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1. 发明专利

TW201327720A 用以機製基體及其所用方法审中-公开
简体标题：用以机制基体及其所用方法
公开(公告)号：TW201327720A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101141285
申请日：2012-11-07
申请人：太陽能半導體有限公司 , SOLAR-SEMI GMBH
发明人：慕法勒普林敏 , MUFFLER, PRIMIN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6838 , B23B31/307 , B25B11/005 , B44C1/227 , C09K13/00 , G03F7/3021 , H01L21/30604 , H01L21/67259 , Y10S414/141 , Y10T279/11
摘要：在一用以機製處理，特別是蝕刻及/或顯影，基體特別是晶圓的裝置中，具有一旋轉台，該旋轉台係具有一文氏管隙。
简体摘要：在一用以机制处理，特别是蚀刻及/或显影，基体特别是晶圆的设备中，具有一旋转台，该旋转台系具有一文氏管隙。

2. 发明专利

TWI594843B 切削裝置有权
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TWI594843B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW103118279
申请日：2014-05-26
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：脇田信彥 , WAKITA, NOBUHIKO
IPC分类号： B24B45/00 , H01L21/301
CPC分类号： B23B31/307 , B24B27/06 , B24B45/00 , B27B5/30 , B27B5/32 , B28D5/02 , B28D5/022 , B28D7/04 , Y10T83/647

3. 发明专利

TWI569360B 用以機製基體及其所用方法有权
简体标题：用以机制基体及其所用方法
公开(公告)号：TWI569360B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW101141285
申请日：2012-11-07
申请人：太陽能半導體有限公司 , SOLAR-SEMI GMBH
发明人：慕法勒普林敏 , MUFFLER, PRIMIN
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6838 , B23B31/307 , B25B11/005 , B44C1/227 , C09K13/00 , G03F7/3021 , H01L21/30604 , H01L21/67259 , Y10S414/141 , Y10T279/11

4. 发明专利

TWI615892B 切削裝置（一）有权
简体标题：切削设备（一）
公开(公告)号：TWI615892B
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：TW103119404
申请日：2014-06-04
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：脇田信彥 , WAKITA, NOBUHIKO
IPC分类号： H01L21/304 , B28D5/02
CPC分类号： B28D5/02 , B23B31/307 , B24B27/06 , B24B45/00 , B26D7/2621 , B27B5/30 , B27B5/32 , B28D5/0082 , B28D5/022 , Y10T83/647 , Y10T83/9379

5. 发明专利

TW201515772A 切削裝置审中-公开
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TW201515772A
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW103118279
申请日：2014-05-26
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：脇田信彥 , WAKITA, NOBUHIKO
IPC分类号： B24B45/00 , H01L21/301
CPC分类号： B23B31/307 , B24B27/06 , B24B45/00 , B27B5/30 , B27B5/32 , B28D5/02 , B28D5/022 , B28D7/04 , Y10T83/647
摘要：本發明之課題在於提供一種切削裝置，可以有效率地對支撐凸緣裝卸切削刀片。解決手段為使切削裝置的切割機構具備，裝設在轉軸前端部的支撐凸緣、被該支撐凸緣支撐並可裝卸的切削刀片，以及將被該支撐凸緣支撐的切削刀片固定住的固定凸緣。該支撐凸緣包含，可插入形成於該切削刀片中央的開口部之凸座部、一體地形成於該凸座部外周並可支撐該切削刀片的表面的鍔部，以及嵌合於該轉軸的前端部的圓筒部。在該支撐凸緣的該鍔部上形成有在該固定凸緣側開口的吸引孔，並在該支撐凸緣的該圓筒部形成連通至該吸引孔的連通孔，該連通孔是透過固定在該轉軸殼體旋轉接合器與開關閥而選擇性地連通該吸引源。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种切削设备，可以有效率地对支撑凸缘装卸切削刀片。解决手段为使切削设备的切割机构具备，装设在转轴前端部的支撑凸缘、被该支撑凸缘支撑并可装卸的切削刀片，以及将被该支撑凸缘支撑的切削刀片固定住的固定凸缘。该支撑凸缘包含，可插入形成于该切削刀片中央的开口部之凸座部、一体地形成于该凸座部外周并可支撑该切削刀片的表面的锷部，以及嵌合于该转轴的前端部的圆筒部。在该支撑凸缘的该锷部上形成有在该固定凸缘侧开口的吸引孔，并在该支撑凸缘的该圆筒部形成连通至该吸引孔的连通孔，该连通孔是透过固定在该转轴壳体旋转接合器与开关阀而选择性地连通该吸引源。

