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    • 1. 发明专利
    • 太陽能電池透明導電膜上實施電鍍製程的方法
    • 太阳能电池透明导电膜上实施电镀制程的方法
    • TW201742261A
    • 2017-12-01
    • TW105115394
    • 2016-05-18
    • 茂迪股份有限公司MOTECH INDUSTRIES INC.
    • 蔡耿維TSAI, KENG-WEI高武羣KAO, WU-CHUN蔣天福CHIANG, TIAN-FU程立偉CHENG, LI-WEI
    • H01L31/18
    • 一種於太陽能電池透明導電膜上實施電鍍製程的方法,包含:於一透明導電膜上形成一阻障層;於該阻障層上形成一第一遮罩,其中該第一遮罩局部覆蓋該阻障層;對該阻障層進行蝕刻,以移除未被該第一遮罩覆蓋的部分,並殘留下被該第一遮罩覆蓋的部分;移除該第一遮罩,以裸露出該殘留的阻障層;於該透明導電膜上形成一第二遮罩,其中該第二遮罩具有一開口,裸露出該殘留的阻障層的至少一部份;於該開口中的阻障層上電鍍形成一銅層;於該銅層上電鍍形成一保護層;以及於該保護層形成後移除該第二遮罩。
    • 一种于太阳能电池透明导电膜上实施电镀制程的方法,包含:于一透明导电膜上形成一阻障层;于该阻障层上形成一第一遮罩,其中该第一遮罩局部覆盖该阻障层;对该阻障层进行蚀刻,以移除未被该第一遮罩覆盖的部分,并残留下被该第一遮罩覆盖的部分;移除该第一遮罩,以裸露出该残留的阻障层;于该透明导电膜上形成一第二遮罩,其中该第二遮罩具有一开口,裸露出该残留的阻障层的至少一部份;于该开口中的阻障层上电镀形成一铜层;于该铜层上电镀形成一保护层;以及于该保护层形成后移除该第二遮罩。