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1. 发明专利

TW200912262A 用以改善輸出響應之使用流量均衡器的質流裝置 MASS FLOW DEVICE USING A FLOW EQUALIZER FOR IMPROVING THE OUTPUT RESPONSE 审中-公开
简体标题：用以改善输出响应之使用流量均衡器的质流设备 MASS FLOW DEVICE USING A FLOW EQUALIZER FOR IMPROVING THE OUTPUT RESPONSE
公开(公告)号：TW200912262A
公开(公告)日：2009-03-16
申请号：TW097113123
申请日：2008-04-11
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 DING, JUNHUA , 安那思 ANASTAS, JEFFREY
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F5/00 , G01F1/48 , G01F1/684 , G01F15/00 , G01F15/005
摘要：提供一種質流裝置,其係包含:一入口與一出口;一旁路與配置在該旁路內的一層流元件。該裝置也包含一感測器,其係經構造成可提供表示通過該質流裝置之流率的輸出訊號,該感測器包含一管體,其係在一上游接點處和該入口與該層流元件流體相通,以及在一下游接點處和該出口與該層流元件流體相通。一流量均衡器,配置在該入口與該上游接點處之間,其中該流量均衡器包含一多孔介質其係構造成具有一互通孔隙,以大致均衡的流動模式流出該均衡器,以便大幅減少對該感測器的流擾動。
简体摘要：提供一种质流设备,其系包含:一入口与一出口;一旁路与配置在该旁路内的一层流组件。该设备也包含一传感器,其系经构造成可提供表示通过该质流设备之流率的输出信号,该传感器包含一管体,其系在一上游接点处和该入口与该层流组件流体相通,以及在一下游接点处和该出口与该层流组件流体相通。一流量均衡器,配置在该入口与该上游接点处之间,其中该流量均衡器包含一多孔介质其系构造成具有一互通孔隙,以大致均衡的流动模式流出该均衡器,以便大幅减少对该传感器的流扰动。

2. 发明专利

TW200728487A 具有載流氣體混合的前驅氣體輸送 PRECURSOR GAS DELIVERY WITH CARRIER GAS MIXING 失效
简体标题：具有载流气体混合的前驱气体输送 PRECURSOR GAS DELIVERY WITH CARRIER GAS MIXING
公开(公告)号：TW200728487A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：TW095133127
申请日：2006-09-08
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：馬保羅 MENEGHINI, PAUL , 施丹諾 SMITH, DANIEL , 施亞里 SHAJII, ALI
IPC分类号： C23C
CPC分类号： G05D11/133 , C23C16/4481 , C23C16/45512 , C23C16/52
摘要：本發明敘述一系統及方法,其藉著精確地測量所輸送之氣體混合物的莫耳分數控制被輸送至一處理室的前驅物之數量。一氣體輸送系統包含一輸送室、一前驅入口閥門、一載流入口閥門、一出口閥門、及一控制器。該控制器控制該前驅入口閥門、該載流入口閥門、及該出口閥門之打開及閉合,以便將一想要數量之前驅氣體及載流氣體導入該輸送室,以產生一具有該前驅氣體之想要莫耳分數的氣體混合物,及將具有該前驅氣體之想要莫耳分數的氣體混合物輸送至該處理室。
简体摘要：本发明叙述一系统及方法,其借着精确地测量所输送之气体混合物的莫耳分数控制被输送至一处理室的前驱物之数量。一气体输送系统包含一输送室、一前驱入口阀门、一载流入口阀门、一出口阀门、及一控制器。该控制器控制该前驱入口阀门、该载流入口阀门、及该出口阀门之打开及闭合,以便将一想要数量之前驱气体及载流气体导入该输送室,以产生一具有该前驱气体之想要莫耳分数的气体混合物,及将具有该前驱气体之想要莫耳分数的气体混合物输送至该处理室。

