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1. 发明专利

TW201643382A 具有用於流體成份補償之微機電系統熱流感測器审中-公开
简体标题：具有用于流体成份补偿之微机电系统热流传感器
公开(公告)号：TW201643382A
公开(公告)日：2016-12-16
申请号：TW105105162
申请日：2016-02-22
申请人：美新公司 , MEMSIC, INC.
发明人：麥基尼斯湯瑪士O , MAGINNIS, THOMAS O. , 彭南洲 , PERN, NAN JOU , 趙正欣 , ZHAO, ZHENGXIN , 蔡永耀 , CAI, YONGYAO , 趙陽 , ZHAO, YANG
IPC分类号： G01F1/684
CPC分类号： G01F1/6845 , G01F1/36 , G01F1/688 , G01F15/046 , G01F25/0053 , G01N11/08
摘要：本發明提供一種用於量測一流體之流率而不需要針對彼特定流體校準流量感測器之MEMS熱流感測器或熱流表。藉由針對已知熱擴散率之一校準流體繪製感測器輸出電壓與體積流率除以流體熱擴散率之關係曲線圖而判定一回應曲線，且將回應曲線資料儲存於記憶體中。採用一轉換因子來提供一未知流體之正確流率之一量測。自該校準流體之熱時間常數對該所量測流體之熱時間常數之比率導出此轉換因子，在零流量下量測該等時間常數。將此等時間常數儲存於記憶體中。由處理器利用此轉換因子連同回應曲線資料以產生該正確流率。本發明亦囊括一種用於量測不同性質之流體之流體流率而不需要針對每一流體進行一單獨流量校準的方法。
简体摘要：本发明提供一种用于量测一流体之流率而不需要针对彼特定流体校准流量传感器之MEMS热流传感器或热流表。借由针对已知热扩散率之一校准流体绘制传感器输出电压与体积流率除以流体热扩散率之关系曲线图而判定一回应曲线，且将回应曲线数据存储于内存中。采用一转换因子来提供一未知流体之正确流率之一量测。自该校准流体之热时间常数对该所量测流体之热时间常数之比率导出此转换因子，在零流量下量测该等时间常数。将此等时间常数存储于内存中。由处理器利用此转换因子连同回应曲线数据以产生该正确流率。本发明亦囊括一种用于量测不同性质之流体之流体流率而不需要针对每一流体进行一单独流量校准的方法。

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