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1. 发明专利

TW200835060A 向異導電性連接器、轉接裝置及電路裝置的電性檢查裝置审中-公开
简体标题：向异导电性连接器、转接设备及电路设备的电性检查设备
公开(公告)号：TW200835060A
公开(公告)日：2008-08-16
申请号：TW096135751
申请日：2007-09-26
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： H01R
CPC分类号： H01R43/007 , G01R1/07378 , H01R11/01
摘要：揭示著即使電極間的隔間距離小,電極的高度位準上有參差不齊,在電極間確保所必需的絕緣性的狀態下,也確實地達成電性連接,以防止表面的電荷積蓄而可得到較久的使用壽命的向異導電性連接器及其應用。該向異導電性連接器是具有:在絕緣性片的貫通孔,配置有從兩面突出的剛性導體,剛性導體為在被插通於絕緣性片的貫通孔的胴部兩端,形成具有比貫通孔的直徑還大直徑的端子部,作成朝絕緣性片的厚度向可移動的複合導電性片,及配置於複合導電性片的兩面的兩片向異導電性彈性體片,在至少一方的向異導電性彈性體片,具有複數開口的除電層形成於與複合導電性片接觸的面相反的面,而朝厚度方向透視時,剛性導體位於除電層的開口內,當該除電層被連接於接地。
简体摘要：揭示着即使电极间的隔间距离小,电极的高度位准上有参差不齐,在电极间确保所必需的绝缘性的状态下,也确实地达成电性连接,以防止表面的电荷积蓄而可得到较久的使用寿命的向异导电性连接器及其应用。该向异导电性连接器是具有:在绝缘性片的贯通孔,配置有从两面突出的刚性导体,刚性导体为在被插通于绝缘性片的贯通孔的胴部两端,形成具有比贯通孔的直径还大直径的端子部,作成朝绝缘性片的厚度向可移动的复合导电性片,及配置于复合导电性片的两面的两片向异导电性弹性体片,在至少一方的向异导电性弹性体片,具有复数开口的除电层形成于与复合导电性片接触的面相反的面,而朝厚度方向透视时,刚性导体位于除电层的开口内,当该除电层被连接于接地。

2. 发明专利

TW200741221A 晶圓檢查用電路基板裝置、探針卡及晶圓檢查裝置、以及複合導電性膜片及連接裝置审中-公开
简体标题：晶圆检查用电路基板设备、探针卡及晶圆检查设备、以及复合导电性膜片及连接设备
公开(公告)号：TW200741221A
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：TW095148219
申请日：2006-12-21
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：山田大典 YAMADA, DAISUKE , 木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： G01R , H01R , H01L
CPC分类号： G01R1/07378 , G01R3/00 , G01R31/2889 , H01R13/2414 , H01R2201/20
摘要：揭示有製造成本低、接續信賴性高的晶圓檢查用電路基板裝置,具有該晶圓檢查用電路基板裝置之探針卡及晶圓檢查裝置。晶圓檢查用電路基板裝置係,具有:基板本體,與堆疊複數個連接器單元所成之連接裝置;連接器單元係,具有:第1向異導電性彈性薄片、複合導電性膜片、第2向異導電性彈性薄片、與間距變換板;複合導電性膜片係,具有:形成複數個貫通孔之絕緣性膜片,於該絕緣性膜片、配置成從各個絕緣性膜片的兩面突出之剛性導體;剛性導體係,於插通於絕緣性膜片的貫通孔之胴部的兩端,形成具有比絕緣性膜片的貫通孔的徑還要大的徑之端子部,對該絕緣性膜片可以移動於厚度方向。
简体摘要：揭示有制造成本低、接续信赖性高的晶圆检查用电路基板设备,具有该晶圆检查用电路基板设备之探针卡及晶圆检查设备。晶圆检查用电路基板设备系,具有:基板本体,与堆栈复数个连接器单元所成之连接设备;连接器单元系,具有:第1向异导电性弹性薄片、复合导电性膜片、第2向异导电性弹性薄片、与间距变换板;复合导电性膜片系,具有:形成复数个贯通孔之绝缘性膜片,于该绝缘性膜片、配置成从各个绝缘性膜片的两面突出之刚性导体;刚性导体系,于插通于绝缘性膜片的贯通孔之胴部的两端,形成具有比绝缘性膜片的贯通孔的径还要大的径之端子部,对该绝缘性膜片可以移动于厚度方向。

