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2. 发明专利

TW201144783A 電容式壓力感測器 CAPACITIVE PRESSURE SENSOR 审中-公开
简体标题：电容式压力传感器 CAPACITIVE PRESSURE SENSOR
公开(公告)号：TW201144783A
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：TW100104125
申请日：2011-02-08
申请人： MKS公司
发明人：布蘭克西普史蒂芬
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/0042
摘要：一種改善的電容式壓力計,該壓力計包括:一隔板,其包括(a)一共同電極;及(b)一電極結構,其包括一中央電極與環形電極。該隔板可於下列之間移動:(i)一零位置,當該隔板的每端壓力相同時;及(ii)一最大差異位置,當最大可測量差異壓力施加至該隔板時;及一支撐結構,其配置係支撐該隔板,因此該隔板受到該電極結構的限制,且該共同電極係隔開及徑向對準與該壓力計之一對準軸有關的中央與環形電極;其中該電極結構固定係與在該對準軸附近等角隔開的至少三個夾緊位置的隔板有關;而且其中在含該隔板限制點與相對於零位置的隔板平面的每個夾緊位置點之每個正確平面中定義的角度係介於60�與90�之間,如此減少電極盤支撐高度的變化,使該隔板與該電極結構之間能有較小的間隙與改善穩定性。額外的改善係藉由包括含複數個凸舌的一間隔環提供;及一夾器,其配置係夾緊該電極結構至該等凸舌之每一者的位置,以便在該對準軸的附近定義複數個等角隔開夾緊位置,以除去一偶然隔片引起徑向剪力與隨後潛在黏滑情況影響重覆性與穩定性。
简体摘要：一种改善的电容式压力计,该压力计包括:一隔板,其包括(a)一共同电极;及(b)一电极结构,其包括一中央电极与环形电极。该隔板可于下列之间移动:(i)一零位置,当该隔板的每端压力相同时;及(ii)一最大差异位置,当最大可测量差异压力施加至该隔板时;及一支撑结构,其配置系支撑该隔板,因此该隔板受到该电极结构的限制,且该共同电极系隔开及径向对准与该压力计之一对准轴有关的中央与环形电极;其中该电极结构固定系与在该对准轴附近等角隔开的至少三个夹紧位置的隔板有关;而且其中在含该隔板限制点与相对于零位置的隔板平面的每个夹紧位置点之每个正确平面中定义的角度系介于60�与90�之间,如此减少电极盘支撑高度的变化,使该隔板与该电极结构之间能有较小的间隙与改善稳定性。额外的改善系借由包括含复数个凸舌的一间隔环提供;及一夹器,其配置系夹紧该电极结构至该等凸舌之每一者的位置,以便在该对准轴的附近定义复数个等角隔开夹紧位置,以除去一偶然隔片引起径向剪力与随后潜在黏滑情况影响重复性与稳定性。

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