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1. 发明专利

TW200807182A 諧振掃描鏡 RESONANT SCANNING MIRROR 审中-公开
简体标题：谐振扫描镜 RESONANT SCANNING MIRROR
公开(公告)号：TW200807182A
公开(公告)日：2008-02-01
申请号：TW096121666
申请日：2007-06-15
申请人： ASML控股公司 ASML HOLDING N.V.
发明人：珊提亞哥E. 戴爾普爾托 DEL PUERTO, SANTIAGO E.
IPC分类号： G03F , G03B
CPC分类号： G03F7/704 , G03F7/70041 , G03F7/70425
摘要：本發明揭式一種允許一更有效的同步掃描鏡(SSM)之系統及方法。一微影設備包含一照明系統、一圖案化裝置、一基板台及一投影系統。該照明系統調節從一輻射源接收之一以一第一頻率進行操作的輻射光束。該圖案化裝置將該光束圖案化。該基板台支撐並以一掃描速率掃描一基板。該投影系統包括一掃描裝置,該掃描裝置包括一反射裝置與複數個彎曲部分。該複數個彎曲部分經組態用以允許該反射裝置關於一旋轉軸而諧振。該掃描裝置經組態用以將該圖案化的光束掃描至該基板之一目標區域上。該掃描裝置之諧振頻率實質上等於第一頻率而且與該掃描速率同步。
简体摘要：本发明揭式一种允许一更有效的同步扫描镜(SSM)之系统及方法。一微影设备包含一照明系统、一图案化设备、一基板台及一投影系统。该照明系统调节从一辐射源接收之一以一第一频率进行操作的辐射光束。该图案化设备将该光束图案化。该基板台支撑并以一扫描速率扫描一基板。该投影系统包括一扫描设备,该扫描设备包括一反射设备与复数个弯曲部分。该复数个弯曲部分经组态用以允许该反射设备关于一旋转轴而谐振。该扫描设备经组态用以将该图案化的光束扫描至该基板之一目标区域上。该扫描设备之谐振频率实质上等于第一频率而且与该扫描速率同步。

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