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    • 5. 发明专利
    • 蒸氣發生器、蒸氣發生方法及基板處理裝置
    • 蒸气发生器、蒸气发生方法及基板处理设备
    • TW201025433A
    • 2010-07-01
    • TW098128858
    • 2009-08-27
    • 東京威力科創股份有限公司
    • 中島幹雄上川裕二
    • H01LB08B
    • B01D1/065B01B1/005B01D1/02B01D1/30F26B5/00F26B5/16
    • 【課題】提供蒸氣發生器、蒸氣發生方法及基板處理裝置,可提高所生成之有機溶劑的蒸氣的濃度,並且可有效進行有機溶劑的加熱。【解決手段】蒸氣發生器(10)係具備有:流路管(14、16、18);對流路管(14)的其中一端供給有機溶劑的液體的液體有機溶劑供給部(30);及將流路管(14、16、18)加熱的加熱部(20、22、24)。流路管(14、16、18)係構成為其剖面積隨著由其中一端朝向另一端而變大。被供給至流路管(14)之其中一端的有機溶劑的液體被加熱而使有機溶劑的蒸氣由流路管(18)的另一端流出。基板處理裝置(60)係具備有上述之蒸氣發生器(10)。
    • 【课题】提供蒸气发生器、蒸气发生方法及基板处理设备,可提高所生成之有机溶剂的蒸气的浓度,并且可有效进行有机溶剂的加热。【解决手段】蒸气发生器(10)系具备有:流路管(14、16、18);对流路管(14)的其中一端供给有机溶剂的液体的液体有机溶剂供给部(30);及将流路管(14、16、18)加热的加热部(20、22、24)。流路管(14、16、18)系构成为其剖面积随着由其中一端朝向另一端而变大。被供给至流路管(14)之其中一端的有机溶剂的液体被加热而使有机溶剂的蒸气由流路管(18)的另一端流出。基板处理设备(60)系具备有上述之蒸气发生器(10)。
    • 7. 发明专利
    • 減容化膠狀聚苯乙烯樹脂分離回收裝置 APPARATUS FOR TREATING VOLUME-REDUCED POLYSTYRENE RESIN IN GEL STATE FOR MATERIAL SEPARATION AND RECOVERY
    • 减容化胶状聚苯乙烯树脂分离回收设备 APPARATUS FOR TREATING VOLUME-REDUCED POLYSTYRENE RESIN IN GEL STATE FOR MATERIAL SEPARATION AND RECOVERY
    • TW200412354A
    • 2004-07-16
    • TW092126905
    • 2003-09-26
    • 濱野重宣 SHIGENOBU HAMANO明新工業股份有限公司 MEISHIN KOGYO KABUSHIKIGAISHA
    • 濱野重宣 SHIGENOBU HAMANO林德臣 NORIOMI HAYASHI
    • C08J
    • B29B17/02B01D1/0041B01D1/02B01D1/223B01D1/30B01J2219/00083B29B2017/0293B29K2025/00Y02W30/622
    • 本發明所提供的減容化膠狀聚苯乙烯樹脂分離回收裝置,係連續地且效率佳地處理減容化膠狀聚苯乙烯樹脂,而分離回收溶劑與樹脂。藉由將減容化膠狀聚苯乙烯樹脂在常壓或減壓下進行加熱,而分離回收溶劑與樹脂的分離回收裝置;其具備有:在上半部具有連續取出蒸發溶劑的溶劑回收部,且在下半部具有回收經去除溶劑之樹脂的樹脂回收部之裝置本體10;在此裝置本體10內配置,且內部流通著熱媒介的熱媒介流通管20;依接觸於此熱媒介流通管20之方式,導入減容化膠狀聚苯乙烯樹脂的膠體樹脂導入機構14;設置在上述裝置本體10下半部,將接觸於上述熱媒介流通管20並朝下方流落的樹脂予以保持著的樹脂保持部13;對此樹脂保持部13所保持的樹脂進行加熱的加熱機構25;以及將樹脂保持部所保持的樹脂進行攪拌的攪拌機構26。
    • 本发明所提供的减容化胶状聚苯乙烯树脂分离回收设备,系连续地且效率佳地处理减容化胶状聚苯乙烯树脂,而分离回收溶剂与树脂。借由将减容化胶状聚苯乙烯树脂在常压或减压下进行加热,而分离回收溶剂与树脂的分离回收设备;其具备有:在上半部具有连续取出蒸发溶剂的溶剂回收部,且在下半部具有回收经去除溶剂之树脂的树脂回收部之设备本体10;在此设备本体10内配置,且内部流通着热媒介的热媒介流通管20;依接触于此热媒介流通管20之方式,导入减容化胶状聚苯乙烯树脂的胶体树脂导入机构14;设置在上述设备本体10下半部,将接触于上述热媒介流通管20并朝下方流落的树脂予以保持着的树脂保持部13;对此树脂保持部13所保持的树脂进行加热的加热机构25;以及将树脂保持部所保持的树脂进行搅拌的搅拌机构26。