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    • 4. 发明专利
    • 雙介電層三閘極場效電晶體 DUAL DIELECTRIC TRI-GATE FIELD EFFECT TRANSISTOR
    • 双介电层三闸极场效应管 DUAL DIELECTRIC TRI-GATE FIELD EFFECT TRANSISTOR
    • TW201133846A
    • 2011-10-01
    • TW099130445
    • 2010-09-09
    • 萬國商業機器公司
    • 張 約瑟芬B張樂藍林崇勳思雷特 傑佛瑞W
    • H01L
    • H01L29/66795H01L21/84H01L27/1203H01L29/785H01L2924/0002H01L2924/00
    • 本發明揭示一種雙介電體三閘極場效電晶體、雙介電體三閘極場效電晶體的製造方法以及操作雙介電體三閘極場效電晶體的方法。在一個具體實施例內,該雙介電體三閘極場效電晶體包含一個基板、該基板上的一個絕緣層以及至少一個半導體鰭。一第一介電體具有一第一介電常數並延伸至該鰭的側壁之上,並且一金屬層延伸至該第一介電體之上。一第二介電體具有一第二介電常數並位於該鰭的一頂端表面上。一閘極電極延伸至該鰭與該第一和第二介電體之上。該閘極電極與該第一介電層形成具有臨界電壓Vt1的第一和第二閘極,並且該閘極電極與該第二介電層形成具有臨界電壓Vt2(與Vt1不同)的第三閘極。
    • 本发明揭示一种双介电体三闸极场效应管、双介电体三闸极场效应管的制造方法以及操作双介电体三闸极场效应管的方法。在一个具体实施例内,该双介电体三闸极场效应管包含一个基板、该基板上的一个绝缘层以及至少一个半导体鳍。一第一介电体具有一第一介电常数并延伸至该鳍的侧壁之上,并且一金属层延伸至该第一介电体之上。一第二介电体具有一第二介电常数并位于该鳍的一顶端表面上。一闸极电极延伸至该鳍与该第一和第二介电体之上。该闸极电极与该第一介电层形成具有临界电压Vt1的第一和第二闸极,并且该闸极电极与该第二介电层形成具有临界电压Vt2(与Vt1不同)的第三闸极。