3. 发明专利

TW200720664A 晶圓檢查用探針卡,晶圓檢查裝置及晶圓檢查方法审中-公开
简体标题：晶圆检查用探针卡,晶圆检查设备及晶圆检查方法
公开(公告)号：TW200720664A
公开(公告)日：2007-06-01
申请号：TW095133312
申请日：2006-09-08
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/0735 , G01R3/00
摘要：本發明係揭示有關即使是大面積具有尺寸小的多數個被檢查電極的晶圓,還是可確實地達成所要的電性連接,確實地進行精度高的電阻測定,可以小成本來製造之晶圓檢查用探針卡、及使用該晶圓檢查用探針卡的晶圓檢查裝置及方法。探針卡係具有:第1電極薄片、及配置於該表面的第1向異導電性薄片、及配置於第1電極薄片的背面,對應於被檢查電極而形成有貫通孔的第2向異導電性薄片、及配置於該背面的第2電極薄片,且第1電極薄片係具有:對應於被檢查電極而形成有貫通孔的柔軟絕緣性薄片、及在絕緣性薄片的表面形成包含貫通孔的複數個環狀電極,及形成於絕緣性薄片背面的中繼電極,第2電極薄片係具有:對應於被檢查電極而配置的複數個檢查用核心電極、及對應於中繼電極而配置的複數個連接用核心電極。
简体摘要：本发明系揭示有关即使是大面积具有尺寸小的多数个被检查电极的晶圆,还是可确实地达成所要的电性连接,确实地进行精度高的电阻测定,可以小成本来制造之晶圆检查用探针卡、及使用该晶圆检查用探针卡的晶圆检查设备及方法。探针卡系具有:第1电极薄片、及配置于该表面的第1向异导电性薄片、及配置于第1电极薄片的背面,对应于被检查电极而形成有贯通孔的第2向异导电性薄片、及配置于该背面的第2电极薄片,且第1电极薄片系具有:对应于被检查电极而形成有贯通孔的柔软绝缘性薄片、及在绝缘性薄片的表面形成包含贯通孔的复数个环状电极,及形成于绝缘性薄片背面的中继电极,第2电极薄片系具有:对应于被检查电极而配置的复数个检查用内核电极、及对应于中继电极而配置的复数个连接用内核电极。

4. 发明专利

TWI256476B 電阻測定用連接器,電阻測定用連接器裝置及其製造方法,以及電路基板的電阻測定裝置及測定方法有权
简体标题：电阻测定用连接器,电阻测定用连接器设备及其制造方法,以及电路基板的电阻测定设备及测定方法
公开(公告)号：TWI256476B
公开(公告)日：2006-06-11
申请号：TW093108144
申请日：2004-03-25
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/07314 , G01R1/07378 , G01R31/2831
摘要：本發明的課題是在於提供一種即使被檢查電路基板為大面積具有尺寸小的多數個被檢查電極者，還是能夠確實地達成所要的電性連接，使所期望的電阻測定能夠在高精度下確實地進行之電阻測定用連接器，電阻測定用連接器裝置及其製造方法，以及電路基板的電阻測定裝置及測定方法。
亦即，本發明之電阻測定用連接器的特徵係具備：
絕緣性基板；及
複數個連接用電極組，其係按照對應於應於此絕緣性基板的表面測定電阻的被檢查電路基板之複數個被檢查電極的圖案之圖案來配置；
各上述連接用電極組係電流供給用電極及電壓測定用電極的其中之一電極的3個以上會互相離間配置，在該等的電極中，至少1個為電流供給用電極，至少1個為電壓測定用電極。
简体摘要：本发明的课题是在于提供一种即使被检查电路基板为大面积具有尺寸小的多数个被检查电极者，还是能够确实地达成所要的电性连接，使所期望的电阻测定能够在高精度下确实地进行之电阻测定用连接器，电阻测定用连接器设备及其制造方法，以及电路基板的电阻测定设备及测定方法。亦即，本发明之电阻测定用连接器的特征系具备：绝缘性基板；及复数个连接用电极组，其系按照对应于应于此绝缘性基板的表面测定电阻的被检查电路基板之复数个被检查电极的图案之图案来配置；各上述连接用电极组系电流供给用电极及电压测定用电极的其中之一电极的3个以上会互相离间配置，在该等的电极中，至少1个为电流供给用电极，至少1个为电压测定用电极。

