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    • 10. 发明专利
    • 具有整合式靜電放電抑制之流體迴路
    • 具有集成式静电放电抑制之流体回路
    • TW201805053A
    • 2018-02-16
    • TW106117991
    • 2017-05-31
    • 恩特葛瑞斯股份有限公司ENTEGRIS, INC.
    • 雷斯 約翰 ALEYS, JOHN A.
    • B01D15/00F17D1/08
    • F16L25/01B01D39/1692B01D63/067B01D67/0088B01D69/10B01D71/32B01D2201/50B01D2239/0241B01D2239/0478B01D2239/0654B01D2313/44B01D2325/26F16L47/04
    • 本發明揭示一種界定供一流體自一流體供應器朝向一程序階段之一流徑之流體迴路。該流體迴路可包含複數個操作組件,其等包含一主體部分及複數個導管連接器配件。該等操作組件可藉由複數個導管段連接。各主體部分可包含一非導電氟聚合物部分及一外導體,該外導體在該複數個導管連接器配件之各者之間延伸且與該非導電氟聚合物部分成一體。該複數個導管段可包含一非導電氟聚合物導管部分及一導電聚合物軸向帶。各主體部分之該外導體與連接至其之導管段導電地連接。該等連接器之各者可包含一橋接組件,該橋接組件用於將該主體部分之該各自外導體導電地連接至該等連接導管段之該導電聚合物帶。
    • 本发明揭示一种界定供一流体自一流体供应器朝向一进程阶段之一流径之流体回路。该流体回路可包含复数个操作组件,其等包含一主体部分及复数个导管连接器配件。该等操作组件可借由复数个导管段连接。各主体部分可包含一非导电氟聚合物部分及一外导体,该外导体在该复数个导管连接器配件之各者之间延伸且与该非导电氟聚合物部分成一体。该复数个导管段可包含一非导电氟聚合物导管部分及一导电聚合物轴向带。各主体部分之该外导体与连接至其之导管段导电地连接。该等连接器之各者可包含一桥接组件,该桥接组件用于将该主体部分之该各自外导体导电地连接至该等连接导管段之该导电聚合物带。