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    • 3. 发明专利
    • 具有改良的耦合閘極搭接機構之分裂閘極非依電性浮動閘極記憶體胞元陣列
    • 具有改良的耦合闸极搭接机构之分裂闸极非依电性浮动闸极内存胞元数组
    • TW201340298A
    • 2013-10-01
    • TW101140510
    • 2012-11-01
    • 超捷公司SILICON STORAGE TECHNOLOGY, INC.
    • 加薩威 帕維茲GHAZAVI, PARVIZ陳曉萬TRAN, HIEU VAN王序倫WANG, SHIUH LUEN杜恩漢DO, NHAN歐姆 麻尼 亨利AOM'MANI, HENRY A.
    • H01L27/115H01L23/52
    • H01L27/0207H01L21/28273H01L27/11519H01L27/11521H01L29/42328H01L29/66825H01L29/7885
    • 一種非依電性記憶體胞元陣列具有一具一頂面之第一傳導型半導體基體。數個間隔的第二傳導型第一區域係於該基體中沿著該頂面。每個第一區域於列方向上延伸。數個間隔的第二傳導型第二區域係於該基體中沿著該頂面。每個第二區域係在垂直於列方向之行方向上,與一相關聯的第一區域間隔。一通道區域於行方向上界定於每個第二區域與其相關聯的第一區域之間。每個通道區域具有一第一部分與一第二部分。數個間隔的字元線閘極以列方向延伸。每個字元線閘極位於通道區域的該第一部分上方且與之絕緣,通道區域的每個第一部分緊鄰於該第二區域。數個間隔的浮動閘極位於該通道區域的該第二部分上方且與之絕緣。數個間隔的耦合閘極以列方向延伸,每個耦合閘極延伸於數個浮動閘極上方且與之絕緣。數個間隔的金屬搭接線以列方向延伸,每條金屬搭接線與一耦合閘極相關聯且覆於其上。一第一金屬搭接線於第一列在數個第一位置電氣連接至相關聯位在下方的耦合閘極。一第二金屬搭接線於一緊鄰於該第一列之列中在數個第二位置電氣連接至相關聯位在下方的耦合閘極。該等第一位置與該等第二位置不在相同行上。數個間隔的抹除閘極以列方向延伸,每個抹除閘極位於一第一區域上方且與之絕緣,以及鄰近於且絕緣於一浮動閘極與一耦合閘極。
    • 一种非依电性内存胞元数组具有一具一顶面之第一传导型半导体基体。数个间隔的第二传导型第一区域系于该基体中沿着该顶面。每个第一区域于列方向上延伸。数个间隔的第二传导型第二区域系于该基体中沿着该顶面。每个第二区域系在垂直于列方向之行方向上,与一相关联的第一区域间隔。一信道区域于行方向上界定于每个第二区域与其相关联的第一区域之间。每个信道区域具有一第一部分与一第二部分。数个间隔的字符线闸极以列方向延伸。每个字符线闸极位于信道区域的该第一部分上方且与之绝缘,信道区域的每个第一部分紧邻于该第二区域。数个间隔的浮动闸极位于该信道区域的该第二部分上方且与之绝缘。数个间隔的耦合闸极以列方向延伸,每个耦合闸极延伸于数个浮动闸极上方且与之绝缘。数个间隔的金属搭接线以列方向延伸,每条金属搭接线与一耦合闸极相关联且覆于其上。一第一金属搭接线于第一列在数个第一位置电气连接至相关联位在下方的耦合闸极。一第二金属搭接线于一紧邻于该第一列之列中在数个第二位置电气连接至相关联位在下方的耦合闸极。该等第一位置与该等第二位置不在相同行上。数个间隔的抹除闸极以列方向延伸,每个抹除闸极位于一第一区域上方且与之绝缘,以及邻近于且绝缘于一浮动闸极与一耦合闸极。