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1. 发明专利

TWI278960B 淺溝槽隔離(STI)結構之形成方法 METHOD FOR ACHIEVING IMPROVED STI GAP FILL WITH REDUCED STRESS 有权
简体标题：浅沟槽隔离(STI)结构之形成方法 METHOD FOR ACHIEVING IMPROVED STI GAP FILL WITH REDUCED STRESS
公开(公告)号：TWI278960B
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：TW093131574
申请日：2004-10-18
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：傅竹韻 FU, CHU YUN , 陸志誠 LU, JHI CHERNG , 章勳明 JANG, SYUN MING
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/76235 , A61F2/958 , A61F2002/9583 , A61F2250/0098 , A61M25/001 , A61M25/005 , A61M25/0054 , A61M25/0068 , A61M25/0069 , A61M25/008 , A61M25/0108 , A61M25/0127 , A61M25/1027 , A61M2025/1079 , A61M2025/1093 , A61M2205/32
摘要：本發明係提供一種淺溝槽隔離(STI)結構及其形成方法以減少應力改善電子遷移，其中該方法包括：提供一半導體基底，具有至少一圖案化硬罩幕層於其上；利用該至少一圖案化硬罩幕層進行乾蝕刻製程以在該半導體基底中形成一溝槽；形成一或多個內襯層於該溝槽表面上，該內襯層可擇自二氧化矽/氮化矽、二氧化矽/氮氧化矽、二氧化矽/氮化矽/氮氧化矽、氮化矽/氮氧化矽或氮氧化矽/氮化矽；形成一或多個溝槽填充材料層(例如：以二氧化矽回填充該溝槽)於內襯層上；進行熱回火步驟以釋放溝槽填充槽材料中所累積之應力；進行化學機械研磨以及乾蝕刻製程以移除溝槽表面上多餘的填充材料；以及移除該至少一圖案化硬罩幕層。
简体摘要：本发明系提供一种浅沟槽隔离(STI)结构及其形成方法以减少应力改善电子迁移，其中该方法包括：提供一半导体基底，具有至少一图案化硬罩幕层于其上；利用该至少一图案化硬罩幕层进行干蚀刻制程以在该半导体基底中形成一沟槽；形成一或多个内衬层于该沟槽表面上，该内衬层可择自二氧化硅/氮化硅、二氧化硅/氮氧化硅、二氧化硅/氮化硅/氮氧化硅、氮化硅/氮氧化硅或氮氧化硅/氮化硅；形成一或多个沟槽填充材料层(例如：以二氧化硅回填充该沟槽)于内衬层上；进行热回火步骤以释放沟槽填充槽材料中所累积之应力；进行化学机械研磨以及干蚀刻制程以移除沟槽表面上多余的填充材料；以及移除该至少一图案化硬罩幕层。

2. 发明专利

TW200538174A 醫療用具审中-公开
简体标题：医疗用具
公开(公告)号：TW200538174A
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：TW094110698
申请日：2005-04-04
申请人：朝日印帝克股份有限公司 ASAHI INTECC CO., LTD.
发明人：宮田尚彥 MIYATA NAOHIKO , 下神學 SHIMOGAMI MANABU , 二本松昌明 NIHONMATSU MASAAKI , 後藤伸一 GOTO SHINICHI
IPC分类号： A61M
CPC分类号： A61M25/005 , A61B2017/00292 , A61B2017/00685 , A61B2017/00902 , A61B2017/349 , A61M25/0021 , A61M25/0043 , A61M25/0053 , A61M25/0068 , A61M25/0069 , A61M25/0082
摘要：提供一種對導線通過後的擴張裝置等通過困難的病變部位可更確實地通過的醫療用具。具有：螺卷單條或複數條金屬絲線21所構成之空心體軸；及，形成在空心體軸2的先端之筒狀的頂端部3；及，接續至空心體軸2之手邊端側之把手構件4；在頂端部3或空心體軸2之內周面或外周面的任一面或兩面，也可形成螺旋狀的凹凸。頂端部3為X線不透過性之材料而在先端側具有尖端推拔部31。在空心體軸2，設有後端側縮小部25，在把手構件4設有可辨認後端側縮小部25之透視部10時，則更為方便。
简体摘要：提供一种对导线通过后的扩张设备等通过困难的病变部位可更确实地通过的医疗用具。具有：螺卷单条或复数条金属丝线21所构成之空心体轴；及，形成在空心体轴2的先端之筒状的顶端部3；及，接续至空心体轴2之手边端侧之把手构件4；在顶端部3或空心体轴2之内周面或外周面的任一面或两面，也可形成螺旋状的凹凸。顶端部3为X线不透过性之材料而在先端侧具有尖端推拔部31。在空心体轴2，设有后端侧缩小部25，在把手构件4设有可辨认后端侧缩小部25之透视部10时，则更为方便。