6. 发明专利

TW201811483A 工作夾台、多孔陶瓷吸引板的製造方法及吸引保持系統审中-公开
简体标题：工作夹台、多孔陶瓷吸引板的制造方法及吸引保持系统
公开(公告)号：TW201811483A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106126015
申请日：2017-08-02
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：山本節男 , YAMAMOTO, SETSUO
IPC分类号： B23Q3/08 , H01L21/683
CPC分类号： B23B31/307 , B23B2226/18 , B23Q3/088 , H01L21/682 , H01L21/6836 , H01L21/6838 , H01L21/68785
摘要： [課題]提供一種即使改變載置於工作夾台之被加工物的大小、形狀，也可以良好地進行保持之工作夾台及多孔陶瓷吸引板的製造方法。 [解決手段]一種吸引保持板狀被加工物之工作夾台，其具備：吸引板，由多孔陶瓷所形成且具有複數個通氣孔；及框體，支撐該吸引板，並覆蓋該吸引板之吸附面以外的側面及背面，且具有形成於上表面之複數個吸引溝、及將該吸引溝連通至吸引源之連通路，該多孔陶瓷吸引板之氣孔率以體積比表示為60~70%，該複數個通氣孔之直徑為10μm~25μm。
简体摘要： [课题]提供一种即使改变载置于工作夹台之被加工物的大小、形状，也可以良好地进行保持之工作夹台及多孔陶瓷吸引板的制造方法。 [解决手段]一种吸引保持板状被加工物之工作夹台，其具备：吸引板，由多孔陶瓷所形成且具有复数个通气孔；及框体，支撑该吸引板，并覆盖该吸引板之吸附面以外的侧面及背面，且具有形成于上表面之复数个吸引沟、及将该吸引沟连通至吸引源之连通路，该多孔陶瓷吸引板之气孔率以体积比表示为60~70%，该复数个通气孔之直径为10μm~25μm。

7. 发明专利

TW201632308A 載置用凸緣件审中-公开
简体标题：载置用凸缘件
公开(公告)号：TW201632308A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104140325
申请日：2015-12-02
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI
IPC分类号： B24B45/00 , B24D5/16
CPC分类号： B26D7/2621 , B23B31/307 , B26D7/26 , B28D5/022 , Y10T279/11
摘要：提供一種載置用凸緣件，可抑制伴隨自旋軸旋轉的變形。一種載置用凸緣件(40)，是將在中心部具備嵌合孔(52a)在外周部具有切口(54)的切削刀片(50)裝設在自旋軸(38)，其中，具有：前方側插通切削刀片的嵌合孔且自旋軸嵌合在後方側的內周面(42a)的圓筒狀的轂部(42)、及從轂部的後方側朝徑方向伸出且在前面具備切削刀片抵接的裝設面(44b)的凸緣部(44)，藉由設置將自旋軸包圍朝轂部的內周面開口的圓環狀的空間(44c)，在自旋軸的旋轉時抑制凸緣部的外周緣朝後方翹曲。
简体摘要：提供一种载置用凸缘件，可抑制伴随自旋轴旋转的变形。一种载置用凸缘件(40)，是将在中心部具备嵌合孔(52a)在外周部具有切口(54)的切削刀片(50)装设在自旋轴(38)，其中，具有：前方侧插通切削刀片的嵌合孔且自旋轴嵌合在后方侧的内周面(42a)的圆筒状的毂部(42)、及从毂部的后方侧朝径方向伸出且在前面具备切削刀片抵接的装设面(44b)的凸缘部(44)，借由设置将自旋轴包围朝毂部的内周面开口的圆环状的空间(44c)，在自旋轴的旋转时抑制凸缘部的外周缘朝后方翘曲。

8. 发明专利

TW201508832A 切削裝置（一）审中-公开
简体标题：切削设备（一）
公开(公告)号：TW201508832A
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW103119404
申请日：2014-06-04
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：脇田信彥 , WAKITA, NOBUHIKO
IPC分类号： H01L21/304 , B28D5/02
CPC分类号： B28D5/02 , B23B31/307 , B24B27/06 , B24B45/00 , B26D7/2621 , B27B5/30 , B27B5/32 , B28D5/0082 , B28D5/022 , Y10T83/647 , Y10T83/9379
摘要：本發明之課題為提供一種可有效率地對支撐軸盤裝卸切削刀片的切削裝置。解決手段為，切削裝置之切削機構具備，裝設於轉軸前端部的支撐軸盤、可裝卸地被支撐在該支撐軸盤上之切削刀片，以及用於固定該支撐軸盤所支撐之該切削刀片的固定軸盤。該支撐軸盤包含，可插入形成於該切削刀片之中央的開口部的軸套部、一體地形成在該軸套部外周且支撐該切削刀片之表面的護緣部，以及嵌合於該轉軸之前端部的圓筒部。該支撐軸盤的該護緣部形成有在該固定軸盤側做出開口的吸引孔，該支撐軸盤的該圓筒部形成有連通該吸引孔之連通孔，該連通孔並透過固定於該轉軸殼體上的旋轉接合器和開關閥選擇性地連通該吸引源。在支撐軸盤的環狀支撐面和固定軸盤的環狀加壓面上形成有使其和切削刀片的磨擦提高的微細凹凸。
简体摘要：本发明之课题为提供一种可有效率地对支撑轴盘装卸切削刀片的切削设备。解决手段为，切削设备之切削机构具备，装设于转轴前端部的支撑轴盘、可装卸地被支撑在该支撑轴盘上之切削刀片，以及用于固定该支撑轴盘所支撑之该切削刀片的固定轴盘。该支撑轴盘包含，可插入形成于该切削刀片之中央的开口部的轴套部、一体地形成在该轴套部外周且支撑该切削刀片之表面的护缘部，以及嵌合于该转轴之前端部的圆筒部。该支撑轴盘的该护缘部形成有在该固定轴盘侧做出开口的吸引孔，该支撑轴盘的该圆筒部形成有连通该吸引孔之连通孔，该连通孔并透过固定于该转轴壳体上的旋转接合器和开关阀选择性地连通该吸引源。在支撑轴盘的环状支撑面和固定轴盘的环状加压面上形成有使其和切削刀片的磨擦提高的微细凹凸。

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