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1. 发明专利

TW201707862A 表面量測裝置及其方法审中-公开
简体标题：表面量测设备及其方法
公开(公告)号：TW201707862A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105126442
申请日：2016-08-18
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：卓嘉弘 , CHO, CHIA-HUNG , 莊凱評 , CHUANG, KAI-PING , 張奕威 , CHANG, YI-WEI
IPC分类号： B24B49/12 , G01B11/30
CPC分类号： G01B11/303 , G01B21/04
摘要：一種表面量測裝置具有旋轉平台、移動桿、量測模組及控制模組。旋轉平台用以設置待測物，且旋轉平台以轉動速度轉動待測物。移動桿位於旋轉平台上方。量測模組位於移動桿上，且量測模組於移動桿上具有多個量測位置。當量測模組位於一個量測位置時，量測模組以取樣頻率對待測物的表面的多個取樣點進行表面高度量測。控制模組依據量測模組位於移動桿上的量測位置，選擇性地調整旋轉平台的轉動速度或調整量測模組的取樣頻率，而使待測物的表面中至少部分區域內的取樣點之間的距離符合取樣規則。
简体摘要：一种表面量测设备具有旋转平台、移动杆、量测模块及控制模块。旋转平台用以设置待测物，且旋转平台以转动速度转动待测物。移动杆位于旋转平台上方。量测模块位于移动杆上，且量测模块于移动杆上具有多个量测位置。当量测模块位于一个量测位置时，量测模块以采样频率对待测物的表面的多个采样点进行表面高度量测。控制模块依据量测模块位于移动杆上的量测位置，选择性地调整旋转平台的转动速度或调整量测模块的采样频率，而使待测物的表面中至少部分区域内的采样点之间的距离符合采样守则。

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