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    • 3. 发明专利
    • 可防止晶圓被機械手臂拖出之晶舟
    • 可防止晶圆被机械手臂拖出之晶舟
    • TW473900B
    • 2002-01-21
    • TW090107285
    • 2001-03-28
    • 聯華電子股份有限公司
    • 林明機宋啓瑞
    • H01L
    • 一種可防止晶圓被機械手臂拖出之晶舟,其主要包括具一晶圓進出開口之一框體。此框體至少包括一頂座、一底座、複數支互相平行分隔之第一垂直柱體及複數支互相平行分隔之第二垂直柱體。此些第一垂直柱體係裝設於此項座與底座之間之框體一例,複數個互相平行間隔之第一載片係堆疊裝設於此些第一垂直柱體上,每一第一載片於靠近該晶圓進出開口處設有一第一凸塊。此些第二垂直柱體係相應第一垂直柱體裝設於框體另一例,複數個相應第一載片之第二載片係堆疊裝設於此些第二垂直柱體上,每一第二載片相應第一載片設有第二凸塊。
    • 一种可防止晶圆被机械手臂拖出之晶舟,其主要包括具一晶圆进出开口之一框体。此框体至少包括一顶座、一底座、复数支互相平行分隔之第一垂直柱体及复数支互相平行分隔之第二垂直柱体。此些第一垂直柱体系装设于此项座与底座之间之框体一例,复数个互相平行间隔之第一载片系堆栈装设于此些第一垂直柱体上,每一第一载片于靠近该晶圆进出开口处设有一第一凸块。此些第二垂直柱体系相应第一垂直柱体装设于框体另一例,复数个相应第一载片之第二载片系堆栈装设于此些第二垂直柱体上,每一第二载片相应第一载片设有第二凸块。