3. 发明专利

TW200702669A 用於量測高頻電壓與電流之同步低取樣技術 SYNCHRONOUS UNDERSAMPLING FOR HIGH FREQUENCY VOLTAGE AND CURRENT MEASUREMENTS 失效
简体标题：用于量测高频电压与电流之同步低采样技术 SYNCHRONOUS UNDERSAMPLING FOR HIGH FREQUENCY VOLTAGE AND CURRENT MEASUREMENTS
公开(公告)号：TW200702669A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095117561
申请日：2006-05-18
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：卡提姆 KALVAITIS, TIM , 奈席德 NAGARKATTI, SIDDHARTH P.
IPC分类号： G01R
CPC分类号： H01J37/32082 , H05H1/0081
摘要：本發明揭示一種功率源,當其為從控制器之驅動信號所驅動時可產生信號(射頻或微波)。一感測器可測量由功率源所產生之信號之電壓與電流,並可產生代表所測量電壓與電流之感測器信號。一取樣器可配置以與驅動功率源之驅動信號同步地低取樣感測器信號。取樣頻率可為感測器信號基頻之數倍。在射頻頻率下,可施行同步低取樣或同步高取樣。在微波頻率下,則可施行同步低取樣。
简体摘要：本发明揭示一种功率源,当其为从控制器之驱动信号所驱动时可产生信号(射频或微波)。一传感器可测量由功率源所产生之信号之电压与电流,并可产生代表所测量电压与电流之传感器信号。一采样器可配置以与驱动功率源之驱动信号同步地低采样传感器信号。采样频率可为传感器信号基频之数倍。在射频频率下,可施行同步低采样或同步高采样。在微波频率下,则可施行同步低采样。

4. 发明专利

TW200807204A 多通道流量比例控制器 MULTIPLE-CHANNEL FLOW RATIO CONTROLLER 审中-公开
简体标题：多信道流量比例控制器 MULTIPLE-CHANNEL FLOW RATIO CONTROLLER
公开(公告)号：TW200807204A
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：TW096112952
申请日：2007-04-13
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：巴麥克 L'BASSI, MICHAEL , 丁軍華 DING, JUNHUA , 戴大偉 D'ENTREMONT, DAVID
IPC分类号： G05B , G05D
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/87877 , Y10T137/87885
摘要：一用於將單一質流劃分成複數N個次級流的系統包括一經建構用以接收該單一質流的入口、一主FRC(流量比例控制器)、及一或多個從屬FRCs。每一FRC連接到該入口且包括至少一流道。該主FRC和從屬FRCs包括聯合總計N個流道。每一流道i(i=1,...,N)經連接用以載送該等N個次級流之對應一者。回應於從一主機控制器收到的預先選定比例設定値,該主FRC和從屬FRCs將個別流率Qi(i=1,...,N)與一總流率QT間之比例Qi/QT(i=1,...,N)維持在該等預先選定比例設定値。
简体摘要：一用于将单一质流划分成复数N个次级流的系统包括一经建构用以接收该单一质流的入口、一主FRC(流量比例控制器)、及一或多个从属FRCs。每一FRC连接到该入口且包括至少一流道。该主FRC和从属FRCs包括联合总计N个流道。每一流道i(i=1,...,N)经连接用以载送该等N个次级流之对应一者。回应于从一主机控制器收到的预先选定比例设置値,该主FRC和从属FRCs将个别流率Qi(i=1,...,N)与一总流率QT间之比例Qi/QT(i=1,...,N)维持在该等预先选定比例设置値。

5. 发明专利

TW200804783A 圖形的使用者介面 GRAPHICAL USER INTERFACE 审中-公开
简体标题：图形的用户界面 GRAPHICAL USER INTERFACE
公开(公告)号：TW200804783A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：TW095145875
申请日：2006-12-08
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：古丹尼 GOODMAN, DANIEL A. , 涂米歇 TOLER, MICHAEL , 明里歐 MINDLIN, LEONID , 蘇菲力 SULLIVAN, PHILIP W.
IPC分类号： G01L , G05B , G06F
CPC分类号： G06F17/30861
摘要：一種監控感測器的系統,其中包括圖形的使用者介面(Graphical User Interface,GUI)(例如網址頁(WebPage))嵌入該感測器中。GUI係藉曲透過乙太網路連結連接至感測器並且具有網際網路網頁瀏覽器來存取感測器網址頁的一使用者電腦,來顯示與感測器有關的資訊。電腦可讀取的媒體係嵌入於感測器中並且儲存適用於處理器的電腦可使用的指令。當處理器執行這些指令時將使處理器產生該GUI。
简体摘要：一种监控传感器的系统,其中包括图形的用户界面(Graphical User Interface,GUI)(例如网址页(WebPage))嵌入该传感器中。GUI系藉曲透过以太网链接连接至传感器并且具有因特网网页浏览器来存取传感器网址页的一用户电脑,来显示与传感器有关的信息。电脑可读取的媒体系嵌入于传感器中并且存储适用于处理器的电脑可使用的指令。当处理器运行这些指令时将使处理器产生该GUI。