3. 发明专利

TW366290B 以熱梯度斜切導管之方法失效
简体标题：以热梯度斜切导管之方法
公开(公告)号：TW366290B
公开(公告)日：1999-08-11
申请号：TW086118732
申请日：1998-02-13
申请人：壯生和壯生醫藥公司
发明人：費道格 , 奧羅格
IPC分类号： A61M
CPC分类号： A61M25/001 , A61M25/0068 , B29C33/02 , B29C57/00 , B29C2035/1666 , B29L2031/7542
摘要：本發明敘述一種用於形成導管尖端之製程，其中形成具有一內部表面之模子，該內部表面係與該導管尖端所想要之外部表面互補，以致該模子具有二溫度區。第一個較高溫度區係定位靠近該導管遠側尖端，且一較低溫度區係定位在該較高溫度區之遠側。一欲削尖之導管係放在一支心軸或針頭上，且當該導管與心軸插入該模子時加熱該模子。該導管材料軟化和開始在該模子內流動。該較高溫度部份供給必要之熱量，以軟化該導管材料，且該導管材料流動至該較低溫度區，其中較低之溫度造成該導管材料變得更具黏性或再硬化。當變得更具黏性時，在極尖端處之導管材料具有一阻攔堰壩作用，以防止該材料進一步流動，如此消除該模子端點之溢料。
简体摘要：本发明叙述一种用于形成导管尖端之制程，其中形成具有一内部表面之模子，该内部表面系与该导管尖端所想要之外部表面互补，以致该模子具有二温度区。第一个较高温度区系定位靠近该导管远侧尖端，且一较低温度区系定位在该较高温度区之远侧。一欲削尖之导管系放在一支心轴或针头上，且当该导管与心轴插入该模子时加热该模子。该导管材料软化和开始在该模子内流动。该较高温度部份供给必要之热量，以软化该导管材料，且该导管材料流动至该较低温度区，其中较低之温度造成该导管材料变得更具黏性或再硬化。当变得更具黏性时，在极尖端处之导管材料具有一阻拦堰坝作用，以防止该材料进一步流动，如此消除该模子端点之溢料。

4. 发明专利

TW354766B 導管尖部之成形方法與模具失效
简体标题：导管尖部之成形方法与模具
公开(公告)号：TW354766B
公开(公告)日：1999-03-21
申请号：TW086119936
申请日：1998-03-18
申请人：壯生和壯生醫藥公司
发明人：張喬瑟
IPC分类号： A61M
CPC分类号： A61M25/001 , A61M25/0068 , A61M2025/0081 , B29C57/00 , B29C2793/009 , B29L2031/7542
摘要：所揭露之發明包括一種形成導管尖部之二步驟方法。於第一方法中，藉著在一心軸上方放置一管狀導管，及將該心軸及導管組件插入一設有內部模具表面之模具，即可模製一逐漸變細之導管尖部。該具有溢料之模製導管隨之係由該模具移去，且該心軸由該導管移去。該導管及溢料係插入一治具，其定義一開口，該溢料即延伸經過該開口。用一切割表面定義該開口，且該溢料延伸至此切割表面之上方。一切削工具隨後沿著該切割表面移動，以便沿著該導管長度方向之一適當位置精確地切割該溢料，而留下一已修剪成形之導管。該導管隨之由該治具移去，以待進一步之處理。
简体摘要：所揭露之发明包括一种形成导管尖部之二步骤方法。于第一方法中，借着在一心轴上方放置一管状导管，及将该心轴及导管组件插入一设有内部模具表面之模具，即可模制一逐渐变细之导管尖部。该具有溢料之模制导管随之系由该模具移去，且该心轴由该导管移去。该导管及溢料系插入一治具，其定义一开口，该溢料即延伸经过该开口。用一切割表面定义该开口，且该溢料延伸至此切割表面之上方。一切削工具随后沿着该切割表面移动，以便沿着该导管长度方向之一适当位置精确地切割该溢料，而留下一已修剪成形之导管。该导管随之由该治具移去，以待进一步之处理。

