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    • 2. 发明专利
    • 可調整角度之多軸承載裝置
    • 可调整角度之多轴承载设备
    • TW201621916A
    • 2016-06-16
    • TW103143029
    • 2014-12-10
    • 財團法人金屬工業研究發展中心METAL INDUSTRIES RESEARCH AND DEVELOPMENT CENTRE
    • 洪國凱HUNG, KUO KAI黃加助HUANG, CHIA CHU林輝鴻LIN, HUI HUNG
    • G12B5/00
    • F16M11/043F16M11/121F16M11/18
    • 一種可調整角度之多軸承載裝置,主要是在一固定平台上分別設置至少一第一移動單元、至少一第二移動單元、二第一活動單元、一第一驅動單元,及一第二驅動單元,第一移動單元與第二移動單元及該等第一活動單元並連設一第一量測平台。藉第一、二驅動單元同時分別驅動第一、二移動單元沿X軸向位移相同距離,會連動第一量測平台及兩第一活動單元升降而進行Z軸向位移,當第一、二移動單元沿X軸向位移不同距離時,第一量測平台還會受第一、二移動單元和該等第一活動單元的帶動而呈現Yθ角度傾擺。故可提供高精度之多軸向移動等功效。
    • 一种可调整角度之多轴承载设备,主要是在一固定平台上分别设置至少一第一移动单元、至少一第二移动单元、二第一活动单元、一第一驱动单元,及一第二驱动单元,第一移动单元与第二移动单元及该等第一活动单元并连设一第一量测平台。藉第一、二驱动单元同时分别驱动第一、二移动单元沿X轴向位移相同距离,会连动第一量测平台及两第一活动单元升降而进行Z轴向位移,当第一、二移动单元沿X轴向位移不同距离时,第一量测平台还会受第一、二移动单元和该等第一活动单元的带动而呈现Yθ角度倾摆。故可提供高精度之多轴向移动等功效。