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1. 发明专利

TW201344085A 槓桿式切換閥审中-公开
简体标题：杠杆式切换阀
公开(公告)号：TW201344085A
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：TW102106276
申请日：2013-02-22
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：新田慎一 , NITTA, SHINICHI , 矢島孝視 , YAJIMA, TAKASHI
IPC分类号： F16K11/065
CPC分类号： F16K31/52408 , F16K31/163 , F16K31/528 , F16K41/103
摘要：本發明之課題係提供可使閥薄型化並且可使閥體與閥座部適當地抵接之槓桿式切換閥。本發明係於流路塊之內部形成有流入流路、閥座部、閥室。於殼體之內部沿著基準面形成有作動室、搖動室、及驅動室。閥桿插入作動室內，並於作動室延伸之方向來回移動而抵接及離開閥座部。活塞桿插入驅動室內，並於驅動室延伸之方向來回移動。槓桿構件收容於搖動室內，並具有支軸部。活塞桿及槓桿構件相互抵接之第2抵接位置與支軸部之中心的距離設定成長於閥桿及槓桿構件相互抵接之第1抵接位置與支軸部之中心的距離。
简体摘要：本发明之课题系提供可使阀薄型化并且可使阀体与阀座部适当地抵接之杠杆式切换阀。本发明系于流路块之内部形成有流入流路、阀座部、阀室。于壳体之内部沿着基准面形成有作动室、摇动室、及驱动室。阀杆插入作动室内，并于作动室延伸之方向来回移动而抵接及离开阀座部。活塞杆插入驱动室内，并于驱动室延伸之方向来回移动。杠杆构件收容于摇动室内，并具有支轴部。活塞杆及杠杆构件相互抵接之第2抵接位置与支轴部之中心的距离设置成长于阀杆及杠杆构件相互抵接之第1抵接位置与支轴部之中心的距离。

2. 发明专利

TW200900617A 開閉閥及具備該開閉閥之處理裝置审中-公开
简体标题：开闭阀及具备该开闭阀之处理设备
公开(公告)号：TW200900617A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW097107358
申请日：2008-03-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：野澤俊久 NOZAWA, TOSHIHISA
IPC分类号： F16K , H01L
CPC分类号： F16K31/528 , F16K1/24 , Y10T137/0396
摘要：本發明係關於開閉閥及具備該開閉閥之處理裝置,其提供一種可達成密封構件長壽命化之開閉閥。本發明之開閉閥100,其係設置於可將內部保持為真空之處理室11與排氣裝置53、54之間,且包括:閥本體110,其係具備連通處理室11側與排氣裝置53、54側之開口111;閥體120,其係位於閥本體110內,與開口111接離並開閉開口;密封構件120b,其係設置於閥體120上,當閥體120關閉開口111時密封開口111;直進移動機構140,其係使閥體進退;閥退避部113b,其係設置於遠離開口111之位置處,使離開開口111之閥體120退避;及旋動機構150,其係使閥體120在對應於開口111之位置與對應於閥退避部113b之位置之間旋動。
简体摘要：本发明系关于开闭阀及具备该开闭阀之处理设备,其提供一种可达成密封构件长寿命化之开闭阀。本发明之开闭阀100,其系设置于可将内部保持为真空之处理室11与排气设备53、54之间,且包括:阀本体110,其系具备连通处理室11侧与排气设备53、54侧之开口111;阀体120,其系位于阀本体110内,与开口111接离并开闭开口;密封构件120b,其系设置于阀体120上,当阀体120关闭开口111时密封开口111;直进移动机构140,其系使阀体进退;阀退避部113b,其系设置于远离开口111之位置处,使离开开口111之阀体120退避;及旋动机构150,其系使阀体120在对应于开口111之位置与对应于阀退避部113b之位置之间旋动。

3. 发明专利

TWI358501B 開閉閥及具備該開閉閥之處理裝置有权
简体标题：开闭阀及具备该开闭阀之处理设备
公开(公告)号：TWI358501B
公开(公告)日：2012-02-21
申请号：TW097107358
申请日：2008-03-03
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：野澤俊久
IPC分类号： F16K , H01L
CPC分类号： F16K31/528 , F16K1/24 , Y10T137/0396
摘要：本發明係關於開閉閥及具備該開閉閥之處理裝置，其提供一種可達成密封構件長壽命化之開閉閥。本發明之開閉閥100，其係設置於可將內部保持為真空之處理室11與排氣裝置53、54之間，且包括：閥本體110，其係具備連通處理室11側與排氣裝置53、54側之開口111；閥體120，其係位於閥本體110內，與開口111接離並開閉開口；密封構件120b，其係設置於閥體120上，當閥體120關閉開口111時密封開口111；直進移動機構140，其係使閥體進退；閥退避部113b，其係設置於遠離開口111之位置處，使離開開口111之閥體120退避；及旋動機構150，其係使閥體120在對應於開口111之位置與對應於閥退避部113b之位置之間旋動。
简体摘要：本发明系关于开闭阀及具备该开闭阀之处理设备，其提供一种可达成密封构件长寿命化之开闭阀。本发明之开闭阀100，其系设置于可将内部保持为真空之处理室11与排气设备53、54之间，且包括：阀本体110，其系具备连通处理室11侧与排气设备53、54侧之开口111；阀体120，其系位于阀本体110内，与开口111接离并开闭开口；密封构件120b，其系设置于阀体120上，当阀体120关闭开口111时密封开口111；直进移动机构140，其系使阀体进退；阀退避部113b，其系设置于远离开口111之位置处，使离开开口111之阀体120退避；及旋动机构150，其系使阀体120在对应于开口111之位置与对应于阀退避部113b之位置之间旋动。

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