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1. 发明专利

TW201619692A 遮罩總成审中-公开
简体标题：遮罩总成
公开(公告)号：TW201619692A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104137749
申请日：2015-11-16
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N. V.
发明人：可魯依寧嘉馬提亞斯 , KRUIZINGA, MATTHIAS , 詹森馬騰馬吉斯馬利努斯 , JANSEN, MAARTEN MATHIJS MARINUS , 阿瑟瑞多喬治瑪紐爾 , AZEREDO LIMA, JORGE MANUEL , 寶賈特艾瑞克威廉 , BOGAART, ERIK WILLEM , 布朗司德克瑟華提思傑卓達 , BROUNS, DERK SERVATIUS GERTRUDA , 布魯吉馬克 , BRUIJN, MARC , 布魯斯理查喬瑟夫 , BRULS, RICHARD JOSEPH , 戴克斯傑洛恩 , DEKKERS, JEROEN , 簡森保羅 , JANSSEN, PAUL , 卡馬利莫哈瑪德瑞莎 , KAMALI, MOHAMMAD REZA , 卡默羅納哈莫剛瑟 , KRAMER, RONALD HARM GUNTHER , 蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , 里恩德斯馬汀斯漢德利克斯安東尼斯 , LEENDERS, MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS , 里普森馬修 , LIPSON, MATTHEW , 洛卜史塔艾瑞克羅勒夫 , LOOPSTRA, ERIK ROELOF , 黎昂斯喬瑟夫H , LYONS, JOSEPH H , 露克司史蒂芬 , ROUX, STEPHEN , 凡登波許吉瑞特 , VAN DEN BOSCH, GERRIT , 凡登海吉坎特山德 , VAN DEN HEIJKANT, SANDER , 凡得葛絡夫珊卓拉 , VAN DER GRAAF, SANDRA , 凡丹慕蘭佛利茲 , VAN DER MEULEN, FRITS , 凡路吉羅美法蘭西歐斯斯洛凡凡吉兒 , 凡布魯吉畢兒翠斯路意斯瑪莉喬瑟夫凱翠恩 , VERBRUGGE, BEATRIJS LOUISE MARIE-JOSEPH K
IPC分类号： G03F1/62
CPC分类号： G03F7/70983 , G03F1/64 , G03F7/70825
摘要：本發明係關於一種適合用於一微影製程中之遮罩總成，該遮罩總成包含：一圖案化器件；及一表膜框架，其經組態以支撐一表膜且藉由一安裝台安裝在該圖案化器件上；其中該安裝台經組態以相對於該圖案化器件懸置該表膜框架，使得該表膜框架與該圖案化器件之間存在一間隙；且其中該安裝台在該圖案化器件與該表膜框架之間提供一可釋放式可嚙合附著。
简体摘要：本发明系关于一种适合用于一微影制程中之遮罩总成，该遮罩总成包含：一图案化器件；及一表膜框架，其经组态以支撑一表膜且借由一安装台安装在该图案化器件上；其中该安装台经组态以相对于该图案化器件悬置该表膜框架，使得该表膜框架与该图案化器件之间存在一间隙；且其中该安装台在该图案化器件与该表膜框架之间提供一可释放式可啮合附着。

3. 发明专利

TWI488007B 交換光罩之系統及方法有权
简体标题：交换光罩之系统及方法
公开(公告)号：TWI488007B
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：TW098112204
申请日：2009-04-13
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
发明人：蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , 哈洛喬治希拉蕊 , HARROLD, GEORGE HILARY , 強森理查約翰 , JOHNSON, RICHARD JOHN , 凡德維登雨果傑卡布斯葛瑞德司 , VAN DER WEIJDEN, HUGO JACOBUS GERARDUS
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/673
CPC分类号： G03F7/70741 , G03F7/70983 , H01L21/682

4. 发明专利

TWI440539B 真空中使用的機器人有权
简体标题：真空中使用的机器人
公开(公告)号：TWI440539B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：TW098112335
申请日：2009-04-14
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V. , ASML控股公司 , ASML HOLDING N.V.
发明人：蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , 哈洛喬治希拉蕊 , HARROLD, GEORGE HILARY , 凡朵恩馬修詹姆士 , VAN DOREN, MATTHEW JAMES
IPC分类号： B25J9/04 , G03F7/20 , H01L21/68
CPC分类号： G03F7/7075 , G03F7/70741 , H01L21/67225 , H01L21/67742 , H01L21/67748

