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    • 1. 发明专利
    • 輻射敏感性樹脂組成物
    • 辐射敏感性树脂组成物
    • TW200305778A
    • 2003-11-01
    • TW091137874
    • 2002-12-30
    • JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
    • 岩永伸一郎岩本聰木村徹 KIMURA, TORU西村洋子西川耕二
    • G03F
    • G03F7/033G03F7/405
    • 本發明之輻射敏感性樹脂組成物,其特徵為含有(A)對於由具有羧基之自由基聚合性化合物(a)所產生之構成單位含有1~40重量%,由具有苯酚性羥基之自由基聚合性化合物(b–1)或由具有在共聚物合成後,可轉變成苯酚性羥基之官能基之自由基聚合性化合物(b–2)所產生之苯酚性羥基之構成單位含有1~50重量%,剩餘部分為對於前述化合物(a)、(b–1)、(b–2)及下述化合物(d)以下之其他的聚合性化合物(c)所產生之構成單位之共聚物100重量份時,使具有環氧基之自由基聚合性化合物(d)01~20重量份產生反應所得之含不飽和基之鹼可溶性樹脂;(B)具有至少一個之乙烯性不飽和雙鍵之化合物;及(C)為輻射線自由基聚合引發劑;且可形成電鍍之高度以上之輻射敏感性樹脂組成物塗膜,具有高解像性之輻射敏感性樹脂組成物。
    • 本发明之辐射敏感性树脂组成物,其特征为含有(A)对于由具有羧基之自由基聚合性化合物(a)所产生之构成单位含有1~40重量%,由具有苯酚性羟基之自由基聚合性化合物(b–1)或由具有在共聚物合成后,可转变成苯酚性羟基之官能基之自由基聚合性化合物(b–2)所产生之苯酚性羟基之构成单位含有1~50重量%,剩余部分为对于前述化合物(a)、(b–1)、(b–2)及下述化合物(d)以下之其他的聚合性化合物(c)所产生之构成单位之共聚物100重量份时,使具有环氧基之自由基聚合性化合物(d)01~20重量份产生反应所得之含不饱和基之碱可溶性树脂;(B)具有至少一个之乙烯性不饱和双键之化合物;及(C)为辐射线自由基聚合引发剂;且可形成电镀之高度以上之辐射敏感性树脂组成物涂膜,具有高解像性之辐射敏感性树脂组成物。