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2. 发明专利

TW201037267A 低一致性掃描干涉之掃描誤差修正 SCAN ERROR CORRECTION IN LOW COHERENCE SCANNING INTERFEROMETRY 审中-公开
简体标题：低一致性扫描干涉之扫描误差修正 SCAN ERROR CORRECTION IN LOW COHERENCE SCANNING INTERFEROMETRY
公开(公告)号：TW201037267A
公开(公告)日：2010-10-16
申请号：TW098140066
申请日：2009-11-25
申请人：賽格股份有限公司
发明人：戴維森馬克 , 利森諾珍 , DE 古魯特彼德 , 柯隆納迪雷加塞維爾 , 德克萊思利L
IPC分类号： G01B
CPC分类号： G01B9/0209 , G01B9/02007 , G01B9/0201 , G01B9/02027 , G01B9/02039 , G01B9/02057 , G01B9/02068 , G01B9/02077 , G01B11/2441 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , Y10T29/49002
摘要：本發明提供一種裝置，包括：一寬頻帶掃描干涉系統，包括複數干涉儀光學組件，用以結合來自於一待測物的測試光和來自於一參考物的參考光，而在一偵測器中形成一干涉圖案，其中上述測試光和參考光來自於一共用光源，上述寬頻帶掃描干涉系統更包括一掃瞄平台，用以掃描介於上述測試光和參考光之間之從上述共用光源至上述偵測器的一光程差，以及包括上述偵測器之一偵測器系統，用以紀錄一系列之光程差增量之每一者的干涉圖案，其中每一個上述光程差增量的頻率定義一畫框頻率；上述干涉儀光學組件更用以產生至少二個監測干涉訊號，當掃描上述光程差時，上述監測干涉訊號之每一者表示上述光程差的變化，其中上述偵測系統更用以紀錄上述監測干涉訊號；以及一電子處理器，電性耦接於上述偵測系統和掃瞄平台，用以決定大於上述畫框頻率的頻率時上述光程差增量對擾動靈敏度的資訊。
简体摘要：本发明提供一种设备，包括：一宽带带扫描干涉系统，包括复数干涉仪光学组件，用以结合来自于一待测物的测试光和来自于一参考物的参考光，而在一侦测器中形成一干涉图案，其中上述测试光和参考光来自于一共享光源，上述宽带带扫描干涉系统更包括一扫瞄平台，用以扫描介于上述测试光和参考光之间之从上述共享光源至上述侦测器的一光程差，以及包括上述侦测器之一侦测器系统，用以纪录一系列之光程差增量之每一者的干涉图案，其中每一个上述光程差增量的频率定义一画框频率；上述干涉仪光学组件更用以产生至少二个监测干涉信号，当扫描上述光程差时，上述监测干涉信号之每一者表示上述光程差的变化，其中上述侦测系统更用以纪录上述监测干涉信号；以及一电子处理器，电性耦接于上述侦测系统和扫瞄平台，用以决定大于上述画框频率的频率时上述光程差增量对扰动灵敏度的信息。

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