5. 发明专利

TW200617400A 電路裝置檢查用電極裝置及其製造方法以及電路裝置的檢查裝置审中-公开
简体标题：电路设备检查用电极设备及其制造方法以及电路设备的检查设备
公开(公告)号：TW200617400A
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：TW094134332
申请日：2005-09-30
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2808 , G01R1/07328 , G01R31/2889
摘要：提供一種一面互相具有充分的絕緣性一面以小排列間距可形成連接用電極，而且針對於接觸電阻較小的電路裝置檢查用電極裝置及其製造方法以及被檢查電極的排列間距較小或電極數較多的電路裝置，也對於所有被檢查電極以高精度可進行所期望的電性檢查的電路裝置的檢查裝置。本發明的解決手段電極裝置是具備：絕緣性基板，及配置於其表面側的所定位置的背面作成平坦的複數連接用電極，及各該一端部朝其厚度方向貫通絕緣性基板而延伸被固定之狀態下，一端面一體地連結於連接用電極背面的複數電線所成。檢查裝置是具備上述電路裝置檢查用電極裝置所成。
简体摘要：提供一种一面互相具有充分的绝缘性一面以小排列间距可形成连接用电极，而且针对于接触电阻较小的电路设备检查用电极设备及其制造方法以及被检查电极的排列间距较小或电极数较多的电路设备，也对于所有被检查电极以高精度可进行所期望的电性检查的电路设备的检查设备。本发明的解决手段电极设备是具备：绝缘性基板，及配置于其表面侧的所定位置的背面作成平坦的复数连接用电极，及各该一端部朝其厚度方向贯通绝缘性基板而延伸被固定之状态下，一端面一体地链接于连接用电极背面的复数电线所成。检查设备是具备上述电路设备检查用电极设备所成。

6. 发明专利

TW200506372A 電阻測定用連接器,電阻測定用連接器裝置及其製造方法,以及電路基板的電阻測定裝置及測定方法审中-公开
简体标题：电阻测定用连接器,电阻测定用连接器设备及其制造方法,以及电路基板的电阻测定设备及测定方法
公开(公告)号：TW200506372A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：TW093108144
申请日：2004-03-25
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/07314 , G01R1/07378 , G01R31/2831
摘要：本發明的課題是在於提供一種即使被檢查電路基板為大面積具有尺寸小的多數個被檢查電極者，還是能夠確實地達成所要的電性連接，使所期望的電阻測定能夠在高精度下確實地進行之電阻測定用連接器，電阻測定用連接器裝置及其製造方法，以及電路基板的電阻測定裝置及測定方法。亦即，本發明之電阻測定用連接器的特徵係具備：絕緣性基板；及複數個連接用電極組，其係按照對應於應於此絕緣性基板的表面測定電阻的被檢查電路基板之複數個被檢查電極的圖案之圖案來配置；各上述連接用電極組係電流供給用電極及電壓測定用電極的其中之一電極的3個以上會互相離間配置，在該等的電極中，至少1個為電流供給用電極，至少1個為電壓測定用電極。
简体摘要：本发明的课题是在于提供一种即使被检查电路基板为大面积具有尺寸小的多数个被检查电极者，还是能够确实地达成所要的电性连接，使所期望的电阻测定能够在高精度下确实地进行之电阻测定用连接器，电阻测定用连接器设备及其制造方法，以及电路基板的电阻测定设备及测定方法。亦即，本发明之电阻测定用连接器的特征系具备：绝缘性基板；及复数个连接用电极组，其系按照对应于应于此绝缘性基板的表面测定电阻的被检查电路基板之复数个被检查电极的图案之图案来配置；各上述连接用电极组系电流供给用电极及电压测定用电极的其中之一电极的3个以上会互相离间配置，在该等的电极中，至少1个为电流供给用电极，至少1个为电压测定用电极。

