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1. 发明专利

TW201329437A 照明裝置、照明方法及檢查裝置审中-公开
简体标题：照明设备、照明方法及检查设备
公开(公告)号：TW201329437A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW101144468
申请日：2012-11-28
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI , 瀧澤明彥 , TAKIZAWA, AKIHIKO
IPC分类号： G01N21/892
CPC分类号： H05B37/02 , H05B41/3928 , Y02B20/202
摘要：本發明之課題係提供一種照明裝置，即使使用對於切換設定光量之響應性較差的照明單元，也可在切換設定光量時使照明光量以較短的時間成為目標光量。本發明所提供之解決手段係成為具有如下元件之構成：第1照明單元，係以因應了設定光量的照明光量來照明被照明體者；第2照明單元，係對於切換設定光量之響應性較前述第1照明單元佳，且以與來自第1照明單元之照明光重疊的照明光來照明前述被照明體者；及照明控制手段，係一面將第1照明單元之照明光量維持為預定量，一面藉由依照了控制資訊的設定光量之切換，來控制第2照明單元之照明光量。
简体摘要：本发明之课题系提供一种照明设备，即使使用对于切换设置光量之响应性较差的照明单元，也可在切换设置光量时使照明光量以较短的时间成为目标光量。本发明所提供之解决手段系成为具有如下组件之构成：第1照明单元，系以因应了设置光量的照明光量来照明被照明体者；第2照明单元，系对于切换设置光量之响应性较前述第1照明单元佳，且以与来自第1照明单元之照明光重叠的照明光来照明前述被照明体者；及照明控制手段，系一面将第1照明单元之照明光量维持为预定量，一面借由依照了控制信息的设置光量之切换，来控制第2照明单元之照明光量。

2. 发明专利

TW201333453A 檢查裝置及檢查方法审中-公开
简体标题：检查设备及检查方法
公开(公告)号：TW201333453A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：TW101144466
申请日：2012-11-28
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI , 瀧澤明彥 , TAKIZAWA, AKIHIKO
IPC分类号： G01N21/95 , H04N5/235
CPC分类号： H04N7/18 , G01N21/896
摘要：本發明之課題在於：即使使用當將設定光量切換至目標光量時照明光量到達前述目標光量為止所須的時間較長的照明裝置，在照明裝置之照明到達目標光量前就開始檢查，也可進行較過去精度佳的檢查。本發明係一種對於以將由照明裝置照明之被檢查體攝影而得的圖像資料所表示的被檢查體之圖像，進行檢查處理的檢查裝置，其構成為：具有處理資訊決定手段，該處理資訊決定手段係定下如下之處理資訊者：該處理資訊係使用於當前述照明裝置之設定光量從初期光量切換至目標光量之際，來自前述照明裝置的照明光量會隨著從前述初期光量至前述目標光量為止的時間變化而變化的前述檢查處理者，並且，使用如下述之處理資訊來進行前述檢查處理，該處理資訊係因應自前述照明裝置之前述設定光量切換至前述目標光量時開始的經過時間而在前述處理資訊決定步驟所定下者。
简体摘要：本发明之课题在于：即使使用当将设置光量切换至目标光量时照明光量到达前述目标光量为止所须的时间较长的照明设备，在照明设备之照明到达目标光量前就开始检查，也可进行较过去精度佳的检查。本发明系一种对于以将由照明设备照明之被检查体摄影而得的图像数据所表示的被检查体之图像，进行检查处理的检查设备，其构成为：具有处理信息决定手段，该处理信息决定手段系定下如下之处理信息者：该处理信息系使用于当前述照明设备之设置光量从初期光量切换至目标光量之际，来自前述照明设备的照明光量会随着从前述初期光量至前述目标光量为止的时间变化而变化的前述检查处理者，并且，使用如下述之处理信息来进行前述检查处理，该处理信息系因应自前述照明设备之前述设置光量切换至前述目标光量时开始的经过时间而在前述处理信息决定步骤所定下者。