5. 发明专利

TW201032847A 導引導管 GUIDE CATHETER 审中-公开
简体标题：导引导管 GUIDE CATHETER
公开(公告)号：TW201032847A
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：TW098141709
申请日：2009-12-07
申请人：英法泰克股份有限公司
发明人：莫瑞羅瑪希摩
IPC分类号： A61M
CPC分类号： A61M25/0662 , A61M25/001 , A61M25/0023 , A61M25/0041 , A61M25/0043 , A61M25/0053 , A61M25/0054 , A61M25/0068 , A61M25/007 , A61M25/008 , A61M2025/0031 , A61M2025/018
摘要：本發明係關於一種包含沿著主縱軸延伸之中空管狀物體的導引導管，該管狀物體界定出至少一個適合接收至少一個醫療裝置的內部管腔，該管狀物體另外界定出至少一個近端開口及一個末端開口。管狀物體包含末端部分，該末端部分以對主軸呈現彎曲型態之方式被預先形成。管狀物體之至少此末端部分具有普遍沿著主橫軸延伸之變平的形狀，環繞該主橫軸產生該末端部分之彎曲。
简体摘要：本发明系关于一种包含沿着主纵轴延伸之中空管状物体的导引导管，该管状物体界定出至少一个适合接收至少一个医疗设备的内部管腔，该管状物体另外界定出至少一个近端开口及一个末端开口。管状物体包含末端部分，该末端部分以对主轴呈现弯曲型态之方式被预先形成。管状物体之至少此末端部分具有普遍沿着主横轴延伸之变平的形状，环绕该主横轴产生该末端部分之弯曲。

