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    • 2. 发明专利
    • 磁阻性隨機存取記憶體及其製造方法
    • 磁阻性随机存取内存及其制造方法
    • TW201721917A
    • 2017-06-16
    • TW105128668
    • 2016-09-05
    • 高通公司QUALCOMM INCORPORATED
    • 呂 育LU, YU陳維川CHEN, WEI CHUAN康 承赫KANG, SEUNG HYUK
    • H01L43/02H01L43/08H01L43/12
    • H01L43/02H01L27/222H01L43/08H01L43/12
    • 本發明提供包括一磁阻性隨機存取記憶體(MRAM)之例示性電路及用於製造該等電路之方法。在一實例中,一電路包括一MRAM。該電路包括一底部互連級中之一底部互連件。該底部互連件經組態以路由超出一磁穿隧接面(MTJ)堆疊之範圍之一信號。該電路包括形成於至少部分地嵌入於該底部互連級中之一底部電極上之該MTJ堆疊。視情況,該電路亦包括囊封該MTJ堆疊之至少一部分的一囊封層。該囊封層亦為用於該底部互連級中之一第二底部互連件之一電遷移帽。該第二底部互連件不為該MTJ堆疊之一部分。視情況,該底部電極與該底部互連件自對準。
    • 本发明提供包括一磁阻性随机存取内存(MRAM)之例示性电路及用于制造该等电路之方法。在一实例中,一电路包括一MRAM。该电路包括一底部互连级中之一底部互连件。该底部互连件经组态以路由超出一磁穿隧接面(MTJ)堆栈之范围之一信号。该电路包括形成于至少部分地嵌入于该底部互连级中之一底部电极上之该MTJ堆栈。视情况,该电路亦包括囊封该MTJ堆栈之至少一部分的一囊封层。该囊封层亦为用于该底部互连级中之一第二底部互连件之一电迁移帽。该第二底部互连件不为该MTJ堆栈之一部分。视情况,该底部电极与该底部互连件自对准。