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2. 发明专利

TW201218217A 一種具結晶重新排列之透明導電薄膜及其形成方法审中-公开
简体标题：一种具结晶重新排列之透明导电薄膜及其形成方法
公开(公告)号：TW201218217A
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW099137203
申请日：2010-10-29
申请人：鋆洤科技股份有限公司
发明人：賴朝松 , 莊浩君 , 楊榮祥 , 張子建 , 李泰鑫 , 蕭育庭 , 許元霖 , 俞亭君 , 石清堉
IPC分类号： H01B
摘要：本發明揭露一種具結晶重新排列之透明導電薄膜的形成方法,包括:提供一塑膠基板;形成一透明導電膜在塑膠基板之一上表面;執行一第一熱處理製程,係將具有透明導電薄膜之塑膠基板置放在具有一第一溫度之一第一熱處理平台上,使得具有透明導電薄膜之塑膠基板透過第一熱處理平台加熱至該第一溫度;以及執行一第二熱處理製程,係將具有第一溫度之具有該透明導電薄膜之塑膠基板置放在具有一第二溫度之一第二熱處理平台上,使得具有透明導電薄膜之塑膠基板透過第二熱處理平台加熱至該第二溫度,藉此,透明導電薄膜之一結晶結構進行重新排列,其中第一溫度小於該第二溫度。
简体摘要：本发明揭露一种具结晶重新排列之透明导电薄膜的形成方法,包括:提供一塑胶基板;形成一透明导电膜在塑胶基板之一上表面;运行一第一热处理制程,系将具有透明导电薄膜之塑胶基板置放在具有一第一温度之一第一热处理平台上,使得具有透明导电薄膜之塑胶基板透过第一热处理平台加热至该第一温度;以及运行一第二热处理制程,系将具有第一温度之具有该透明导电薄膜之塑胶基板置放在具有一第二温度之一第二热处理平台上,使得具有透明导电薄膜之塑胶基板透过第二热处理平台加热至该第二温度,借此,透明导电薄膜之一结晶结构进行重新排列,其中第一温度小于该第二温度。

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