6. 发明专利

TW250437B 具光學視像能力之醫療探針裝置失效
简体标题：具光学视像能力之医疗探针设备
公开(公告)号：TW250437B
公开(公告)日：1995-07-01
申请号：TW083106246
申请日：1994-07-08
申请人：威達梅公司
发明人：小詹姆斯A.貝克爾 , 休茲R.雪克伊 , 英格馬爾H.郎德奎斯特 , 斯圖亞特D.愛德華士 , 羅納得G.列克斯
IPC分类号： A61M , A61B , A61N
CPC分类号： A61B10/0233 , A61B10/02 , A61B10/0241 , A61B10/0275 , A61B10/06 , A61B18/00 , A61B18/14 , A61B18/1477 , A61B18/148 , A61B18/1485 , A61B18/18 , A61B18/1815 , A61B18/24 , A61B2017/00084 , A61B2017/00092 , A61B2017/00101 , A61B2017/00106 , A61B2017/00123 , A61B2017/00181 , A61B2017/00194 , A61B2017/00274 , A61B2017/00292 , A61B2017/00296 , A61B2017/003 , A61B2017/00867 , A61B2017/22072 , A61B2017/22077 , A61B2017/22082 , A61B2017/248 , A61B2017/2939 , A61B2017/3488 , A61B2018/00005 , A61B2018/00011 , A61B2018/00023 , A61B2018/00083 , A61B2018/00095 , A61B2018/00101 , A61B2018/00196 , A61B2018/0022 , A61B2018/00291 , A61B2018/00327 , A61B2018/00547 , A61B2018/00577 , A61B2018/00678 , A61B2018/00702 , A61B2018/00726 , A61B2018/00744 , A61B2018/00761 , A61B2018/00791 , A61B2018/00797 , A61B2018/00821 , A61B2018/00875 , A61B2018/00886 , A61B2018/0091 , A61B2018/00916 , A61B2018/00946 , A61B2018/00982 , A61B2018/1253 , A61B2018/126 , A61B2018/1273 , A61B2018/128 , A61B2018/1412 , A61B2018/1425 , A61B2018/2238 , A61B2090/0814 , A61B2090/3614 , A61B2090/378 , A61B2090/3782 , A61B2090/3786 , A61B2090/3925 , A61B2217/005 , A61B2217/007 , A61B2218/003 , A61F2007/0054 , A61M3/0279 , A61M25/0068 , A61M25/0069 , A61M25/0082 , A61M2025/0086 , A61M2025/0087 , A61M2025/0089 , A61M2025/009 , A61M2025/0096 , A61M2025/018 , A61N1/06 , A61N1/40 , A61N1/403 , A61N5/04 , A61N5/045
摘要：一種醫療探針裝置，其包含有一導管，該導管具有一在其一側帶有至少一個通管針孔之通管針導引殼罩以及用以引導一可撓性通管針經由至少一通管針孔向外穿經插入組織而至被標的之組織的通管針導引構件。該通管針導引殼罩具有一被置放以供視觀該通管針及鄰近結構之光學視像構件，該光學視像構件含有一用以承接一光纖視像裝置之光纖通道構件。該光纖通道構件可含有一導引孔構件以供在一視像區內指引一光纖裝置相對於該通管針導引構件之縱向移動，以及一位在其具有一出孔的該通管針導引殼罩內之沖洗液體通道，該出孔被置放以便於在一光纖裝置被置放於該視像區內時，沖洗液體從該出孔流出橫過該光纖裝置之端部。該光學視像構件可包含有一被置放在該通管針導引殼罩內之視窗，以便在該通管針從其各別的通管針孔被導引向外時可以視觀該通管針。該光學視像構件可含有一位在該通管針導引殼罩內之光纖視像通道以供承接該光纖視像裝置並將其視像端對準該視窗。有視窗之裝置可含有一位在其具有一出孔的該通管針導引殼罩內之沖洗液體通道，該出孔被置放以導引從之流出的沖洗液體橫過該試窗之一表面。
简体摘要：一种医疗探针设备，其包含有一导管，该导管具有一在其一侧带有至少一个通管针孔之通管针导引壳罩以及用以引导一可挠性通管针经由至少一通管针孔向外穿经插入组织而至被标的之组织的通管针导引构件。该通管针导引壳罩具有一被置放以供视观该通管针及邻近结构之光学视像构件，该光学视像构件含有一用以承接一光纤视像设备之光纤信道构件。该光纤信道构件可含有一导引孔构件以供在一视像区内指引一光纤设备相对于该通管针导引构件之纵向移动，以及一位在其具有一出孔的该通管针导引壳罩内之冲洗液体信道，该出孔被置放以便于在一光纤设备被置放于该视像区内时，冲洗液体从该出孔流出横过该光纤设备之端部。该光学视像构件可包含有一被置放在该通管针导引壳罩内之窗口，以便在该通管针从其各别的通管针孔被导引向外时可以视观该通管针。该光学视像构件可含有一位在该通管针导引壳罩内之光纤视像信道以供承接该光纤视像设备并将其视像端对准该窗口。有窗口之设备可含有一位在其具有一出孔的该通管针导引壳罩内之冲洗液体信道，该出孔被置放以导引从之流出的冲洗液体横过该试窗之一表面。

