW092113500
申请日：2003-05-19
申请人：席朶爾亞茲 ARTS, THEODORE A. M.
发明人：席朶爾亞茲 ARTS, THEODORE A. M. , 保羅齊拉葉斯 CHIRAYATH, PAUL J. , 詹姆士湯姆森 THOMSEN, JAMES M. , 傑洛米山塔格 SHENTAG, JEROME
IPC分类号： A61L , C01B
CPC分类号： B01D46/10 , A61L2/10 , A61L2/202 , A61L9/015 , A61L9/16 , A61L9/20 , B01D46/125 , B01D2279/65 , F24F3/16 , F24F11/30 , F24F2003/1614 , F24F2003/1621 , F24F2003/1625 , F24F2003/1667 , F24F2003/1685 , F24F2110/50 , F24F2221/125 , F24F2221/44
摘要：本案提供一種空氣淨化裝置,包括一過濾器,其在上游側及下游側上直接地曝露至紫外線("UV")輻射。臭氧同樣地可提供來穿透過濾器。反射器可提供來朝向此過濾器而反射發射於離開該過濾器的方向的UV輻射。此過濾器例如可以是一V形排過濾器。空氣取樣口及預過濾器可被提供。例如,在工業與醫學污染、或恐怖份子的生物、化學及輻射學攻擊後,可使用來淨化空氣。移動式隔離單元及淨化一室的方法同樣地在此揭示。
简体摘要：本案提供一种空气净化设备,包括一过滤器,其在上游侧及下游侧上直接地曝露至紫外线("UV")辐射。臭氧同样地可提供来穿透过滤器。反射器可提供来朝向此过滤器而反射发射于离开该过滤器的方向的UV辐射。此过滤器例如可以是一V形排过滤器。空气采样口及预过滤器可被提供。例如,在工业与医学污染、或恐怖份子的生物、化学及辐射学攻击后,可使用来净化空气。移动式隔离单元及净化一室的方法同样地在此揭示。

4. 发明专利

TW355207B 超清淨空氣之製造方法失效
简体标题：超清净空气之制造方法
公开(公告)号：TW355207B
公开(公告)日：1999-04-01
申请号：TW087102105
申请日：1998-02-16
申请人：三菱電機股份有限公司
发明人：福本隼明
IPC分类号： F25J , F24F
CPC分类号： F24F3/16 , F24F2003/1621
摘要：〔課題〕為隊道方式之上葉搬送系統等所使用之空氣，可將上葉不污染且不產生自然氧化膜之超清淨空氣，以大氣作為原料有效率地製造。〔解決手段〕將大氣所採集之原料空氣１ａ，經由活性氧化鋁和合成沸石之混合物７ａ於常溫下予以吸附處理，取得主要將水分及二氧化碳儘可能除去之前處理空氣１ｂ。令前處理空氣１ｂ以第一熱交換器１２予以冷卻，並經沸石９ａ於－４０℃～－６０℃下吸附處理後，將此處理空氣１ｃ以第二熱交換器１３予以冷卻，並經沸石１０ａ於－１５０℃～１８０℃下吸附處理，取得氮、氧、稀有氣體以外之化學成分濃度為１ｐｐｂ以上且露點為－１００℃以下之超清淨空氣。
简体摘要：〔课题〕为队道方式之上叶搬送系统等所使用之空气，可将上叶不污染且不产生自然氧化膜之超清净空气，以大气作为原料有效率地制造。〔解决手段〕将大气所采集之原料空气１ａ，经由活性氧化铝和合成沸石之混合物７ａ于常温下予以吸附处理，取得主要将水分及二氧化碳尽可能除去之前处理空气１ｂ。令前处理空气１ｂ以第一热交换器１２予以冷却，并经沸石９ａ于－４０℃～－６０℃下吸附处理后，将此处理空气１ｃ以第二热交换器１３予以冷却，并经沸石１０ａ于－１５０℃～１８０℃下吸附处理，取得氮、氧、稀有气体以外之化学成分浓度为１ｐｐｂ以上且露点为－１００℃以下之超清净空气。