6. 发明专利

TW200745804A 遠端區域之壓力調整 PRESSURE REGULATION IN REMOTE ZONES 审中-公开
简体标题：远程区域之压力调整 PRESSURE REGULATION IN REMOTE ZONES
公开(公告)号：TW200745804A
公开(公告)日：2007-12-16
申请号：TW096101519
申请日：2007-01-16
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：施亞里 SHAJII, ALI , 那甘悌 NAGARKATTI, SIDDHARTH P. , 賀高登 HILL, GORDON
IPC分类号： G05D , F16K
CPC分类号： G05D16/206 , H01L21/30625 , Y10T137/7761 , Y10T137/7838 , Y10T137/87209 , Y10T137/8733 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507 , Y10T137/87772
摘要：一種壓力控制系統遙控一或多個遠端區域內的壓力,每一遠端區域分別透過一導管連接到一圍蔽空間(enclosure),其中該系統藉由控制一流體流入和流出每一圍蔽空間之流量的方式進行遙控。該流體之壓力在每一圍蔽空間內被測量。以圍蔽空間內之實測壓力及導管和區域之已知特性的一函數估算每一區域內之一估計壓力。對於每一區域,每一圍蔽空間之一進入比例閥和一排出比例閥被操作以便將該流體流入相應圍蔽空間內之輸入流率及該流體流出該圍蔽空間外之輸出流率控制成一壓力設定値和該估計壓力之一函數,藉此依據該壓力設定値調整區域內之壓力。
简体摘要：一种压力控制系统遥控一或多个远程区域内的压力,每一远程区域分别透过一导管连接到一围蔽空间(enclosure),其中该系统借由控制一流体流入和流出每一围蔽空间之流量的方式进行遥控。该流体之压力在每一围蔽空间内被测量。以围蔽空间内之实测压力及导管和区域之已知特性的一函数估算每一区域内之一估计压力。对于每一区域,每一围蔽空间之一进入比例阀和一排出比例阀被操作以便将该流体流入相应围蔽空间内之输入流率及该流体流出该围蔽空间外之输出流率控制成一压力设置値和该估计压力之一函数,借此依据该压力设置値调整区域内之压力。

7. 发明专利

TW200702639A 具有限流器的質流檢驗器 MASS FLOW VERIFIER WITH FLOW RESTRICTOR 审中-公开
简体标题：具有限流器的质流检验器 MASS FLOW VERIFIER WITH FLOW RESTRICTOR
公开(公告)号：TW200702639A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095110334
申请日：2006-03-24
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：夏亞里 SHAJII, ALI , 史丹尼 SMITH, DANIEL
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F25/0038 , G01F25/0053
摘要：一種用來檢驗藉一裝置所測得的流體流量量測値的流量檢驗器,其包含一限流器,以使流量檢驗大體上對限流器上游的元件不敏感。流量檢驗器包含一收納來自裝置的流體流的容器,及一量測容器內流體壓力的壓力感測器。一出口閥調節出自容器的流體流。限流器鄰近容器且位於沿流徑的容器上游。限流器限制流體沿流徑的流動以引發流體流徑中的陡震,且在一足以使檢驗大體上對限流器上游的元件不敏感的時段期間承受陡震。
简体摘要：一种用来检验藉一设备所测得的流体流量量测値的流量检验器,其包含一限流器,以使流量检验大体上对限流器上游的组件不敏感。流量检验器包含一收纳来自设备的流体流的容器,及一量测容器内流体压力的压力传感器。一出口阀调节出自容器的流体流。限流器邻近容器且位于沿流径的容器上游。限流器限制流体沿流径的流动以引发流体流径中的陡震,且在一足以使检验大体上对限流器上游的组件不敏感的时段期间承受陡震。