7. 发明专利

TW234695B 醫用探針裝置失效
简体标题：医用探针设备
公开(公告)号：TW234695B
公开(公告)日：1994-11-21
申请号：TW082108391
申请日：1993-10-09
申请人：威達梅公司
发明人：休茲R.雪克伊 , 英格馬爾H.郎德奎斯特 , 斯圖亞特D.愛德華士 , 羅納得G.列克斯
IPC分类号： A61M
CPC分类号： A61N5/02 , A61B10/02 , A61B10/0241 , A61B18/00 , A61B18/082 , A61B18/1206 , A61B18/1477 , A61B18/148 , A61B18/1485 , A61B18/18 , A61B18/1815 , A61B18/24 , A61B2017/00084 , A61B2017/00092 , A61B2017/00106 , A61B2017/00274 , A61B2017/00292 , A61B2017/003 , A61B2017/00867 , A61B2017/22072 , A61B2017/22077 , A61B2017/22082 , A61B2017/248 , A61B2017/2939 , A61B2017/3488 , A61B2018/00005 , A61B2018/00011 , A61B2018/00083 , A61B2018/00095 , A61B2018/00196 , A61B2018/0022 , A61B2018/00547 , A61B2018/00577 , A61B2018/00678 , A61B2018/00702 , A61B2018/00726 , A61B2018/00744 , A61B2018/0075 , A61B2018/00761 , A61B2018/00791 , A61B2018/00797 , A61B2018/00821 , A61B2018/00869 , A61B2018/00886 , A61B2018/0091 , A61B2018/00916 , A61B2018/00946 , A61B2018/00982 , A61B2018/1253 , A61B2018/126 , A61B2018/1273 , A61B2018/128 , A61B2018/1412 , A61B2018/1425 , A61B2018/1861 , A61B2018/2238 , A61B2090/0814 , A61B2090/3614 , A61B2090/3782 , A61B2090/3925 , A61F2007/0054 , A61M3/0279 , A61M25/0068 , A61M25/0069 , A61M25/008 , A61M25/0082 , A61M2025/0086 , A61M2025/0087 , A61M2025/0089 , A61M2025/009 , A61M2025/0096 , A61M2025/018 , A61N1/06 , A61N1/40 , A61N1/403 , A61N5/04 , A61N5/045
摘要：一種醫用探針裝置，包含一有探針導引外殼之導管，此導管具有一個或多個探針口在其邊壁內，以及一探針導件用以指引此可撓性探針通過探針口向外，並以對目標肌肉組織之一可調整角度，在一預先選定處通過肌肉組織而插入。此總導管組合包括一探針導引內腔與探針口相通，以及一探針定置於該探針導引內腔中供探針自此口通過中介肌肉組織而至目標肌肉組織之縱向運動之用。此探針可為一包封在非電導體層內之導電體，此導電體為一無線電頻率電極。較恰當者為此非電導體層係一可在導電體上軸向地移動之一套筒，以便在目標肌肉組織內暴露所選定部分之導電體表面。此探針亦可為一中空管用以對目標肌肉組織輸送醫療流體。它亦可包括一光纖電纜供雷射醫療之用。此導管能包括一個或多個可膨脹氣囊放置於鄰近探針口處用以固定此導管或此膨脹部分。超聲波應答器和溫度傳感器可附著於探頭終端及／或探針上。此探針導件能在導管內通過在探針口處對一側向定向之曲線部分界定一自軸向定向之探針路線。
简体摘要：一种医用探针设备，包含一有探针导引外壳之导管，此导管具有一个或多个探针口在其边壁内，以及一探针导件用以指引此可挠性探针通过探针口向外，并以对目标肌肉组织之一可调整角度，在一预先选定处通过肌肉组织而插入。此总导管组合包括一探针导引内腔与探针口相通，以及一探针定置于该探针导引内腔中供探针自此口通过中介肌肉组织而至目标肌肉组织之纵向运动之用。此探针可为一包封在非电导体层内之导电体，此导电体为一无线电频率电极。较恰当者为此非电导体层系一可在导电体上轴向地移动之一套筒，以便在目标肌肉组织内暴露所选定部分之导电体表面。此探针亦可为一中空管用以对目标肌肉组织输送医疗流体。它亦可包括一光纤电缆供激光医疗之用。此导管能包括一个或多个可膨胀气囊放置于邻近探针口处用以固定此导管或此膨胀部分。超声波应答器和温度传感器可附着于探头终端及／或探针上。此探针导件能在导管内通过在探针口处对一侧向定向之曲线部分界定一自轴向定向之探针路线。

8. 发明专利

TWI565457B 用於最小侵入性眼外遞送輻射至眼睛後部之方法及裝置有权
简体标题：用于最小侵入性眼外递送辐射至眼睛后部之方法及设备
公开(公告)号：TWI565457B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW098113457
申请日：2009-04-23
申请人：莎魯塔理斯醫療設備股份有限公司 , SALUTARIS MEDICAL DEVICES, INC.
发明人：布里傑堤路卡 , BRIGATTI, LUCA , 海莫頓魯塞爾J , HAMILTON, RUSSELL J. , 馬斯托勒勞倫斯J , MARSTELLER, LAURENCE J. , 法弗斯基麥可 , VOEVODSKY, MICHAEL
IPC分类号： A61F9/007
CPC分类号： A61N5/1017 , A61F9/00 , A61M25/0041 , A61M25/0068 , A61M25/0082 , A61M25/01 , A61M2210/0612

