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1. 发明专利

TW201823709A 用於在透明基板上檢查缺陷的方法及裝置和發射入射光之方法审中-公开
简体标题：用于在透明基板上检查缺陷的方法及设备和发射入射光之方法
公开(公告)号：TW201823709A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW106137878
申请日：2017-11-02
申请人：美商康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：安鍾平 , AN, CHONG PYUNG , 高爾斯尤塔芭芭拉 , GOERS, UTA-BARBARA , 洪恩 , HONG, EN , 黃成真 , HWANG, SUNG-CHAN , 鄭址和 , JUNG, JI HWA , 金泰皓 , KEEM, TAE-HO , 萊布蘭克菲利普羅柏特 , LEBLANC, PHILIP ROBERT , 李炯哲 , LEE, HYEONG-CHEOL , 莫雷那克麥可 , MLEJNEK, MICHAL , 墨爾喬漢尼斯 , MOLL, JOHANNES , 帕倫尼西安尼瑞傑許安南 , PALANISAMY, RAJESHKANNAN , 表誠鐘 , PYO, SUNG-JONG , 湯瑪士阿曼達凱瑟琳 , THOMAS, AMANDA KATHRYN , 烏斯坦尼克柯瑞羅伯特 , USTANIK, CORREY ROBERT
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/47
摘要：一種在透明基板上檢查缺陷的方法可包括：選擇照明光學系統之梯度以使得入射到透明基板上的光具有第一角度；選擇偵測光學系統之梯度以使得位於透明基板上方的偵測光學系統之光軸具有等於或小於第一角度的第二角度；調節照明光學系統、透明基板、及偵測光學系統之至少一個的位置，使得偵測光學系統之視野覆蓋光遇到透明基板之第一表面的第一區域並且不覆蓋光遇到透明基板之第二表面的第二區域，第二表面與第一表面相對；照明透明基板；以及偵測從透明基板散射的光。
简体摘要：一种在透明基板上检查缺陷的方法可包括：选择照明光学系统之梯度以使得入射到透明基板上的光具有第一角度；选择侦测光学系统之梯度以使得位于透明基板上方的侦测光学系统之光轴具有等于或小于第一角度的第二角度；调节照明光学系统、透明基板、及侦测光学系统之至少一个的位置，使得侦测光学系统之视野覆盖光遇到透明基板之第一表面的第一区域并且不覆盖光遇到透明基板之第二表面的第二区域，第二表面与第一表面相对；照明透明基板；以及侦测从透明基板散射的光。

2. 发明专利

TW201903390A 用於基板邊緣測試之設備、系統和方法审中-公开
简体标题：用于基板边缘测试之设备、系统和方法
公开(公告)号：TW201903390A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107112674
申请日：2018-04-13
申请人：美商康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：黃成真 , HWANG, SUNG-CHAN , 鄭址和 , JUNG, JI HWA , 金泰皓 , KEEM, TAE-HO , 宋素瑛 , SONG, SOYOUNG
IPC分类号： G01N21/86 , G02F1/13
摘要：一種用於測試基板的邊緣部分的設備，包含：第一照明源，經配置以照射光至基板的該邊緣部分的末端部分；第二照明源，經配置以照射光至邊緣部分的下部分；第三照明源，經配置以照射光至邊緣部分的上部分；以及第一至第三攝影部分，分別對應於第一至第三照明源，其中第一照明源包含C形截面並包含面向邊緣部分的末端部分的第一彎曲表面，第二照明源包含半C形截面並包含面向邊緣部分的下部分的第二彎曲表面，且第三照明源包含半C形截面並包含面向邊緣部分的上部分的第三彎曲表面。
简体摘要：一种用于测试基板的边缘部分的设备，包含：第一照明源，经配置以照射光至基板的该边缘部分的末端部分；第二照明源，经配置以照射光至边缘部分的下部分；第三照明源，经配置以照射光至边缘部分的上部分；以及第一至第三摄影部分，分别对应于第一至第三照明源，其中第一照明源包含C形截面并包含面向边缘部分的末端部分的第一弯曲表面，第二照明源包含半C形截面并包含面向边缘部分的下部分的第二弯曲表面，且第三照明源包含半C形截面并包含面向边缘部分的上部分的第三弯曲表面。

3. 发明专利

TW201825891A 用於檢驗透明基板上的缺陷的方法及裝置审中-公开
简体标题：用于检验透明基板上的缺陷的方法及设备
公开(公告)号：TW201825891A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106137730
申请日：2017-11-01
申请人：美商康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：高爾斯尤塔芭芭拉 , GOERS, UTA-BARBARA , 洪恩 , HONG, EN , 黃成真 , HWANG, SUNG-CHAN , 鄭智華 , JUNG, JI HWA , 金泰皓 , KEEM, TAE-HO , 萊布蘭克菲利普羅柏特 , LEBLANC, PHILIP ROBERT , 帕倫尼西安尼瑞傑許安南 , PALANISAMY, RAJESHKANNAN , 表誠鐘 , PYO, SUNG-JONG , 烏斯坦尼克柯瑞羅伯特 , USTANIK, CORREY ROBERT
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/21 , G01C11/14
摘要：一種檢驗透明基板之缺陷的方法可包括：照明透明基板；計算光之入射角範圍以使得其中光遇到透明基板之第一表面的第一區域與其中光遇到與透明基板之第一表面相對之第二表面的第二區域不彼此重疊；根據入射角範圍調節入射角；調節第一偵測器之位置以使得第一偵測器之第一視野覆蓋第一區域並且不覆蓋第二區域；調節第二偵測器之位置以使得第二偵測器之第二視野覆蓋第二區域並且不覆蓋第一區域；以及分別從第一及第二偵測器獲得第一區域之第一影像及第二區域之第二影像。
简体摘要：一种检验透明基板之缺陷的方法可包括：照明透明基板；计算光之入射角范围以使得其中光遇到透明基板之第一表面的第一区域与其中光遇到与透明基板之第一表面相对之第二表面的第二区域不彼此重叠；根据入射角范围调节入射角；调节第一侦测器之位置以使得第一侦测器之第一视野覆盖第一区域并且不覆盖第二区域；调节第二侦测器之位置以使得第二侦测器之第二视野覆盖第二区域并且不覆盖第一区域；以及分别从第一及第二侦测器获得第一区域之第一影像及第二区域之第二影像。

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