5. 发明专利

TW201800141A 吸收式去除／濃縮裝置审中-公开
简体标题：吸收式去除／浓缩设备
公开(公告)号：TW201800141A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106102857
申请日：2017-01-25
申请人：西部技研股份有限公司
发明人：黑田彩子 , 井上宏志 , 岡野浩志
IPC分类号： B01D53/18 , B01D53/62
CPC分类号： B01D53/06 , B01D2253/102 , B01D2253/106 , B01D2253/206 , B01D2253/25 , B01D2253/3425 , B01D2257/504 , B01D2257/708 , B01D2259/4009 , B01D2259/4508 , F24F3/001 , F24F3/14 , F24F3/1603 , F24F12/00 , F24F2003/1621 , F24F2013/225 , F24F2203/1024 , F24F2203/1048 , Y02A50/235 , Y02C10/06 , Y02C10/08 , Y02P60/24
摘要：本發明提供一種能夠去除或濃縮二氧化碳而確保高回收效率，且防止胺之熱劣化而長壽命化的吸收式二氧化碳去除/濃縮裝置。前述裝置具有保持有負載胺之固體吸收劑的蜂窩式轉子(1)，將蜂窩式轉子(1)至少劃分為處理區域(2)與再生區域(4)，藉由對再生用空氣與處理對象空氣之任一者或兩者設置焓亦即溫/濕度調整機構並使其通過各自的區域，能夠控制二氧化碳的吸收性能及濃縮性能。
简体摘要：本发明提供一种能够去除或浓缩二氧化碳而确保高回收效率，且防止胺之热劣化而长寿命化的吸收式二氧化碳去除/浓缩设备。前述设备具有保持有负载胺之固体吸收剂的蜂窝式转子(1)，将蜂窝式转子(1)至少划分为处理区域(2)与再生区域(4)，借由对再生用空气与处理对象空气之任一者或两者设置焓亦即温/湿度调整机构并使其通过各自的区域，能够控制二氧化碳的吸收性能及浓缩性能。

6. 发明专利

TWI310210B 溫度控制方法及裝置、曝光方法及裝置、以及元件製造方法失效
简体标题：温度控制方法及设备、曝光方法及设备、以及组件制造方法
公开(公告)号：TWI310210B
公开(公告)日：2009-05-21
申请号：TW092123901
申请日：2003-08-29
申请人：尼康股份有限公司 NIKON CORPORATION
发明人：荒井大 ARAI, DAI , 吉田友之
IPC分类号： H01L , G03F , G05D
CPC分类号： G03F7/70858 , F24F3/161 , F24F11/30 , F24F2003/1614 , F24F2003/1621 , F24F2110/10 , F24F2110/20 , G03F7/70866 , G03F7/70875 , G03F7/70933
摘要：為提供一種溫度控制技術與曝光技術,在使用溫度受控制之流體時,就算使用隨流體之狀態會產生熱變化之裝置,仍可獲得高精度的溫度控制。
將由溫度控制對象之標線片室32回收之氣體、與來自氣體供給源35之高純度清除氣體在混合部45混合,利用冷凍機47降低混合氣體之溫度後,以濕度感測器49測量該濕度。測量後之氣體經過加熱機52、隨濕度吸放熱之化學過濾器53以及防塵過濾器54供給至標線片室32。根據標線片室32內之溫度感測器39B提供之溫度資訊與濕度感測器49提供之濕度資訊,來控制在加熱機52之該氣體之加熱量。
简体摘要：为提供一种温度控制技术与曝光技术,在使用温度受控制之流体时,就算使用随流体之状态会产生热变化之设备,仍可获得高精度的温度控制。将由温度控制对象之标线片室32回收之气体、与来自气体供给源35之高纯度清除气体在混合部45混合,利用冷冻机47降低混合气体之温度后,以湿度传感器49测量该湿度。测量后之气体经过加热机52、随湿度吸放热之化学过滤器53以及防尘过滤器54供给至标线片室32。根据标线片室32内之温度传感器39B提供之温度信息与湿度传感器49提供之湿度信息,来控制在加热机52之该气体之加热量。