7. 发明专利

TWI302047B 向異導電性薄板及其製造方法,接合裝置及其製造方法,以及電路裝置的電性檢查裝置失效
简体标题：向异导电性薄板及其制造方法,接合设备及其制造方法,以及电路设备的电性检查设备
公开(公告)号：TWI302047B
公开(公告)日：2008-10-11
申请号：TW093110526
申请日：2004-04-15
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： H01R , G01R
CPC分类号： G01R1/0735 , G01R1/06711 , G01R1/06755 , G01R3/00 , H01R43/007 , Y10T428/24322
摘要：本發明之課題係提供一種向異導電性薄板及其製造方
法、接合裝置及其製造方法、以及具有前述任一項之電路
裝置之電性檢查裝置,可以在和連接之電極之配置圖案無
關之情形下,確實達成對各電極之必要電性連接,即使連
接之電極為間距微小之高密度配置時,亦可確實達成對電
極之必要電性連接,且可以較低之成本製造。
本發明之解決手段,係以下述方法形成向異導電性薄
板,亦即,對獲得脫模性支持板支持之導電性彈性體層實
施雷射加工,在該脫模性支持板上形成依前述特定圖案配
置之導電路形成部,在導電路形成部間形成由硬化後會成
為彈性高分子物質之材料所構成之絕緣部用材料層,實施
硬化處理而形成絕緣部。
简体摘要：本发明之课题系提供一种向异导电性薄板及其制造方法、接合设备及其制造方法、以及具有前述任一项之电路设备之电性检查设备,可以在和连接之电极之配置图案无关之情形下,确实达成对各电极之必要电性连接,即使连接之电极为间距微小之高密度配置时,亦可确实达成对电极之必要电性连接,且可以较低之成本制造。本发明之解决手段,系以下述方法形成向异导电性薄板,亦即,对获得脱模性支持板支持之导电性弹性体层实施激光加工,在该脱模性支持板上形成依前述特定图案配置之导电路形成部,在导电路形成部间形成由硬化后会成为弹性高分子物质之材料所构成之绝缘部用材料层,实施硬化处理而形成绝缘部。

8. 发明专利

TW200807815A 複合導電性薄片,其製造方法及其應用审中-公开
简体标题：复合导电性薄片,其制造方法及其应用
公开(公告)号：TW200807815A
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：TW096128021
申请日：2007-07-31
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： H01R , H01B
CPC分类号： H01R43/007 , G01R1/0735 , G01R1/07378 , G01R3/00 , H01R12/52 , H01R13/2414
摘要：本發明揭示一種具有可於厚度方向移動之絕緣性薄片的剛性導體,該剛性導體於不脫落下,即使單獨使用亦容易處理之複合導電性薄片、其製造方法、具有該複合導電性薄片之異向導電性連接器(connector)、轉接器(adapter)裝置及回路裝置之電氣性檢查裝置。該複合導電性薄片具有,形成多數個異通孔之間隔物薄片,與,於間隔物薄片之兩面上一體層合的2個覆蓋薄片,與,設置於間隔物薄片的貫通孔之剛性導體,其中,覆蓋薄片上,形成有對應於間隔物薄片之貫通孔且具有較該貫通孔之孔徑為小之貫通孔,剛性導體為設置於間隔物薄片之貫通孔內,係由具有孔徑較覆蓋薄片之貫通孔之孔徑為大之凸緣(flange)部,與,形成於凸緣部兩端之插通於覆蓋薄片之貫通孔的端子部所構成,故剛性導體相對於間隔物薄片,可於其厚度方向進行移動。
简体摘要：本发明揭示一种具有可于厚度方向移动之绝缘性薄片的刚性导体,该刚性导体于不脱落下,即使单独使用亦容易处理之复合导电性薄片、其制造方法、具有该复合导电性薄片之异向导电性连接器(connector)、转接器(adapter)设备及回路设备之电气性检查设备。该复合导电性薄片具有,形成多数个异通孔之间隔物薄片,与,于间隔物薄片之两面上一体层合的2个覆盖薄片,与,设置于间隔物薄片的贯通孔之刚性导体,其中,覆盖薄片上,形成有对应于间隔物薄片之贯通孔且具有较该贯通孔之孔径为小之贯通孔,刚性导体为设置于间隔物薄片之贯通孔内,系由具有孔径较覆盖薄片之贯通孔之孔径为大之凸缘(flange)部,与,形成于凸缘部两端之插通于覆盖薄片之贯通孔的端子部所构成,故刚性导体相对于间隔物薄片,可于其厚度方向进行移动。

