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1. 发明专利

TW201823143A 一種可控制加熱能量的微機電裝置审中-公开
简体标题：一种可控制加热能量的微机电设备
公开(公告)号：TW201823143A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW105143746
申请日：2016-12-29
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：許郁文 , HSU, YU-WEN , 羅英哲 , LO, YING-CHE , 黃肇達 , HUANG, CHAO-TA , 鄧禮濤 , TENG, LI-TAO
IPC分类号： B81B7/02 , H05B1/02 , G01D3/028
摘要：一種可控制加熱能量的微機電裝置，包括感測器以及積體電路晶片。感測器的加熱元件用以加熱感測元件。感測器的偵測元件用以偵測物理量，而積體電路晶片的記憶單元儲存感測元件的目標值。積體電路晶片的資料處理單元將物理量轉換成轉換值，並定義差距值為目標值減去轉換值。另外，積體電路晶片的控制單元依據差距值設定參數值，且驅動單元依據參數值驅動加熱元件以調整加熱元件所產生的熱量，因而能減少加熱元件加熱時間與加熱頻率，以降低電能消耗。微機電裝置可應用於需要控制工作溫度的微機電感測器，例如氣體感測器。
简体摘要：一种可控制加热能量的微机电设备，包括传感器以及集成电路芯片。传感器的加热组件用以加热传感组件。传感器的侦测组件用以侦测物理量，而集成电路芯片的记忆单元存储传感组件的目标值。集成电路芯片的数据处理单元将物理量转换成转换值，并定义差距值为目标值减去转换值。另外，集成电路芯片的控制单元依据差距值设置参数值，且驱动单元依据参数值驱动加热组件以调整加热组件所产生的热量，因而能减少加热组件加热时间与加热频率，以降低电能消耗。微机电设备可应用于需要控制工作温度的微机电传感器，例如气体传感器。

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