专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201920936A 在氣體放電光源中之氟偵測审中-公开
简体标题：在气体放电光源中之氟侦测
公开(公告)号：TW201920936A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107133095
申请日：2018-09-20
申请人：美商希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：索恩斯約書亞瓊 , THORNES, JOSHUA JON , 阿拉瓦特拉赫 , AHLAWAT, RAHUL , 羅思齊 , LUO, EDWARD SIQI , 佩德瑪邦度甘瑪萊拉拉吉 G , PADMABANDU, GAMARALALAGE G
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N1/22
摘要：本發明係關於一種設備，包括：一氣體維持系統，其具有流體地連接至一或多個氣體放電室之一氣體供應系統；一偵測設備，其流體地連接至每個氣體放電室；以及一控制系統，其連接至該氣體維持系統及該偵測設備。該偵測設備包括：界定一反應空腔之一容器，其容納一金屬氧化物且流體地連接至該氣體放電室以用於接收包括該反應空腔中來自該氣體放電室之氟之混合氣體，該容器實現所接收到之混合氣體中之氟與該金屬氧化物之間的一反應以形成包括氧氣之一新氣體混合物；及一氧氣感測器，其流體地連接至該新氣體混合物以感測該新氣體混合物內之氧氣之一量。該控制系統經組態以估計接收到之混合氣體中氟之一濃度。
简体摘要：本发明系关于一种设备，包括：一气体维持系统，其具有流体地连接至一或多个气体放电室之一气体供应系统；一侦测设备，其流体地连接至每个气体放电室；以及一控制系统，其连接至该气体维持系统及该侦测设备。该侦测设备包括：界定一反应空腔之一容器，其容纳一金属氧化物且流体地连接至该气体放电室以用于接收包括该反应空腔中来自该气体放电室之氟之混合气体，该容器实现所接收到之混合气体中之氟与该金属氧化物之间的一反应以形成包括氧气之一新气体混合物；及一氧气传感器，其流体地连接至该新气体混合物以传感该新气体混合物内之氧气之一量。该控制系统经组态以估计接收到之混合气体中氟之一浓度。

2. 发明专利

TWI696821B 在氣體放電光源中之氟偵測有权
简体标题：在气体放电光源中之氟侦测
公开(公告)号：TWI696821B
公开(公告)日：2020-06-21
申请号：TW107133095
申请日：2018-09-20
申请人：美商希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：索恩斯約書亞瓊 , THORNES, JOSHUA JON , 阿拉瓦特拉赫 , AHLAWAT, RAHUL , 羅思齊 , LUO, EDWARD SIQI , 佩德瑪邦度甘瑪萊拉拉吉 G , PADMABANDU, GAMARALALAGE G
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N1/22

3. 发明专利

TWI606664B 用於產生氣體放電雷射之耐腐蝕電極及雷射裝置有权
简体标题：用于产生气体放电激光之耐腐蚀电极及激光设备
公开(公告)号：TWI606664B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：TW105130683
申请日：2016-09-22
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：羅思齊 , LUO, SIQI , 烏傑茲道司奇理查卡爾 , UJAZDOWSKI, RICHARD CARL , 杜菲湯瑪斯派翠克 , DUFFEY, THOMAS PATRICK , 吉爾斯比華特戴爾 , GILLESPIE, WALTER DALE
IPC分类号： H01S3/032 , H01S3/038 , H01S3/0971
CPC分类号： H01S3/0385 , H01S3/0382 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225

4. 发明专利

TW201724674A 用於產生氣體放電雷射之耐腐蝕電極审中-公开
简体标题：用于产生气体放电激光之耐腐蚀电极
公开(公告)号：TW201724674A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105130683
申请日：2016-09-22
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC
发明人：羅思齊 , LUO, SIQI , 烏傑茲道司奇理查卡爾 , UJAZDOWSKI, RICHARD CARL , 杜菲湯瑪斯派翠克 , DUFFEY, THOMAS PATRICK , 吉爾斯比華特戴爾 , GILLESPIE, WALTER DALE
IPC分类号： H01S3/032 , H01S3/038 , H01S3/0971
CPC分类号： H01S3/0385 , H01S3/0382 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/225
摘要：本發明揭示用於產生氣體放電雷射光之陽極及陰極。該改良式陽極具有一過渡部分，其包括實質上垂直於作用部分與末端部分之間之過渡區之一側壁，以減少腐蝕相關的問題。該改良式陰極具有在增強型腐蝕部位中之經增厚脊柱部分。藉由自彼等部位中之陰極階梯式橫截面剖面的肩部移除材料來增厚該等脊柱部分，以增加該陰極的壽命。
简体摘要：本发明揭示用于产生气体放电激光光之阳极及阴极。该改良式阳极具有一过渡部分，其包括实质上垂直于作用部分与末端部分之间之过渡区之一侧壁，以减少腐蚀相关的问题。该改良式阴极具有在增强型腐蚀部位中之经增厚嵴柱部分。借由自彼等部位中之阴极阶梯式横截面剖面的肩部移除材料来增厚该等嵴柱部分，以增加该阴极的寿命。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式