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    • 3. 发明专利
    • 光阻組成物及去除光阻之有機溶劑 RESIST COMPOSITION AND ORGANIC SOLVENT FOR REMOVING RESIST
    • 光阻组成物及去除光阻之有机溶剂 RESIST COMPOSITION AND ORGANIC SOLVENT FOR REMOVING RESIST
    • TW200508793A
    • 2005-03-01
    • TW093110915
    • 2004-04-20
    • 克拉瑞國際股份有限公司 CLARIANT INTERNATIONAL LTD
    • 姜德萬 KANG, DOEK-MAN吳世泰 OH, SAE-TAE權赫重 KWON, HYUK-JOONG內藤榮治 NAITO, EIJI
    • G03F
    • G03F7/0226G03F7/0048
    • 本發明提供一種包括醇或其衍生物(作為有機溶劑)之光阻組成物。特別地,本發明提供一種包括鹼溶型酚醛清漆樹脂、二氮化奎寧酮感光化合物、與有機溶劑之正型光阻組成物,其中有機溶劑包括醇或其衍生物;及一種包括鹼溶性丙烯酸樹脂或酚醛清漆樹脂、強酸或自由基產生化合物(因以UV射線照射)、交聯劑、與有機溶劑之負型光阻組成物,其中有機溶劑包括醇或其衍生物。本發明亦提供一種去除光阻之有機溶劑,其中有機溶劑包括醇或其衍生物。本發明之光阻組成物係用於形成微米圖樣之微影術,其使用經照射部份與未照射部份(以UV射線照射)間之溶解度差異,而在塗覆薄膜時大為改良膜厚之均勻性。此外,依照本發明之有機溶劑可藉由自裝置去除感光材料,而用以清洗在微電路形成程序期間接觸感光材料之裝置。其亦可去除殘留在其上塗覆感光材料之基材之不欲部份上之感光材料。
    • 本发明提供一种包括醇或其衍生物(作为有机溶剂)之光阻组成物。特别地,本发明提供一种包括碱溶型酚醛清漆树脂、二氮化奎宁酮感光化合物、与有机溶剂之正型光阻组成物,其中有机溶剂包括醇或其衍生物;及一种包括碱溶性丙烯酸树脂或酚醛清漆树脂、强酸或自由基产生化合物(因以UV射线照射)、交联剂、与有机溶剂之负型光阻组成物,其中有机溶剂包括醇或其衍生物。本发明亦提供一种去除光阻之有机溶剂,其中有机溶剂包括醇或其衍生物。本发明之光阻组成物系用于形成微米图样之微影术,其使用经照射部份与未照射部份(以UV射线照射)间之溶解度差异,而在涂覆薄膜时大为改良膜厚之均匀性。此外,依照本发明之有机溶剂可借由自设备去除感光材料,而用以清洗在微电路形成进程期间接触感光材料之设备。其亦可去除残留在其上涂覆感光材料之基材之不欲部份上之感光材料。
    • 8. 发明专利
    • 正型感光性樹脂組成物 POSITIVE-WORKING RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITIONS
    • 正型感光性树脂组成物 POSITIVE-WORKING RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITIONS
    • TWI224714B
    • 2004-12-01
    • TW088121308
    • 1999-12-06
    • 克拉瑞國際股份有限公司 CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
    • 薄田謙二西川雅人 NISHIKAWA, MASATO荒野明男
    • G03F
    • G03F7/0226G03F7/023G03F7/0236
    • 一種感光性樹脂組成物,其特徵為,含有由(i)低分子量成份分餾處理除去之鹼溶性酚醛樹脂與鄰二疊氮基化合物之反應生成物,或鹼溶性酚醛樹脂與鄰二疊氮基化合物之反應生成物經分餾處理除去低分子量成份所得分餾處理物構成之感光性酚醛樹脂,和(ii)下列通式(1)所示具有酚性羥基的低分子化合物,式中R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7分別單獨為 H、C1~C4烷基、C1~C4烷氧基、環己基、或式:所示之基,R8為H,C1~C4烷基、C1~C4烷氧基、或環己基,m和n分別0、1或2,a、b、c、d、e、 f、g、h為0或1~5之整數,惟a+b≦5,c+d≦5,e+f≦5,g+h≦5,i為0,1或2。
    • 一种感光性树脂组成物,其特征为,含有由(i)低分子量成份分馏处理除去之碱溶性酚醛树脂与邻二叠氮基化合物之反应生成物,或碱溶性酚醛树脂与邻二叠氮基化合物之反应生成物经分馏处理除去低分子量成份所得分馏处理物构成之感光性酚醛树脂,和(ii)下列通式(1)所示具有酚性羟基的低分子化合物,式中R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7分别单独为 H、C1~C4烷基、C1~C4烷氧基、环己基、或式:所示之基,R8为H,C1~C4烷基、C1~C4烷氧基、或环己基,m和n分别0、1或2,a、b、c、d、e、 f、g、h为0或1~5之整数,惟a+b≦5,c+d≦5,e+f≦5,g+h≦5,i为0,1或2。