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    • 4. 发明专利
    • 超高性能的中介層
    • 超高性能的中介层
    • TW201637530A
    • 2016-10-16
    • TW105121540
    • 2014-08-07
    • 英凡薩斯公司INVENSAS CORPORATION
    • 烏若 席普倫 亞梅卡UZOH, CYPRIAN EMEKA孫卓文SUN, ZHUOWEN
    • H05K1/11H05K3/42
    • H01L23/5226H01L21/486H01L21/76802H01L21/7682H01L23/147H01L23/481H01L23/49827H01L2924/0002H01L2924/00
    • 本案為一種互連元件包含:一半導體材料層,該半導體材料層具有一第一表面與相對於該第一表面的一第二表面,該第二表面在一第一方向中與該第一表面間隔;至少二金屬通孔延伸通過該半導體材料層;一第一對金屬通孔,至少由二金屬通孔構成,係在一第二方向中彼此間隔,該第二方向垂直於該第一方向;在該半導體層中的一第一絕緣通孔從該第一表面延伸朝向該第二表面;該絕緣通孔之設置,使得該絕緣通孔的一幾何中心位於垂直於該第二方向的二平面之間,且該等二平面通過該第一對的該等至少二金屬通孔的每一者。一介電材料至少部分充填該第一絕緣通孔或至少部分圍繞該絕緣通孔中的一空隙。
    • 本案为一种互连组件包含:一半导体材料层,该半导体材料层具有一第一表面与相对于该第一表面的一第二表面,该第二表面在一第一方向中与该第一表面间隔;至少二金属通孔延伸通过该半导体材料层;一第一对金属通孔,至少由二金属通孔构成,系在一第二方向中彼此间隔,该第二方向垂直于该第一方向;在该半导体层中的一第一绝缘通孔从该第一表面延伸朝向该第二表面;该绝缘通孔之设置,使得该绝缘通孔的一几何中心位于垂直于该第二方向的二平面之间,且该等二平面通过该第一对的该等至少二金属通孔的每一者。一介电材料至少部分充填该第一绝缘通孔或至少部分围绕该绝缘通孔中的一空隙。