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1. 发明专利

TW584585B 矽晶圓外周部加工用之斜削輪及其製造方法有权
简体标题：硅晶圆外周部加工用之斜削轮及其制造方法
公开(公告)号：TW584585B
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：TW090133373
申请日：2001-12-31
申请人：諾利塔克股份有限公司 NORITAKE CO., LTD.
发明人：田中吉弘 , 河崎一由
IPC分类号： B24D
摘要：本發明之課題係於金屬盤心之外周部固著有形成1條或複數條溝之磨粒層之矽晶圓外周部加工用之斜削輪中，使磨粒層固著用之接著劑具有導電性，而可採用以輕金屬製或輕金屬合金製之金屬盤心作為金屬盤心，以減輕斜削輪之重量。其解決手段係作成一種斜削輪10，其係使用模具製作環狀磨粒層2a，而該環狀磨粒層2a係使用金屬結合劑或導電性樹脂結合劑作為結合劑者，並藉由具有導電性之接著劑4將環狀磨粒層2a固著於鋁製或鋁合金製之金屬盤心1之外周部，且藉放電加工於磨粒層2a上形成1條或複數條之溝3者。
简体摘要：本发明之课题系于金属盘心之外周部固着有形成1条或复数条沟之磨粒层之硅晶圆外周部加工用之斜削轮中，使磨粒层固着用之接着剂具有导电性，而可采用以轻金属制或轻金属合金制之金属盘心作为金属盘心，以减轻斜削轮之重量。其解决手段系作成一种斜削轮10，其系使用模具制作环状磨粒层2a，而该环状磨粒层2a系使用金属结合剂或导电性树脂结合剂作为结合剂者，并借由具有导电性之接着剂4将环状磨粒层2a固着于铝制或铝合金制之金属盘心1之外周部，且藉放电加工于磨粒层2a上形成1条或复数条之沟3者。

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