会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 1. 发明专利
    • 真空加壓成形曝光裝置及曝光方法
    • 真空加压成形曝光设备及曝光方法
    • TW201035695A
    • 2010-10-01
    • TW099101051
    • 2010-01-15
    • 新日本製鐵股份有限公司
    • 石森裕一福地弘伊藤靖尚河合弘仁
    • G03FH01L
    • B21D26/021B29C51/08B29C51/18B29C51/425B29C2791/006G03F1/60G03F7/24
    • 本發明係有關於一種即使為具有複雜之立體形狀之模具,亦可易作成密合性佳之光罩,且可反覆進行曝光之具再現性高之定位精確度的曝光裝置。一種以曝光將預定圖形轉印至成膜於熱壓成形用模具表面之抗蝕膜的真空加壓成形曝光裝置,其特徵在於,包含有氣密容器、台座、加熱機構、吸引部、吸引機構、曝光機構、及氣體供給部,該氣密容器係用以將於表面成膜有抗蝕膜之成形用模具氣密地收容者;該台座係用以載置前述成形用模具者;該加熱機構係用以將形成有預定圖形之片加熱,而使其軟化者;該吸引部係於將已軟化之片覆蓋在模具之際,使片下面吸附至台座者;該吸引機構係連接於前述吸引部者;該曝光機構係在使已軟化之片吸附至前述成形用模具之狀態下,將該片之前述圖形曝光於抗蝕膜者;該氣體供給部係用以供給將前述氣密容器內加壓之氣體者。
    • 本发明系有关于一种即使为具有复杂之三維形状之模具,亦可易作成密合性佳之光罩,且可反复进行曝光之具再现性高之定位精确度的曝光设备。一种以曝光将预定图形转印至成膜于热压成形用模具表面之抗蚀膜的真空加压成形曝光设备,其特征在于,包含有气密容器、台座、加热机构、吸引部、吸引机构、曝光机构、及气体供给部,该气密容器系用以将于表面成膜有抗蚀膜之成形用模具气密地收容者;该台座系用以载置前述成形用模具者;该加热机构系用以将形成有预定图形之片加热,而使其软化者;该吸引部系于将已软化之片覆盖在模具之际,使片下面吸附至台座者;该吸引机构系连接于前述吸引部者;该曝光机构系在使已软化之片吸附至前述成形用模具之状态下,将该片之前述图形曝光于抗蚀膜者;该气体供给部系用以供给将前述气密容器内加压之气体者。