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    • 2. 发明专利
    • 位置檢測裝置、基板製造裝置、位置檢測方法及基板的製造方法
    • 位置检测设备、基板制造设备、位置检测方法及基板的制造方法
    • TW201509688A
    • 2015-03-16
    • TW103122087
    • 2014-06-26
    • 重機自動化系統有限公司JUKI AUTOMATION SYSTEMS CORPORATION
    • 渡邊昭彥WATANABE, AKIHIKO
    • B41F15/12B41F33/00
    • 提供可更正確地由拍攝部拍攝之圖像中之對準標示之位置來算出實際之對準標示之位置之技術 位置檢測裝置是具備拍攝部、記憶部、控制部。上述拍攝部是可在與基準面對向之狀態下沿著上述基準面移動,拍攝位在上述基準面之對準標示。上述記憶部記錄有以上述拍攝部拍攝之圖像之倍率是因應上述拍攝部之位置而定的方式構成之換算資訊。上述控制部是使用記錄在上述記憶部之上述換算資訊,由上述拍攝部之位置、及上述圖像中之上述對準標示之位置,算出上述基準面中之上述對準標示之位置。
    • 提供可更正确地由拍摄部拍摄之图像中之对准标示之位置来算出实际之对准标示之位置之技术 位置检测设备是具备拍摄部、记忆部、控制部。上述拍摄部是可在与基准面对向之状态下沿着上述基准面移动,拍摄位在上述基准面之对准标示。上述记忆部记录有以上述拍摄部拍摄之图像之倍率是因应上述拍摄部之位置而定的方式构成之换算信息。上述控制部是使用记录在上述记忆部之上述换算信息,由上述拍摄部之位置、及上述图像中之上述对准标示之位置,算出上述基准面中之上述对准标示之位置。