5. 发明专利

TW201727666A 放射性同位素生產审中-公开
简体标题：放射性同位素生产
公开(公告)号：TW201727666A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105136049
申请日：2016-11-04
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：德賈格皮耶特威廉荷曼 , DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN , 畢瓊斯瑪史博克 , BIJLSMA, SIPKE , 佛利恩斯歐勒夫華德瑪佛勒迪米爾 , FRIJNS, OLAV WALDEMAR VLADIMIR , 倪祺佩洛安得列亞歷山卓維克 , NIKIPELOV, ANDREY ALEXANDROVICH , 添凱特尼可拉斯 , TEN KATE, NICOLAAS , 達克森安東尼斯瑟多斯安那瑪利亞 , DERKSEN, ANTONIUS THEODORUS ANNA MARIA , 凡司沛賈古柏喬漢納李奧那多漢德力克 , VERSPAY, JACOBUS JOHANNUS LEONARDUS HENDRICUS , 蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , LANSBERGEN, ROBERT GABRIEL MARIA , 卡斯特蘭奧克約亞莉安娜安娜特 , KASTELIJN, AUKJE ARIANNE ANNETTE
IPC分类号： G21G1/12 , G21K5/04 , G21K5/08 , G21K5/10
CPC分类号： G21G1/12
摘要：本發明係關於一種放射性同位素生產設備，其包含經配置以提供一電子束之一電子源。該電子源包含一電子注入器及一電子加速器。該放射性同位素生產設備進一步包含：一目標支撐結構，其經組態以固持一目標；及一射束分裂器，其經配置以沿一第一路徑將該電子束之一第一部分引導朝向該目標之一第一側且沿一第二路徑將該電子束之一第二部分引導朝向該目標之一第二側。
简体摘要：本发明系关于一种放射性同位素生产设备，其包含经配置以提供一电子束之一电子源。该电子源包含一电子注入器及一电子加速器。该放射性同位素生产设备进一步包含：一目标支撑结构，其经组态以固持一目标；及一射束分裂器，其经配置以沿一第一路径将该电子束之一第一部分引导朝向该目标之一第一侧且沿一第二路径将该电子束之一第二部分引导朝向该目标之一第二侧。

6. 发明专利

TW201319763A 用於極紫外光源之微粒捕捉器审中-公开
简体标题：用于极紫外光源之微粒捕捉器
公开(公告)号：TW201319763A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：TW101139555
申请日：2012-10-25
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：凡德海倫艾維歐 , VANDERHALLEN, IVO , 法蘭肯瓊恩斯克利斯坦李奧納德斯 , FRANKEN, JOHANNES CHRISTIAAN LEONARDUS , 蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , 凡登威爾登伯格藍伯特安德瑞納 , VAN DEN WILDENBERG, LAMBERTUS ADRIANUS
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70916 , G03F7/70825
摘要：本發明揭示一種用於一電漿EUV輻射源之微粒捕捉器、一種包含一微粒捕捉器之微影裝置，及一種器件製造方法。在一實施例中，該微粒捕捉器包括一可旋轉輪轂，及自該輪轂向外延伸之複數個葉片。該等葉片中每一者具有插入至該輪轂中之一互補溝槽中之一末端錨定部分，該末端錨定部分及該溝槽經組態以在該輪轂之旋轉期間將該等葉片固持於該輪轂內。
简体摘要：本发明揭示一种用于一等离子EUV辐射源之微粒捕捉器、一种包含一微粒捕捉器之微影设备，及一种器件制造方法。在一实施例中，该微粒捕捉器包括一可旋转轮毂，及自该轮毂向外延伸之复数个叶片。该等叶片中每一者具有插入至该轮毂中之一互补沟槽中之一末端锚定部分，该末端锚定部分及该沟槽经组态以在该轮毂之旋转期间将该等叶片固持于该轮毂内。

