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    • 4. 发明专利
    • 佈局圖案分割方法
    • 布局图案分割方法
    • TW201608332A
    • 2016-03-01
    • TW103128354
    • 2014-08-18
    • 聯華電子股份有限公司UNITED MICROELECTRONICS CORP.
    • 湯志賢TANG, CHIH HSIEN范耀仁FAN, YAO JEN林金隆LIN, CHIN LUNG
    • G03F1/68G06F17/50
    • G03F1/70G03F7/70433G03F7/70466G06F17/5081
    • 一種佈局圖案分割方法,該佈局圖案分割方法包含有以下步驟:接收一佈局圖案,其包含有複數個特徵物,且該等特徵物之間分別形成有一邊對邊間距。接下來分別計算該邊對邊間距之寬度與該邊對邊間距左側之該特徵物之寬度的總和以及該邊對邊間距之寬度與該邊對邊間距右側之該特徵物之寬度的總和,隨後分別比對該等總和與一預定值,當任一該總和小於該預定值時,分別給予該邊對邊間距兩側之該等特徵物一第一顏色與一第二顏色。之後,分派具有該第一顏色之該等特徵物至一第一圖案,以及分派具有該第二顏色之該等特徵物至一第二圖案。
    • 一种布局图案分割方法,该布局图案分割方法包含有以下步骤:接收一布局图案,其包含有复数个特征物,且该等特征物之间分别形成有一边对边间距。接下来分别计算该边对边间距之宽度与该边对边间距左侧之该特征物之宽度的总和以及该边对边间距之宽度与该边对边间距右侧之该特征物之宽度的总和,随后分别比对该等总和与一预定值,当任一该总和小于该预定值时,分别给予该边对边间距两侧之该等特征物一第一颜色与一第二颜色。之后,分派具有该第一颜色之该等特征物至一第一图案,以及分派具有该第二颜色之该等特征物至一第二图案。