8. 发明专利

TW200700708A 熱壓力轉換器 HEATED PRESSURE TRANSDUCER 审中-公开
简体标题：热压力转换器 HEATED PRESSURE TRANSDUCER
公开(公告)号：TW200700708A
公开(公告)日：2007-01-01
申请号：TW095115163
申请日：2006-04-28
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：寶姆斯 POULIN, JAMES M. , 梅凱斯 MELLO, KEITH F.
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L19/04 , G01L19/142
摘要：本發明提出一種壓力轉換器組件,其包括一感測器箱、一收納在該感測器箱內的壓力感測器、一連接到該壓力感測器且伸出該感測器箱外以供連接到一流體源的管、一電連接到該壓力感測器的電子電路板、及一容納該電子電路板且被固定到該感測器箱的電子箱。該電子箱包括一由導熱材料構成的外殼及一由導熱材料構成的熱轉移板。該熱轉移板與該電子電路板之發熱元件處於實體接觸狀態且與該外殼處於實體接觸狀態,致使來自該等發熱元件的熱可透過該外殼散逸。此安排允許該電路板即便在該感測器受熱時仍維持涼快的。
简体摘要：本发明提出一种压力转换器组件,其包括一传感器箱、一收纳在该传感器箱内的压力传感器、一连接到该压力传感器且伸出该传感器箱外以供连接到一流体源的管、一电连接到该压力传感器的电子电路板、及一容纳该电子电路板且被固定到该传感器箱的电子箱。该电子箱包括一由导热材料构成的外壳及一由导热材料构成的热转移板。该热转移板与该电子电路板之发热组件处于实体接触状态且与该外壳处于实体接触状态,致使来自该等发热组件的热可透过该外壳散逸。此安排允许该电路板即便在该传感器受热时仍维持凉快的。

9. 发明专利

TWI259342B 質量流比例系統及方法 MASS FLOW RATIO SYSTEM AND METHOD 有权
简体标题：质量流比例系统及方法 MASS FLOW RATIO SYSTEM AND METHOD
公开(公告)号：TWI259342B
公开(公告)日：2006-08-01
申请号：TW092100071
申请日：2003-01-03
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：艾杰希 JESSE AMBROSINA , 柯尼奇 NICHOLAS KOTTENSTETTE , 史艾理 ALI SHAJII
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G01F1/68 , Y10T137/0363 , Y10T137/2529 , Y10T137/2657 , Y10T137/7761 , Y10T137/87877
摘要：一種用以分割單一質量流之系統，其包含用於接收單一質量流之入口與至少兩條連接至入口之流線。每條流線包含流量計與閥。此系統亦包含控制器，其乃被規劃成：接收流經使用者介面之期望比例之流量；接收來自流量計之代表測量之流量之信號；基於測量之流量來計算通過流線之流量之實際比例；以及比較實際比例與期望比例。控制器亦被規劃成：如果實際比例不等於期望比例，則計算流經至少一條流線之期望流；以及提供代表期望流之信號給至少一個閥。
简体摘要：一种用以分割单一质量流之系统，其包含用于接收单一质量流之入口与至少两条连接至入口之流线。每条流线包含流量计与阀。此系统亦包含控制器，其乃被规划成：接收流经用户界面之期望比例之流量；接收来自流量计之代表测量之流量之信号；基于测量之流量来计算通过流线之流量之实际比例；以及比较实际比例与期望比例。控制器亦被规划成：如果实际比例不等于期望比例，则计算流经至少一条流线之期望流；以及提供代表期望流之信号给至少一个阀。

10. 发明专利

TW200403424A 熱質流感測器之散熱裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL DISSIPATION IN A THERMAL MASS FLOW SENSOR 审中-公开
简体标题：热质流传感器之散热设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR THERMAL DISSIPATION IN A THERMAL MASS FLOW SENSOR
公开(公告)号：TW200403424A
公开(公告)日：2004-03-01
申请号：TW091136757
申请日：2002-12-20
申请人： MKS公司 MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：安傑斯 JESSE AMBROSINA , 夏亞義 ALI SHAJII
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/684 , G01F1/6847 , G01F5/00
摘要：一種熱質流控制器，其包含一感測器總成、一閥總成、及一質流控制器殼體。一熱傳導元件將熱從該閥總成帶離該感測器總成，藉此減少對該感測器總成之不受控制熱作用。
简体摘要：一种热质流控制器，其包含一传感器总成、一阀总成、及一质流控制器壳体。一热传导组件将热从该阀总成带离该传感器总成，借此减少对该传感器总成之不受控制热作用。

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