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2. 发明专利

TW201829986A 用於寬範圍質量流驗證之方法及裝置审中-公开
简体标题：用于宽范围质量流验证之方法及设备
公开(公告)号：TW201829986A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：TW106142726
申请日：2017-12-06
申请人：美商MKS儀器股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁君華 , DING, JUNHUA , 雷貝西麥可 , L'BASSI, MICHAEL , 科爾韋恩 , COLE, WAYNE
IPC分类号： G01F15/04 , G01F22/02
摘要：一種具空間效益且在寬範圍的流率上針對未知流體來驗證流率之質量流驗證器(MFV)包含：腔室，被建構成用以接收流體；臨界流噴嘴，連接至該腔室；及第一與第二壓力感應器，分別地偵測在腔室中及該臨界流噴嘴之上游處的流體壓力。該MFV之控制器被建構成用以藉由以下操作來驗證該流體之流率：(i)在第一流量範圍中，基於由該第一壓力感應器所偵測之該流體壓力的上升率來量測第一流率且基於由該第一及第二壓力感應器所偵測之壓力來判定該流體之氣體性質函數，及(ii)在第二流量範圍中，基於由該第二壓力感應器所偵測之壓力及該判定的氣體性質函數來量測第二流率。
简体摘要：一种具空间效益且在宽范围的流率上针对未知流体来验证流率之质量流验证器(MFV)包含：腔室，被建构成用以接收流体；临界流喷嘴，连接至该腔室；及第一与第二压力感应器，分别地侦测在腔室中及该临界流喷嘴之上游处的流体压力。该MFV之控制器被建构成用以借由以下操作来验证该流体之流率：(i)在第一流量范围中，基于由该第一压力感应器所侦测之该流体压力的上升率来量测第一流率且基于由该第一及第二压力感应器所侦测之压力来判定该流体之气体性质函数，及(ii)在第二流量范围中，基于由该第二压力感应器所侦测之压力及该判定的气体性质函数来量测第二流率。

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