9. 发明专利

TW200708745A 電阻抗測定用連接具與電路基板之電阻抗測定裝置及測定方法审中-公开
简体标题：电阻抗测定用连接具与电路基板之电阻抗测定设备及测定方法
公开(公告)号：TW200708745A
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：TW095125691
申请日：2006-07-13
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2805 , G01R1/0408 , G01R31/2808 , H01R12/523 , H01R13/03 , H01R2201/20
摘要：本發明係提供一種即使係大面積且具有尺寸小的多數個被檢查電極的電路基板,亦可確實達成所要的電性連接,可確實進行高精確度的測定,以低成本可製造的電阻抗測定用連接具、及使用其之電路基板的電阻抗測定裝置及方法。該電阻抗測定用連接具係具備有:第1電極薄片;配置於該第1電極薄片的背面,與被檢查電極對應而形成貫通孔的各向異導電性彈性薄片;及配置於該各向異導電性彈性薄片的背面的第2電極薄片,第1電極片係具備有:與被檢查電極對應而形成貫通孔的柔軟絕緣性薄片;於絕緣性薄片的表面包圍貫通孔而形成的複數個環狀電極;及形成於絕緣性薄片的背面的中繼電極,第2電極係具有:與被檢查電極對應而配置的複數個檢查用磁心電極、及與中繼電極對應而配置的複數個連接用磁心電極。
简体摘要：本发明系提供一种即使系大面积且具有尺寸小的多数个被检查电极的电路基板,亦可确实达成所要的电性连接,可确实进行高精确度的测定,以低成本可制造的电阻抗测定用连接具、及使用其之电路基板的电阻抗测定设备及方法。该电阻抗测定用连接具系具备有:第1电极薄片;配置于该第1电极薄片的背面,与被检查电极对应而形成贯通孔的各向异导电性弹性薄片;及配置于该各向异导电性弹性薄片的背面的第2电极薄片,第1电极片系具备有:与被检查电极对应而形成贯通孔的柔软绝缘性薄片;于绝缘性薄片的表面包围贯通孔而形成的复数个环状电极;及形成于绝缘性薄片的背面的中继电极,第2电极系具有:与被检查电极对应而配置的复数个检查用磁心电极、及与中继电极对应而配置的复数个连接用磁心电极。

10. 发明专利

TW200619647A 電路基板之檢查裝置及電路基板之檢查方法审中-公开
简体标题：电路基板之检查设备及电路基板之检查方法
公开(公告)号：TW200619647A
公开(公告)日：2006-06-16
申请号：TW094124149
申请日：2005-07-15
申请人： JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
发明人：木村潔 KIMURA, KIYOSHI , 下田杉郎 SHIMODA, SUGIRO , 鈴木聰 SUZUKI, SATOSHI , 原富士雄 HARA, FUJIO
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/07335 , G01R1/06711 , G01R1/07378 , G01R3/00
摘要：本發明是在於提供一種即使檢查對象的電路基板為具有微細間距的電極者，還是可以進行可靠度高的電性檢查之電路基板的檢查裝置及電路基板的檢查方法。中繼插銷元件31具備：中間保持板36、配置於第1絕緣板34與中間保持板36之間的第1支撐插銷33、及配置於第2絕緣板35與中間保持板36之間的第2支撐插銷37，且第1支撐插銷對中間保持板的第1抵接支撐位置、第2支撐插銷對中間保持板的第2抵接支撐位置會在投影於中間保持板的厚度方向的中間保持板投影面中配置於相異的位置。又，由利用雷射加工來形成的導電路形成部及使該等的導電路形成部互相絕緣的絕緣部所構成的第1異方導電性薄板22會在間距變換用基板23側被一體化，而構成間距變換用轉接器體60。或，在形成於基板73的複數個貫通孔中設置形成有絕緣部62及使絕緣部62往厚度方向貫通的導電路形成部61之中繼基板29，供以中繼間距變換用基板23與被檢查電路基板1的電性連接。
简体摘要：本发明是在于提供一种即使检查对象的电路基板为具有微细间距的电极者，还是可以进行可靠度高的电性检查之电路基板的检查设备及电路基板的检查方法。中继插销组件31具备：中间保持板36、配置于第1绝缘板34与中间保持板36之间的第1支撑插销33、及配置于第2绝缘板35与中间保持板36之间的第2支撑插销37，且第1支撑插销对中间保持板的第1抵接支撑位置、第2支撑插销对中间保持板的第2抵接支撑位置会在投影于中间保持板的厚度方向的中间保持板投影面中配置于相异的位置。又，由利用激光加工来形成的导电路形成部及使该等的导电路形成部互相绝缘的绝缘部所构成的第1异方导电性薄板22会在间距变换用基板23侧被一体化，而构成间距变换用转接器体60。或，在形成于基板73的复数个贯通孔中设置形成有绝缘部62及使绝缘部62往厚度方向贯通的导电路形成部61之中继基板29，供以中继间距变换用基板23与被检查电路基板1的电性连接。

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