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    • 3. 发明专利
    • 用於產生真空的泵送系統及利用此泵送系統的泵送方法
    • 用于产生真空的泵送系统及利用此泵送系统的泵送方法
    • TW201623801A
    • 2016-07-01
    • TW104131132
    • 2015-09-21
    • 亞特里爾斯布契股份有限公司ATELIERS BUSCH S. A.
    • 姆樂 迪狄爾MULLER, DIDIER拉奇爾 聖艾瑞克LARCHER, JEAN-ERIC伊爾其 泰朵ILTCHEV, THEODORE
    • F04C18/16F04C25/02
    • F04C11/003F04C2/16F04C15/06F04C18/16F04C23/001F04C23/005F04C25/02F04C28/02F04C28/06F04C2220/12
    • 本發明關於一種用於產生真空的泵送系統(SP),其包含主真空泵,主真空泵是具有氣體抽吸入口(2)及氣體排放出口(4)之乾螺桿泵(3),氣體抽吸入口被連接至真空室(1),氣體排放出口在泵送系統的外部的氣體排氣出口(8)之方向上導向至氣體排空管道(5)中。泵送系統包含止回閥(6)及輔助真空泵(7),止回閥被定位於氣體排放出口(4)與氣體排氣出口(8)之間,輔助真空泵被並聯連接至止回閥。在利用此泵送系統(SP)之泵送方法中,主真空泵(3)被啟動,以便泵送真空室(1)中所容納的氣體,及將這些氣體排放通過它的氣體排放出口(4),同時,輔助真空泵(7)被啟動。此外,輔助真空泵(7)繼續來在主真空泵(3)泵送真空室(1)中所容納的氣體時一直泵送,及/或在主真空泵(3)維持真空室(1)中的界定的壓力時一直泵送。
    • 本发明关于一种用于产生真空的泵送系统(SP),其包含主真空泵,主真空泵是具有气体抽吸入口(2)及气体排放出口(4)之干螺杆泵(3),气体抽吸入口被连接至真空室(1),气体排放出口在泵送系统的外部的气体排气出口(8)之方向上导向至气体排空管道(5)中。泵送系统包含止回阀(6)及辅助真空泵(7),止回阀被定位于气体排放出口(4)与气体排气出口(8)之间,辅助真空泵被并联连接至止回阀。在利用此泵送系统(SP)之泵送方法中,主真空泵(3)被启动,以便泵送真空室(1)中所容纳的气体,及将这些气体排放通过它的气体排放出口(4),同时,辅助真空泵(7)被启动。此外,辅助真空泵(7)继续来在主真空泵(3)泵送真空室(1)中所容纳的气体时一直泵送,及/或在主真空泵(3)维持真空室(1)中的界定的压力时一直泵送。