9. 发明专利

TW201002293A 用於最小侵入性眼外遞送輻射至眼睛後部之方法及裝置 METHODS AND DEVICES FOR MINIMALLY-INVASIVE EXTRAOCULAR DELIVERY OF RADIATION TO THE POSTERIOR PORTION OF THE EYE 审中-公开
简体标题：用于最小侵入性眼外递送辐射至眼睛后部之方法及设备 METHODS AND DEVICES FOR MINIMALLY-INVASIVE EXTRAOCULAR DELIVERY OF RADIATION TO THE POSTERIOR PORTION OF THE EYE
公开(公告)号：TW201002293A
公开(公告)日：2010-01-16
申请号：TW098113457
申请日：2009-04-23
申请人：莎魯塔理斯醫療設備股份有限公司
发明人：布里傑堤路卡 , 海莫頓魯塞爾J , 馬斯托勒勞倫斯J , 法弗斯基麥可
IPC分类号： A61F
CPC分类号： A61N5/1017 , A61F9/00 , A61M25/0041 , A61M25/0068 , A61M25/0082 , A61M25/01 , A61M2210/0612
摘要：揭示用於最小侵入性眼外遞送輻射至眼睛後部之方法及裝置，包括包含聯結至一近端部之一遠端部的一套管及用於將一放射性核種短程治療源(RBS)朝向該遠端部之梢端前進之一裝置；一種將輻射導入人眼睛之方法，包含將一套管插入於該人眼睛之眼球鞘與鞏膜間以及由該套管發射輻射至該鞏膜之一外表面上。
简体摘要：揭示用于最小侵入性眼外递送辐射至眼睛后部之方法及设备，包括包含联结至一近端部之一远程部的一套管及用于将一放射性核种短程治疗源(RBS)朝向该远程部之梢端前进之一设备；一种将辐射导入人眼睛之方法，包含将一套管插入于该人眼睛之眼球鞘与巩膜间以及由该套管发射辐射至该巩膜之一外表面上。

10. 发明专利

TW200525690A 淺溝槽隔離(STI)結構及其形成方法 METHOD FOR ACHIEVING IMPROVED STI GAP FILL WITH REDUCED STRESS 审中-公开
简体标题：浅沟槽隔离(STI)结构及其形成方法 METHOD FOR ACHIEVING IMPROVED STI GAP FILL WITH REDUCED STRESS
公开(公告)号：TW200525690A
公开(公告)日：2005-08-01
申请号：TW093131574
申请日：2004-10-18
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：傅竹韻 FU, CHU-YUN , 陸志誠 LU, JHI-CHERNG , 章勳明 JANG, SYUN-MING
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/76235 , A61F2/958 , A61F2002/9583 , A61F2250/0098 , A61M25/001 , A61M25/005 , A61M25/0054 , A61M25/0068 , A61M25/0069 , A61M25/008 , A61M25/0108 , A61M25/0127 , A61M25/1027 , A61M2025/1079 , A61M2025/1093 , A61M2205/32
摘要：本發明係提供一種淺溝槽隔離(STI)結構及其形成方法以減少應力改善電子遷移，其中該方法包括：提供一半導體基底，具有至少一圖案化硬罩幕層於其上；利用該至少一圖案化硬罩幕層進行乾蝕刻製程以在該半導體基底中形成一溝槽；形成一或多個內襯層於該溝槽表面上，該內襯層可擇自二氧化矽／氮化矽、二氧化矽／氮氧化矽、二氧化矽／氮化矽／氮氧化矽、氮化矽／氮氧化矽或氮氧化矽／氮化矽；形成一或多個溝槽填充材料層(例如：以二氧化矽回填充該溝槽)於內襯層上；進行熱回火步驟以釋放溝槽填充槽材料中所累積之應力；進行化學機械研磨以及乾蝕刻製程以移除溝槽表面上多餘的填充材料；以及移除該至少一圖案化硬罩幕層。
简体摘要：本发明系提供一种浅沟槽隔离(STI)结构及其形成方法以减少应力改善电子迁移，其中该方法包括：提供一半导体基底，具有至少一图案化硬罩幕层于其上；利用该至少一图案化硬罩幕层进行干蚀刻制程以在该半导体基底中形成一沟槽；形成一或多个内衬层于该沟槽表面上，该内衬层可择自二氧化硅／氮化硅、二氧化硅／氮氧化硅、二氧化硅／氮化硅／氮氧化硅、氮化硅／氮氧化硅或氮氧化硅／氮化硅；形成一或多个沟槽填充材料层(例如：以二氧化硅回填充该沟槽)于内衬层上；进行热回火步骤以释放沟槽填充槽材料中所累积之应力；进行化学机械研磨以及干蚀刻制程以移除沟槽表面上多余的填充材料；以及移除该至少一图案化硬罩幕层。

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