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1. 发明专利

TW201840877A 用於處理基板的方法及設備审中-公开
简体标题：用于处理基板的方法及设备
公开(公告)号：TW201840877A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107100265
申请日：2018-01-04
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：斯瓦米納坦巴拉特 , SWAMINATHAN, BHARATH , 吳寒冰 , WU, HANBING , 瑪索可約翰 , MAZZOCCO, JOHN
IPC分类号： C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/54 , C23C14/56 , C23C14/58
摘要：本文揭露了用於退火基板的方法及設備的實施例。在一些實施例中，基板支撐件包括基板支撐底座，該基板支撐底座具有支撐基板的上表面及相對的底表面，其中該基板支撐底座由對輻射透明的材料形成；燈組件，該燈組件經設置在該基板支撐底座下方及具有經配置成加熱該基板的複數個燈；底座支撐件，該底座支撐件延伸穿過該燈組件以與該複數個燈間隔開的一關係來支撐該基板支撐底座；軸，該軸經耦接至該底座支撐件之與第一端相對的第二端；及旋轉組件，該旋轉組件經耦接至與該底座支撐件相對的軸，以相對於該燈組件旋轉該軸、該底座支撐件及該基板支撐底座。
简体摘要：本文揭露了用于退火基板的方法及设备的实施例。在一些实施例中，基板支撑件包括基板支撑底座，该基板支撑底座具有支撑基板的上表面及相对的底表面，其中该基板支撑底座由对辐射透明的材料形成；灯组件，该灯组件经设置在该基板支撑底座下方及具有经配置成加热该基板的复数个灯；底座支撑件，该底座支撑件延伸穿过该灯组件以与该复数个灯间隔开的一关系来支撑该基板支撑底座；轴，该轴经耦接至该底座支撑件之与第一端相对的第二端；及旋转组件，该旋转组件经耦接至与该底座支撑件相对的轴，以相对于该灯组件旋转该轴、该底座支撑件及该基板支撑底座。

2. 发明专利

TW201833351A 具有浮動遮蔽環的製程套件审中-公开
简体标题：具有浮动屏蔽环的制程套件
公开(公告)号：TW201833351A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106139809
申请日：2017-11-17
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：喬韓森威廉 , JOHANSON, WILLIAM , 許紹杰 , HOI, SIEW KIT , 瑪索可約翰 , MAZZOCCO, JOHN , 沙芬戴亞基倫古莫 , SAVANDAIAH, KIRANKUMAR , 卜拉布布拉尚 , PRABHU, PRASHANT
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01J37/34
摘要：本文中提供了製程套件及併入該等製程套件的製程腔室的實施例。在某些實施例中，一種製程套件包括：一配接器，具有一配接器主體及相對於該配接器主體在徑向向內方向之處的一罩部；一傳熱通道，形成於該配接器主體中；一遮蔽環，耦接到該配接器，使得該配接器的該罩部延伸於該遮蔽環的一部分上方；及一陶瓷絕緣體，安置在該遮蔽環及該配接器之間以將該遮蔽環與該配接器電隔離。
简体摘要：本文中提供了制程套件及并入该等制程套件的制程腔室的实施例。在某些实施例中，一种制程套件包括：一配接器，具有一配接器主体及相对于该配接器主体在径向向内方向之处的一罩部；一传热信道，形成于该配接器主体中；一屏蔽环，耦接到该配接器，使得该配接器的该罩部延伸于该屏蔽环的一部分上方；及一陶瓷绝缘体，安置在该屏蔽环及该配接器之间以将该屏蔽环与该配接器电隔离。

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