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    • 2. 发明专利
    • 輻射燃燒器
    • 辐射燃烧器
    • TW201623880A
    • 2016-07-01
    • TW104134431
    • 2015-10-20
    • 愛德華有限公司EDWARDS LIMITED
    • 希利 安德魯 詹姆斯SEELEY, ANDREW JAMES
    • F23D14/12
    • F23G7/065F23D14/145F23D2203/1012F23D2203/1055F23D2203/106F23D2212/103F23D2212/201F23G2207/101F23G2209/142F23G2900/50007F23N1/02F23N1/022F23N5/022F23N2025/16F23N2037/08
    • 本發明揭示一種輻射燃燒器及方法。該輻射燃燒器係用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流。該輻射燃燒器包括:一經燒結的金屬纖維套管,燃燒材料通過其中以在接近該經燒結金屬纖維套管之一內燃燒表面處燃燒;及一絕緣套管,其包圍該經燒結金屬纖維套管且該等燃燒材料通過該絕緣套管。以此方式提供一種輻射燃燒器,其不會歸因於由在燃燒器熄滅期間的頻繁的閒置步驟所致之急速循環而破裂。此外,藉由提供一絕緣套管,該輻射燃燒器內的溫度及該輻射燃燒器之一外表面的溫度保持與既有的陶瓷燃燒器相當。此使得該輻射燃燒器能夠作為一現場可更換單元取代既有的陶瓷燃燒器,其在程序工具不活動之此等頻繁及短持續週期期間不會遭受破裂。
    • 本发明揭示一种辐射燃烧器及方法。该辐射燃烧器系用于处理来自一制造进程工具之一废气流。该辐射燃烧器包括:一经烧结的金属纤维套管,燃烧材料通过其中以在接近该经烧结金属纤维套管之一内燃烧表面处燃烧;及一绝缘套管,其包围该经烧结金属纤维套管且该等燃烧材料通过该绝缘套管。以此方式提供一种辐射燃烧器,其不会归因于由在燃烧器熄灭期间的频繁的闲置步骤所致之急速循环而破裂。此外,借由提供一绝缘套管,该辐射燃烧器内的温度及该辐射燃烧器之一外表面的温度保持与既有的陶瓷燃烧器相当。此使得该辐射燃烧器能够作为一现场可更换单元取代既有的陶瓷燃烧器,其在进程工具不活动之此等频繁及短持续周期期间不会遭受破裂。