8. 发明专利

TW201619693A 裝置审中-公开
简体标题：设备
公开(公告)号：TW201619693A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104137750
申请日：2015-11-16
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：凡丹慕蘭佛利茲 , VAN DER MEULEN, FRITS , 詹森馬騰馬吉斯馬利努斯 , JANSEN, MAARTEN MATHIJS MARINUS , 阿瑟瑞多喬治瑪紐爾 , AZEREDO LIMA, JORGE MANUEL , 布朗司德克瑟華提思傑卓達 , BROUNS, DERK SERVATIUS GERTRUDA , 布魯吉馬克 , BRUIJN, MARC , 戴克斯傑洛恩 , DEKKERS, JEROEN , 簡森保羅 , JANSSEN, PAUL , 卡默羅納哈莫剛瑟 , KRAMER, RONALD HARM GUNTHER , 可魯依寧嘉馬提亞斯 , KRUIZINGA, MATTHIAS , 蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , 里恩德斯馬汀斯漢德利克斯安東尼斯 , LEENDERS, MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS , 洛卜史塔艾瑞克羅勒夫 , LOOPSTRA, ERIK ROELOF , 凡登波許吉瑞特 , VAN DEN BOSCH, GERRIT , 凡路吉羅美法蘭西歐斯斯洛凡凡吉兒 , 凡布魯吉畢兒翠斯路意斯瑪莉喬瑟夫凱翠恩 , VERBRUGGE, BEATRIJS LOUISE MARIE-JOSEPH KATRIEN , 提克拉克安居落賽薩彼得 , DE KLERK, ANGELO CESAR PETER , 迪恩斯賈寇巴斯瑪麗亞 , DINGS, JACOBUS MARIA , 詹森摩理斯理奧納多斯裘漢那斯 , JANSSEN, MAURICE LEONARDUS JOHANNES , 克利斯坦羅蘭德賈寇巴斯裘漢那斯 , KERSTENS, ROLAND JACOBUS JOHANNES , 克斯特馬汀那斯裘瑟夫瑪麗亞 , KESTERS, MARTINUS JOZEF MARIA , 路斯米契兒 , LOOS, MICHEL , 米德兒吉爾特 , MIDDEL, GEERT , 瑞吉德爾斯斯洛維斯特瑪修斯 , REIJNDERS, SILVESTER MATHEUS , 索爾席特法蘭克裘漢那斯克利斯坦 , THEUERZEIT, FRANK JOHANNES CHRISTIAAN , 凡理玟努根安妮裘漢那斯威爾赫瑪斯 , VAN LIEVENOOGEN, ANNE JOHANNES WILHELMUS
IPC分类号： G03F1/62
CPC分类号： G03F7/70983 , G03F1/64 , G03F7/70825
摘要：本發明提供用於適合於供一微影程序中使用之一光罩總成之工具配置，該光罩總成包含：一圖案化器件；及一護膜框架，其經組態以支撐一護膜且運用一安裝件而安裝於該圖案化器件上；其中該安裝件在該圖案化器件與該護膜框架之間提供一可釋放式可嚙合附接。
简体摘要：本发明提供用于适合于供一微影进程中使用之一光罩总成之工具配置，该光罩总成包含：一图案化器件；及一护膜框架，其经组态以支撑一护膜且运用一安装件而安装于该图案化器件上；其中该安装件在该图案化器件与该护膜框架之间提供一可释放式可啮合附接。

10. 发明专利

TW200948562A 真空中使用的機器人 ROBOT FOR IN-VACUUM USE 审中-公开
简体标题：真空中使用的机器人 ROBOT FOR IN-VACUUM USE
公开(公告)号：TW200948562A
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：TW098112335
申请日：2009-04-14
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML控股公司
发明人：蘭博根羅博特嘉博爾瑪利亞 , 哈洛喬治希拉蕊 , 凡朵恩馬修詹姆士
IPC分类号： B25J , G03F , H01L
CPC分类号： G03F7/7075 , G03F7/70741 , H01L21/67225 , H01L21/67742 , H01L21/67748
摘要：本發明揭示一種機器人，該機器人在一微影裝置之一真空腔室內定位一工件。該機器人之一第一組件位於一真空腔室內以沿著一平移軸線而定位一工件。一軸件支撐該第一組件，使得該軸件之一對稱軸線垂直於該平移軸線，且一第二組件圍繞該對稱軸線而旋轉該軸件且在平行於該對稱軸線之一方向上移動該軸件。該第二組件包括：一氣體軸承，該氣體軸承經組態以沿著該軸件之一圓周表面而引入氣體；及一驅氣密封件，該驅氣密封件經組態以抽空由該第二組件氣體軸承所引入之該氣體。該機器人大體上減少或消除烴分子在自約0 a.m.u.至200 a.m.u.之一範圍內的釋氣，因此致使該機器人適合用於極紫外線(EUV)光微影應用中。
简体摘要：本发明揭示一种机器人，该机器人在一微影设备之一真空腔室内定位一工件。该机器人之一第一组件位于一真空腔室内以沿着一平移轴线而定位一工件。一轴件支撑该第一组件，使得该轴件之一对称轴线垂直于该平移轴线，且一第二组件围绕该对称轴线而旋转该轴件且在平行于该对称轴线之一方向上移动该轴件。该第二组件包括：一气体轴承，该气体轴承经组态以沿着该轴件之一圆周表面而引入气体；及一驱气密封件，该驱气密封件经组态以抽空由该第二组件气体轴承所引入之该气体。该机器人大体上减少或消除烃分子在自约0 a.m.u.至200 a.m.u.之一范围内的释气，因此致使该机器人适合用于极紫外线(EUV)光微影应用中。

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