专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

TW201706724A 著色感知最佳化审中-公开
简体标题：着色感知最优化
公开(公告)号：TW201706724A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW105114462
申请日：2016-05-10
申请人： ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：鄒毅 , ZOU, YI , 蘇靜 , SU, JING , 蘇洽羅伯特約翰 , SOCHA, ROBERT JOHN , 史賓斯克里斯多福艾倫 , SPENCE, CHRISTOPHER ALAN , 徐端孚 , HSU, DUAN-FU STEPHEN
IPC分类号： G03F7/20 , G06F17/50
CPC分类号： G03F7/70433 , G03F7/70466
摘要：本文中揭示一種電腦實施方法，其包含：獲得包含為一效能限制點之一區域之一子佈局；調整該區域中之圖案之顏色；判定該區域是否仍為效能限制點。另一方法包含：將一設計佈局中之圖案分解成多個子佈局；針對該等子佈局中之一者中之至少一個區域，判定一優值超出其所允許範圍之似然性；若該似然性高於一臨限值，則彼一個子佈局具有一效能限制點。所揭示之又一方法包含：獲得包含一第一圖案群組及一第二圖案群組之一設計佈局，其中不允許該第一圖案群組之顏色改變且允許該第二圖案群組之顏色改變；共同最佳化至少該第一圖案群組、該第二圖案群組及一微影裝置之一源。
简体摘要：本文中揭示一种电脑实施方法，其包含：获得包含为一性能限制点之一区域之一子布局；调整该区域中之图案之颜色；判定该区域是否仍为性能限制点。另一方法包含：将一设计布局中之图案分解成多个子布局；针对该等子布局中之一者中之至少一个区域，判定一优值超出其所允许范围之似然性；若该似然性高于一临限值，则彼一个子布局具有一性能限制点。所揭示之又一方法包含：获得包含一第一图案群组及一第二图案群组之一设计布局，其中不允许该第一图案群组之颜色改变且允许该第二图案群组之颜色改变；共同最优化至少该第一图案群组、该第二图案群组及一微影设备之一源。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式