3. 发明专利

TW201305527A 貼合板狀體檢查裝置及方法审中-公开
简体标题：贴合板状体检查设备及方法
公开(公告)号：TW201305527A
公开(公告)日：2013-02-01
申请号：TW101121770
申请日：2012-06-18
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI
IPC分类号： G01B11/00
摘要：本發明之課題係提供一種可獲得以下資訊之貼合板狀體檢查裝置，即：可針對散佈在接著劑中的多數氣泡，以良好之精度表示其尺寸者，又，構成為包含有：線感測器攝影機；照明機構，係透過貼合板狀體，朝線感測器攝影機照明者；及處理單元，係處理於藉由前述照明機構進行照明之狀態下線感測器攝影機掃描前述貼合板狀體時輸出自該線感測器攝影機之影像信號者；前述處理單元係自獲得自檢查圖像資訊將暗環橫切的方向之濃淡值剖面，根據對應於前述暗環之2個暗部間於檢查圖像上之距離，生成氣泡尺寸資訊，且前述檢查圖像資訊係根據來自前述線感測器攝影機之影像信號而生成，並由像素單位之濃淡值所構成。
简体摘要：本发明之课题系提供一种可获得以下信息之贴合板状体检查设备，即：可针对散布在接着剂中的多数气泡，以良好之精度表示其尺寸者，又，构成为包含有：线传感器摄影机；照明机构，系透过贴合板状体，朝线传感器摄影机照明者；及处理单元，系处理于借由前述照明机构进行照明之状态下线传感器摄影机扫描前述贴合板状体时输出自该线传感器摄影机之影像信号者；前述处理单元系自获得自检查图像信息将暗环横切的方向之浓淡值剖面，根据对应于前述暗环之2个暗部间于检查图像上之距离，生成气泡尺寸信息，且前述检查图像信息系根据来自前述线传感器摄影机之影像信号而生成，并由像素单位之浓淡值所构成。

4. 发明专利

TW201303284A 貼合板狀體檢查裝置及方法审中-公开
简体标题：贴合板状体检查设备及方法
公开(公告)号：TW201303284A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101115762
申请日：2012-05-03
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI
IPC分类号： G01N21/88
摘要：本發明之課題係提供即使於貼合板狀體之周邊部有不透光區域，亦可將該周邊部之接著劑之狀態與接著劑內之氣泡及異物一同顯現之貼合板狀體檢查裝置。本發明結構係包含有線型感測器照相機、第1照明機構及第2照明機構，該第1照明機構係從貼合板狀體之第1板狀體側，照明該貼合板狀體之表面者；該第2照明機構係從貼合板狀體之第2板狀體側朝線型感測器照相機照明者；又，第1照明機構從貼合板狀體之上方傾斜地照明離開在貼合板狀體之表面之拍攝線預定距離且於沿著該拍攝線之方向延伸的預定區域，並在進行第1照明機構及第2照明機構所作之照明之狀態下，線型感測器照相機掃瞄貼合板狀體，藉此，可生成檢查圖像。
简体摘要：本发明之课题系提供即使于贴合板状体之周边部有不透光区域，亦可将该周边部之接着剂之状态与接着剂内之气泡及异物一同显现之贴合板状体检查设备。本发明结构系包含有线型传感器照相机、第1照明机构及第2照明机构，该第1照明机构系从贴合板状体之第1板状体侧，照明该贴合板状体之表面者；该第2照明机构系从贴合板状体之第2板状体侧朝线型传感器照相机照明者；又，第1照明机构从贴合板状体之上方倾斜地照明离开在贴合板状体之表面之拍摄线预定距离且于沿着该拍摄线之方向延伸的预定区域，并在进行第1照明机构及第2照明机构所作之照明之状态下，线型传感器照相机扫瞄贴合板状体，借此，可生成检查图像。

5. 发明专利

TWI456189B 基板檢查裝置、基板檢查方法及該基板檢查裝置之調整方法有权
简体标题：基板检查设备、基板检查方法及该基板检查设备之调整方法
公开(公告)号：TWI456189B
公开(公告)日：2014-10-11
申请号：TW101112614
申请日：2012-04-10
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：松嶋大輔 , MATSUSHIMA, DAISUKE , 武藤真 , MUTO, MAKOTO , 林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 森秀樹 , MORI, HIDEKI
IPC分类号： G01N21/88 , H01L21/66

