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    • 7. 发明专利
    • 濺鍍裝置 SPUTTERING DEVICE
    • 溅镀设备 SPUTTERING DEVICE
    • TW201226608A
    • 2012-07-01
    • TW099145700
    • 2010-12-24
    • 鴻海精密工業股份有限公司
    • 吳佳穎
    • C23C
    • B05B5/08B05B5/025B05B5/084B05B13/0214B05B13/0228B05B13/0242B05B16/405
    • 本發明提供一種濺鍍裝置,包括一界定一腔體的外殼、多個用於固定待鍍工件的料桿組、多個用於固定靶材的第一靶座與第二靶座、一第一驅動器以及多個第三驅動器組。該多個料桿組收容於該腔體內,平行設置並排布成一第二圓周。每個料桿組包括多個平行設置並排布成一第一圓周的料桿。該多個第二靶座及第一靶座設置在該腔體中並且分別排布在該第二圓周之內外。每個第三驅動器組連接至對應的一料桿組,用於驅動該料桿組中的每個料桿繞其自身的中心軸旋轉。該第一驅動器連接至該多個第三驅動器組,用於驅動該多個料桿組繞該第二圓周的中心軸旋轉。
    • 本发明提供一种溅镀设备,包括一界定一腔体的外壳、多个用于固定待镀工件的料杆组、多个用于固定靶材的第一靶座与第二靶座、一第一驱动器以及多个第三驱动器组。该多个料杆组收容于该腔体内,平行设置并排布成一第二圆周。每个料杆组包括多个平行设置并排布成一第一圆周的料杆。该多个第二靶座及第一靶座设置在该腔体中并且分别排布在该第二圆周之内外。每个第三驱动器组连接至对应的一料杆组,用于驱动该料杆组中的每个料杆绕其自身的中心轴旋转。该第一驱动器连接至该多个第三驱动器组,用于驱动该多个料杆组绕该第二圆周的中心轴旋转。