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1. 发明专利

TW201530670A 驅動機構及製造裝置审中-公开
简体标题：驱动机构及制造设备
公开(公告)号：TW201530670A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103124530
申请日：2014-07-17
申请人：海上股份有限公司 , KAIJO CORPORATION
发明人：高波修一 , TAKANAMI, SHUICHI
IPC分类号： H01L21/60 , B23Q1/44
CPC分类号： F16H21/46 , B25J9/0033 , H01L24/742 , H01L24/78 , H01L2224/1134 , H01L2224/78353 , H01L2224/786 , H01L2224/78821 , H01L2924/00014 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099
摘要：本發明的課題為提供一種負載小且有利於高加減速的驅動機構。其解決手段為驅動機構具有：第1桿(103a)、第2桿(104a)、在平面上移動的第1平面馬達(106)、在上述平面上移動的中心平面馬達(105)及移動部(101)，上述第1桿的一端是藉第1旋轉支點(125a)可旋轉地與上述移動部連接，上述第1桿的另一端是藉第2旋轉支點(126a)可旋轉地與上述第1平面馬達連接，上述第2桿的一端是藉設置在上述第1桿的第3旋轉支點(128a)可旋轉地連接著，上述第2桿的另一端是藉第4旋轉支點(127a)可旋轉地與上述中心平面馬達連接，當上述第1平面馬達接近上述中心平面馬達時使上述移動部移動而從上述中心平面馬達遠離的驅動機構。
简体摘要：本发明的课题为提供一种负载小且有利于高加减速的驱动机构。其解决手段为驱动机构具有：第1杆(103a)、第2杆(104a)、在平面上移动的第1平面马达(106)、在上述平面上移动的中心平面马达(105)及移动部(101)，上述第1杆的一端是藉第1旋转支点(125a)可旋转地与上述移动部连接，上述第1杆的另一端是藉第2旋转支点(126a)可旋转地与上述第1平面马达连接，上述第2杆的一端是藉设置在上述第1杆的第3旋转支点(128a)可旋转地连接着，上述第2杆的另一端是藉第4旋转支点(127a)可旋转地与上述中心平面马达连接，当上述第1平面马达接近上述中心平面马达时使上述移动部移动而从上述中心平面马达远离的驱动机构。

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