6. 发明专利

TW201300765A 基板檢查裝置、基板檢查方法及該基板檢查裝置之調整方法审中-公开
简体标题：基板检查设备、基板检查方法及该基板检查设备之调整方法
公开(公告)号：TW201300765A
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW101112614
申请日：2012-04-10
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：松嶋大輔 , MATSUSHIMA, DAISUKE , 武藤真 , MUTO, MAKOTO , 林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 森秀樹 , MORI, HIDEKI
IPC分类号： G01N21/88 , H01L21/66
摘要：本發明之課題係提供即使於貼合之2個基板層之其中任一者有檢查光不透過之部份，仍可檢查可能於貼合界面產生之微小空洞的基板檢查裝置。本發明結構為包含有光源單元及線型感測器照相機，該光源單元係將檢查光照射成帶狀且對基板之表面傾斜地入射者；該線型感測器照相機係夾著以前述檢查光形成於前述基板之表面之帶狀照明區域且配置於與光源單元相反之側之預定位置者；又，於照明單元及線型感測器照相機與基板相對移動之際，依據從線型感測器照相機輸出之影像信號，生成基板圖像資訊，依據基板圖像資訊，生成對可能於基板之第1基板層與第2基板層之界面產生之微小空洞的檢查結果資訊。
简体摘要：本发明之课题系提供即使于贴合之2个基板层之其中任一者有检查光不透过之部份，仍可检查可能于贴合界面产生之微小空洞的基板检查设备。本发明结构为包含有光源单元及线型传感器照相机，该光源单元系将检查光照射成带状且对基板之表面倾斜地入射者；该线型传感器照相机系夹着以前述检查光形成于前述基板之表面之带状照明区域且配置于与光源单元相反之侧之预定位置者；又，于照明单元及线型传感器照相机与基板相对移动之际，依据从线型传感器照相机输出之影像信号，生成基板图像信息，依据基板图像信息，生成对可能于基板之第1基板层与第2基板层之界面产生之微小空洞的检查结果信息。

7. 发明专利

TWI499770B 貼合板狀體檢查裝置及方法有权
简体标题：贴合板状体检查设备及方法
公开(公告)号：TWI499770B
公开(公告)日：2015-09-11
申请号：TW101115762
申请日：2012-05-03
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI
IPC分类号： G01N21/88

8. 发明专利

TWI485358B 貼合板狀體檢查裝置及方法有权
简体标题：贴合板状体检查设备及方法
公开(公告)号：TWI485358B
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：TW101121770
申请日：2012-06-18
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI
IPC分类号： G01B11/00

9. 发明专利

TWI449877B 貼合板狀體檢查裝置及方法有权
简体标题：贴合板状体检查设备及方法
公开(公告)号：TWI449877B
公开(公告)日：2014-08-21
申请号：TW101129357
申请日：2012-08-14
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI
IPC分类号： G01B11/00 , G02F1/13

10. 发明专利

TW201314170A 貼合板狀體檢查裝置及方法审中-公开
简体标题：贴合板状体检查设备及方法
公开(公告)号：TW201314170A
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：TW101129357
申请日：2012-08-14
申请人：芝浦機械電子裝置股份有限公司 , SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：林義典 , HAYASHI, YOSHINORI , 若葉博之 , WAKABA, HIROSHI , 井筒紀 , IZUTSU, OSAMU , 權藤隆德 , GONDO, TAKANORI , 小野洋子 , ONO, YOKO , 關勝利 , SEKI, KATSUTOSHI
IPC分类号： G01B11/00 , G02F1/13
摘要：本發明係提供一種貼合板狀體檢查裝置，可較輕易檢查貼合板狀體之板狀体之緣端與黏著劑之緣端之間之間隔。本發明之貼合板狀體檢查裝置包含線掃描攝影機、照明機構、可處理在藉照明機構進行照明之狀態下掃瞄貼合板狀體之線掃描攝影機所輸出之影像訊號之處理單元，處理單元並包含可基於前述影像訊號而生成像素單位之濃淡值所構成之檢查影像資訊之檢查影像資訊生成機構、可基於得自前述檢查影像資訊之橫貫第1板狀體之緣端之檢查線上之濃淡值曲線而生成代表檢查線上之第1板狀體之緣端與黏著劑之緣端之間隔之緣端間距離資訊之緣端間距離資訊生成機構，而構成可提供基於前述緣端間距離資訊之檢查結果。
简体摘要：本发明系提供一种贴合板状体检查设备，可较轻易检查贴合板状体之板状体之缘端与黏着剂之缘端之间之间隔。本发明之贴合板状体检查设备包含线扫描摄影机、照明机构、可处理在藉照明机构进行照明之状态下扫瞄贴合板状体之线扫描摄影机所输出之影像信号之处理单元，处理单元并包含可基于前述影像信号而生成像素单位之浓淡值所构成之检查影像信息之检查影像信息生成机构、可基于得自前述检查影像信息之横贯第1板状体之缘端之检查在线之浓淡值曲线而生成代表检查在线之第1板状体之缘端与黏着剂之缘端之间隔之缘端间距离信息之缘端间距离信息生成机构，而构成可提供基于前述缘端间距离信息之检查结果。

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