7. 发明专利

TW200405820A 空氣淨化裝置 AIR DECONTAMINATION DEVICES 失效
简体标题：空气净化设备 AIR DECONTAMINATION DEVICES
公开(公告)号：TW200405820A
公开(公告)日：2004-04-16
申请号：TW092113500
申请日：2003-05-19
申请人：席朶爾亞茲 ARTS, THEODORE A. M.
发明人：席朶爾亞茲 ARTS, THEODORE A. M. , 保羅齊拉葉斯 CHIRAYATH, PAUL J. , 詹姆士湯姆森 THOMAS, JAMES M. , 傑洛米山塔格 SHENTAG, JEROME
IPC分类号： A61L , C01B
CPC分类号： B01D46/10 , A61L2/10 , A61L2/202 , A61L9/015 , A61L9/16 , A61L9/20 , B01D46/125 , B01D2279/65 , F24F3/16 , F24F11/30 , F24F2003/1614 , F24F2003/1621 , F24F2003/1625 , F24F2003/1667 , F24F2003/1685 , F24F2110/50 , F24F2221/125 , F24F2221/44
摘要：本案提供一種空氣淨化裝置，包括一過濾器，其在上游側及下游側上直接地曝露至紫外線(”UV”)輻射。臭氧同樣地可提供來穿透過濾器。反射器可提供來朝向此過濾器而反射發射於離開該過濾器的方向的UV輻射。此過濾器例如可以是一V形排過濾器。空氣取樣口及預過濾器可被提供。例如，在工業與醫學污染、或恐怖份子的生物、化學及輻射學攻擊後，可使用來淨化空氣。移動式隔離單元及淨化一室的方法同樣地在此揭示。
简体摘要：本案提供一种空气净化设备，包括一过滤器，其在上游侧及下游侧上直接地曝露至紫外线(”UV”)辐射。臭氧同样地可提供来穿透过滤器。反射器可提供来朝向此过滤器而反射发射于离开该过滤器的方向的UV辐射。此过滤器例如可以是一V形排过滤器。空气采样口及预过滤器可被提供。例如，在工业与医学污染、或恐怖份子的生物、化学及辐射学攻击后，可使用来净化空气。移动式隔离单元及净化一室的方法同样地在此揭示。

8. 发明专利

TW564186B 特別是在除塵室設備的廢空氣的處理設備與方法失效
简体标题：特别是在除尘室设备的废空气的处理设备与方法
公开(公告)号：TW564186B
公开(公告)日：2003-12-01
申请号：TW091119489
申请日：2002-08-28
申请人： M+W桑德設備工程有限公司
发明人：馬丁修特勒
IPC分类号： B01D
CPC分类号： F24F3/161 , F24F2003/1614 , F24F2003/1621 , F24F2003/1639
摘要：一種特別是用於除塵室工程的設備，具有至少一個新鮮空氣供應裝置及至少一個廢空氣裝置，該廢空氣裝置與一工作室－－特別是與一機械室、倉庫室或實驗室－－連通，在該工作室中設有一程序裝置，至少有一供應管路及至少一廢空氣管路接到該程序裝置，其中，在該程序裝置(2)的廢空氣管路(10)中至少設有一過濾器(11)(12)，且該廢空氣管路(10)與該程序裝置(2)及/或該工作室(3)的供應空氣管路(5)(5')連通。
简体摘要：一种特别是用于除尘室工程的设备，具有至少一个新鲜空气供应设备及至少一个废空气设备，该废空气设备与一工作室－－特别是与一机械室、仓库室或实验室－－连通，在该工作室中设有一进程设备，至少有一供应管路及至少一废空气管路接到该进程设备，其中，在该进程设备(2)的废空气管路(10)中至少设有一过滤器(11)(12)，且该废空气管路(10)与该进程设备(2)及/或该工作室(3)的供应空气管路(5)(5')连通。

9. 发明专利

TW484001B 無塵室及無塵室空調方法失效
简体标题：无尘室及无尘室空调方法
公开(公告)号：TW484001B
公开(公告)日：2002-04-21
申请号：TW089119702
申请日：2000-09-22
申请人：日本電氣股份有限公司
发明人：蓑島雅彥
IPC分类号： F24F
CPC分类号： H01L21/67017 , F24F3/161 , F24F2003/1621 , Y10S414/135
摘要：一種無塵室，具有：一內室，其中放置規定的半導體裝置生產設備、介面盒、和介面盒開啟器之類；及一外室，環繞著內室，且在此外室和內室之間形成空氣循環路徑，在內室之空氣經由內室所提供之風扇過濾器單元在空氣循環路徑中循環，一潔淨之第二道空氣流，從內室及在空氣循環路徑中循環之第一道空氣流獨立出來，且從潔淨室外面直接供應至靠近介面盒開啟器的區域中。
简体摘要：一种无尘室，具有：一内室，其中放置规定的半导体设备生产设备、界面盒、和界面盒打开器之类；及一外室，环绕着内室，且在此外室和内室之间形成空气循环路径，在内室之空气经由内室所提供之风扇过滤器单元在空气循环路径中循环，一洁净之第二道空气流，从内室及在空气循环路径中循环之第一道空气流独立出来，且从洁净室外面直接供应至靠近界面盒打开器的区域中。

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