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    • 7. 发明专利
    • 微測熱輻射感測器及其製造方法
    • 微测热辐射传感器及其制造方法
    • TW201616105A
    • 2016-05-01
    • TW103136122
    • 2014-10-20
    • 財團法人國家實驗研究院NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATORIES
    • 呂如梅葉文冠
    • G01J5/58G01J5/20
    • 本發明係關於一種微測熱輻射感測器(Microbolometer)及其製造方法,其結構中的吸收膜具有類似波浪之非均勻面特徵,可增加吸收膜之面積而提高微測熱輻射感測器的性能;同時,考量到較佳之吸收膜與反射膜間距為所吸收熱輻射波長之四分之一,因此吸收膜之非均勻面特徵係控制為面體的高低差1.35~1.65微米,較佳為等於1.5微米,使吸收膜與反射膜間距係控制於1~4微米,較佳為2~3.5微米,以增加對於波長8~14微米之熱輻射的吸收率。
    • 本发明系关于一种微测热辐射传感器(Microbolometer)及其制造方法,其结构中的吸收膜具有类似波浪之非均匀面特征,可增加吸收膜之面积而提高微测热辐射传感器的性能;同时,考量到较佳之吸收膜与反射膜间距为所吸收热辐射波长之四分之一,因此吸收膜之非均匀面特征系控制为面体的高低差1.35~1.65微米,较佳为等于1.5微米,使吸收膜与反射膜间距系控制于1~4微米,较佳为2~3.5微米,以增加对于波长8~14微米之热辐射的吸收率。