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1. 发明专利

TW201333439A 具有改良的電極結構之電容式壓力感測器审中-公开
简体标题：具有改良的电极结构之电容式压力传感器
公开(公告)号：TW201333439A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：TW101135864
申请日：2012-09-28
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：布蘭肯希普史蒂芬 , BLANKENSHIP, STEVEN D.
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/0048 , G01L19/04
摘要：一種改良的電容式壓力計，該壓力計包含：(a)一膜片其包括一共同電極以及(b)一電極結構其包括一中心電極及環圈電極，其中該膜片係可相對於介於(i)當在該膜片的每一側邊上該壓力係為相同時的一零位置與(ii)當該最大的可測量差壓係施用在該膜片上時的一最大差分位置之間的該電極結構移動；以及一膜片支撐結構其係經佈置俾以支撐該膜片因此該膜片相對於該電極結構受到限制，以及該共同電極係與該中心及環圈電極隔開並相對於該壓力計之一對準軸軸向地對準；以及一電極支撐件結構其係經佈置以支撐該電極結構並包含一順應性環圈其包括至少三彎曲部分係一體成型於該環圈中並環繞該對準軸成角度地隔開；其中該電極支撐件係在該等順應性環圈彎曲部分之位置處相對於該膜片軸向地箝制在適當位置。
简体摘要：一种改良的电容式压力计，该压力计包含：(a)一膜片其包括一共同电极以及(b)一电极结构其包括一中心电极及环圈电极，其中该膜片系可相对于介于(i)当在该膜片的每一侧边上该压力系为相同时的一零位置与(ii)当该最大的可测量差压系施用在该膜片上时的一最大差分位置之间的该电极结构移动；以及一膜片支撑结构其系经布置俾以支撑该膜片因此该膜片相对于该电极结构受到限制，以及该共同电极系与该中心及环圈电极隔开并相对于该压力计之一对准轴轴向地对准；以及一电极支撑件结构其系经布置以支撑该电极结构并包含一顺应性环圈其包括至少三弯曲部分系一体成型于该环圈中并环绕该对准轴成角度地隔开；其中该电极支撑件系在该等顺应性环圈弯曲部分之位置处相对于该膜片轴向地箝制在适当位置。

2. 发明专利

TW201337229A 壓力感測器审中-公开
简体标题：压力传感器
公开(公告)号：TW201337229A
公开(公告)日：2013-09-16
申请号：TW101137478
申请日：2012-10-11
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：布蘭肯希普史蒂芬 , BLANKENSHIP, STEVEN D. , 盧卡斯保羅 , LUCAS, PAUL D.
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/06
CPC分类号： G01N27/227 , G01L9/0075 , G01L19/0636
摘要：一或更多反應氣體被導入至內與外電容式電極之間之特定區域的電容壓力計，所以正及負彎曲之錯誤誘導的測量影響被抵銷或最小化。此外，保護結構可用於該電容壓力計之電極結構。保護結構呈現一區域，其相對於氣體擴散進入隔膜相對不敏感，結果改變表面張力、曲率及偏轉，因而提供該壓力計之零讀數及壓力讀數的提昇或最佳穩定性。該保護亦可提供電極之電子隔離。
简体摘要：一或更多反应气体被导入至内与外电容式电极之间之特定区域的电容压力计，所以正及负弯曲之错误诱导的测量影响被抵销或最小化。此外，保护结构可用于该电容压力计之电极结构。保护结构呈现一区域，其相对于气体扩散进入隔膜相对不敏感，结果改变表面张力、曲率及偏转，因而提供该压力计之零读数及压力读数的提升或最佳稳定性。该保护亦可提供电极之电子隔离。

3. 发明专利

TWI568999B 具有改良的電極結構之電容式壓力感測器有权
简体标题：具有改良的电极结构之电容式压力传感器
公开(公告)号：TWI568999B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW101135864
申请日：2012-09-28
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：布蘭肯希普史蒂芬 , BLANKENSHIP, STEVEN D.
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/0048 , G01L19/04

4. 发明专利

TWI532982B 壓力感測器有权
简体标题：压力传感器
公开(公告)号：TWI532982B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW101137478
申请日：2012-10-11
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：布蘭肯希普史蒂芬 , BLANKENSHIP, STEVEN D. , 盧卡斯保羅 , LUCAS, PAUL D.
IPC分类号： G01L9/00 , G01L19/06
CPC分类号： G01N27/227 , G01L9/0075 , G01L19/0636

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