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    • 2. 发明专利
    • 在共同的幫浦軸上具有渦輪分子幫浦和升壓幫浦的質譜檢漏器
    • 在共同的帮浦轴上具有涡轮分子帮浦和升压帮浦的质谱检漏器
    • TW201802444A
    • 2018-01-16
    • TW106119828
    • 2017-06-14
    • 英飛康股份有限公司INFICON GMBH
    • 葛瑞布利 維爾納GROSSE BLEY, WERNER玻姆 湯瑪士BOEHM, THOMAS布朗 傑瑪BRUHNS, HJALMAR
    • G01M3/02G01M3/04F04D19/04
    • F04D19/042F04D19/046F04D25/16F04D29/104G01M3/205
    • 質譜檢漏器包含一多級渦輪分子幫浦(12)、連接多級渦輪分子幫浦(12)的抽吸側的一質量光譜儀(17)、連接多級渦輪分子幫浦(17)的加壓側的一後段幫浦(18)以及一升壓幫浦級(24)。升壓幫浦級(24)的抽吸側具有一待測試的測試對象的一連接器 (28),加壓側透過一氣體連通路徑(22)連接至多級渦輪分子幫浦(12)的加壓側以及後段幫浦(18)的抽吸側。質譜檢漏器的特徵在於多級渦輪分子幫浦(12)的多個幫浦級(30, 32)和升壓幫浦級排列在一共同的幫浦軸上以及共享一共同的傳動裝置(34),一分隔物(36)阻斷適於連接至測試對象的升壓幫浦級的加壓側與多級渦輪分子幫浦級(12)連接至質量光譜儀(17)的幫浦級的抽吸側之間的氣體連通路徑。
    • 质谱检漏器包含一多级涡轮分子帮浦(12)、连接多级涡轮分子帮浦(12)的抽吸侧的一质量光谱仪(17)、连接多级涡轮分子帮浦(17)的加压侧的一后段帮浦(18)以及一升压帮浦级(24)。升压帮浦级(24)的抽吸侧具有一待测试的测试对象的一连接器 (28),加压侧透过一气体连通路径(22)连接至多级涡轮分子帮浦(12)的加压侧以及后段帮浦(18)的抽吸侧。质谱检漏器的特征在于多级涡轮分子帮浦(12)的多个帮浦级(30, 32)和升压帮浦级排列在一共同的帮浦轴上以及共享一共同的传动设备(34),一分隔物(36)阻断适于连接至测试对象的升压帮浦级的加压侧与多级涡轮分子帮浦级(12)连接至质量光谱仪(17)的帮浦级的抽吸侧之间的气体连通路径。