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    • 1. 发明专利
    • 在氣體放電光源中之氟偵測
    • 在气体放电光源中之氟侦测
    • TW201920936A
    • 2019-06-01
    • TW107133095
    • 2018-09-20
    • 美商希瑪有限責任公司CYMER, LLC
    • 索恩斯 約書亞 瓊THORNES, JOSHUA JON阿拉瓦特 拉赫AHLAWAT, RAHUL羅 思齊LUO, EDWARD SIQI佩德瑪邦度 甘瑪萊拉拉吉 GPADMABANDU, GAMARALALAGE G
    • G01N21/3504G01N1/22
    • 本發明係關於一種設備,包括:一氣體維持系統,其具有流體地連接至一或多個氣體放電室之一氣體供應系統;一偵測設備,其流體地連接至每個氣體放電室;以及一控制系統,其連接至該氣體維持系統及該偵測設備。該偵測設備包括:界定一反應空腔之一容器,其容納一金屬氧化物且流體地連接至該氣體放電室以用於接收包括該反應空腔中來自該氣體放電室之氟之混合氣體,該容器實現所接收到之混合氣體中之氟與該金屬氧化物之間的一反應以形成包括氧氣之一新氣體混合物;及一氧氣感測器,其流體地連接至該新氣體混合物以感測該新氣體混合物內之氧氣之一量。該控制系統經組態以估計接收到之混合氣體中氟之一濃度。
    • 本发明系关于一种设备,包括:一气体维持系统,其具有流体地连接至一或多个气体放电室之一气体供应系统;一侦测设备,其流体地连接至每个气体放电室;以及一控制系统,其连接至该气体维持系统及该侦测设备。该侦测设备包括:界定一反应空腔之一容器,其容纳一金属氧化物且流体地连接至该气体放电室以用于接收包括该反应空腔中来自该气体放电室之氟之混合气体,该容器实现所接收到之混合气体中之氟与该金属氧化物之间的一反应以形成包括氧气之一新气体混合物;及一氧气传感器,其流体地连接至该新气体混合物以传感该新气体混合物内之氧气之一量。该控制系统经组态以估计接收到之混合气体中氟之一浓度。